平井 義和

最終更新日時: 2021/10/09 11:27:11

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氏名(漢字/フリガナ/アルファベット表記)
平井 義和/ヒライ ヨシカズ/Hirai, Yoshikazu
所属部署・職名(部局/所属/講座等/職名)
工学研究科/工学研究科附属工学基盤教育研究センター/ /講師
学部兼担
部局 所属 講座等 職名
工学部
連絡先住所
種別 住所(日本語) 住所(英語)
職場 〒615-8540 京都市西京区京都大学桂 Kyoto daigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8530, JAPAN
連絡先電話番号
種別 番号
職場 075-383-3693
電子メールアドレス
メールアドレス
hirai @ me.kyoto-u.ac.jp
所属学会(国内)
学会名(日本語) 学会名(英語)
電気学会 The Institute of Electrical Engineers of Japan
日本機械学会 The Japan Society of Mechanical Engineers
応用物理学会 The Japan Society of Applied Physics
化学とマイクロ・ナノシステム学会 The Society for Chemistry and Micro-Nano Systems
エレクトロニクス実装学会 The Japan Institute of Electronics Packaging
所属学会(海外)
学会名(英語) 国名
IEEE(Institute of Electrical and Electronics Engineers) USA
MRS(Materials Research Society) USA
取得学位
学位名(日本語) 学位名(英語) 大学(日本語) 大学(英語) 取得区分
修士(工学) 立命館大学
博士(工学) 京都大学
出身大学院・研究科等
大学名(日本語) 大学名(英語) 研究科名(日本語) 研究科名(英語) 専攻名(日本語) 専攻名(英語) 修了区分
立命館大学 大学院理工学研究科物質理工学専攻博士前期課程 修了
京都大学 大学院工学研究科博士後期課程機械工学専攻 修了
職歴
期間 組織名(日本語) 組織名(英語) 職名(日本語) 職名(英語)
2021/09/〜 京都大学大学院工学研究科附属工学基盤教育研究センター Engineering Education Research Center 講師 Junior Assosiate Professor
2013/05/〜2021/08/ 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 Department of Micro Engineering, Kyoto University 助教 Assistant Professor
2014/08/〜2017/03/ 京都大学物質-細胞統合システム拠点 Institute for Integrated Cell-Material Sciences (iCeMS), Kyoto University 連携助教 Adjunct Assistant Professor
2010/04/〜2013/04/ 京都大学学際融合教育研究推進センター 先端医工学研究ユニット Advanced Biomedical Engineering Research Unit, Center for the Promotion of Interdisciplinary Education and Research, Kyoto University 特定助教(地域科学技術振興) Assistant Professor
2009/04/〜2010/03/ 京都大学先端医工学研究ユニット Advanced Biomedical Engineering Research Unit, Kyoto University 特定助教(科学技術振興) Assistant Professor
2007/04/〜2009/03/ 京都大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Kyoto University 研究員(科学技術振興) Postdoctoral Fellow
個人ホームページ
URL
https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/labintro/member/hirai/
ORCID ID
https://orcid.org/0000-0003-0835-7314
researchmap URL
https://researchmap.jp/7000008799
研究テーマ
(日本語)
1. ナノマイクロ材料・加工・パッケージング技術 2. 光リソグラフィ:3次元フォトリソグラフィ,プロセスシミュレーションなど 3. マイクロ流体デバイス技術 4. バイオMEMS:Organ/Body on a Chip,1分子動態計測など 5. 超小型原子時計/磁気センサ(CSAC/CSAM) 6. 民間企業との共同研究(プロセス技術,センサ/MEMSデバイスの開発など)
研究概要
(日本語)
世界最先端・独自の研究データは、オリジナルの微細加工やデバイス、計測技術から生じるものと考えて研究を行っています。創造的・独創的なナノ・マイクロシステムの研究開発に資する3次元微細加工を主な基幹技術に、量子力学的な干渉効果を用いたチップスケール原子センサデバイスや医薬品開発における革新的なツールと期待される臓器チップの技術開発など、分野融合型研究に積極的に取り組んでいます。
(英語)
My current research interests include (1) Fabrication and Packaging for Generic MEMS/NEMS, (2) Optical lithography for 3-Dimensional microstructuring, (3) Atomic MEMS device (e.g., CSAC: Chip Scale Atomic Clock, CSAM: Chip Scale Atomic Magnetometer), (4) Microfluidics, and (5) Bio-Microsystems for in vitro measurement (e.g., Organ/Body on a Chip).
研究分野(キーワード)
キーワード(日本語) キーワード(英語)
ナノマイクロ加工
MEMS/NEMS
ナノマイクロセンサ
ナノマイクロバイオシステム
ナノマイクロ生体システム
1分子科学
論文
著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 書誌情報等 書誌情報等(日本語) 書誌情報等(英語) 出版年月 査読の有無 記述言語 掲載種別 公開
Shun Kiyose, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Shun Kiyose, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Shun Kiyose, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component Japanese Journal of Applied Physics, 60, SC, SCCL01-SCCL01 Japanese Journal of Applied Physics, 60, SC, SCCL01-SCCL01 Japanese Journal of Applied Physics, 60, SC, SCCL01-SCCL01 2021/06/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Takashi Miyazaki, Yoshikazu Hirai, Ken‐ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Miyazaki, Yoshikazu Hirai, Ken‐ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Miyazaki, Yoshikazu Hirai, Ken‐ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Design strategy of electrode patterns based on finite element analysis in microfluidic device for Trans‐Epithelial Electrical Resistance (TEER) measurement Design strategy of electrode patterns based on finite element analysis in microfluidic device for Trans‐Epithelial Electrical Resistance (TEER) measurement Design strategy of electrode patterns based on finite element analysis in microfluidic device for Trans‐Epithelial Electrical Resistance (TEER) measurement Electronics and Communications in Japan, 104, 2 Electronics and Communications in Japan, 104, 2 Electronics and Communications in Japan, 104, 2 2021/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yuanlin Xia, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya Yuanlin Xia, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya Yuanlin Xia, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya Fracture behavior of single-crystal silicon microstructure coated with stepwise bias-graded a-C:H film Fracture behavior of single-crystal silicon microstructure coated with stepwise bias-graded a-C:H film Fracture behavior of single-crystal silicon microstructure coated with stepwise bias-graded a-C:H film SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 405 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 405 SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 405 2021/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
宮崎 貴史, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修 宮崎 貴史, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修 Takashi Miyazaki, Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法 マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法 Design Strategy of Electrode Patterns Based on Finite Element Analysis in Microfluidic Device for Trans-Epithelial Electrical Resistance (TEER) Measurement 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 140, 10, 285-292 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 140, 10, 285-292 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 140, 10, 285-292 2020/10/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koki Yoshimoto, Nicolas Minier, Jiandong Yang, Satoshi Imamura, Kaylene Stocking, Janmesh Patel, Shiho Terada, Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei Koki Yoshimoto, Nicolas Minier, Jiandong Yang, Satoshi Imamura, Kaylene Stocking, Janmesh Patel, Shiho Terada, Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei Koki Yoshimoto, Nicolas Minier, Jiandong Yang, Satoshi Imamura, Kaylene Stocking, Janmesh Patel, Shiho Terada, Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei Recapitulation of Human Embryonic Heartbeat to Promote Differentiation of Hepatic Endoderm to Hepatoblasts Recapitulation of Human Embryonic Heartbeat to Promote Differentiation of Hepatic Endoderm to Hepatoblasts Recapitulation of Human Embryonic Heartbeat to Promote Differentiation of Hepatic Endoderm to Hepatoblasts Frontiers in Bioengineering and Biotechnology, 8 Frontiers in Bioengineering and Biotechnology, 8 Frontiers in Bioengineering and Biotechnology, 8 2020/09/08 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Surface-enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique Surface-enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique Surface-enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique MICRO & NANO LETTERS, 15, 6, 384-389 MICRO & NANO LETTERS, 15, 6, 384-389 MICRO & NANO LETTERS, 15, 6, 384-389 2020/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Jiaxu Wu, Yoshikazu Hirai, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Jiaxu Wu, Yoshikazu Hirai, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Jiaxu Wu, Yoshikazu Hirai, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Novel microfluidic device integrated with a fluidic-capacitor to mimic heart beating for generation of functional liver organoids Novel microfluidic device integrated with a fluidic-capacitor to mimic heart beating for generation of functional liver organoids Novel microfluidic device integrated with a fluidic-capacitor to mimic heart beating for generation of functional liver organoids ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN, 102, 10, 41-49 ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN, 102, 10, 41-49 ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN, 102, 10, 41-49 2019/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
呉 家旭, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修 呉 家旭, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修 心臓拍動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス 心臓拍動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 139, 7, 209-216 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 139, 7, 209-216 , 139, 7, 209-216 2019/07 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yunyi Shu, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yunyi Shu, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yunyi Shu, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Geometrical compensation for mode-matching of a (100) silicon ring resonator for a vibratory gyroscope Geometrical compensation for mode-matching of a (100) silicon ring resonator for a vibratory gyroscope Geometrical compensation for mode-matching of a (100) silicon ring resonator for a vibratory gyroscope JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 58, SD, SDDL06 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 58, SD, SDDL06 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 58, SD, SDDL06 2019/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
山下 直輝, 朴 晟洙, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 山下 直輝, 朴 晟洙, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 AFMリソグラフィで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定 AFMリソグラフィで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 139, 5, 95-102 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 139, 5, 95-102 , 139, 5, 95-102 2019/05 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Wenlei Zhang, Kazutaka Obitani, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Kazutaka Obitani, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Kazutaka Obitani, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fracture strength of silicon torsional mirror resonators fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC film Fracture strength of silicon torsional mirror resonators fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC film Fracture strength of silicon torsional mirror resonators fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC film SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 286, 28-34 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 286, 28-34 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 286, 28-34 2019/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
霜降 真希, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 霜降 真希, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコンへき開ナノギャップ間の温度差測定 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコンへき開ナノギャップ間の温度差測定 実験力学, 19, 1, 13-18 実験力学, 19, 1, 13-18 , 19, 1, 13-18 2019/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
土屋 智由, 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修 土屋 智由, 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光によるひずみ計測 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光によるひずみ計測 実験力学, 19, 1, 24-29 実験力学, 19, 1, 24-29 , 19, 1, 24-29 2019/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Parallel Tensile Testing of Single-crystal Silicon Microstructures with Integrated Piezoresistive Strain Gauges Parallel Tensile Testing of Single-crystal Silicon Microstructures with Integrated Piezoresistive Strain Gauges Parallel Tensile Testing of Single-crystal Silicon Microstructures with Integrated Piezoresistive Strain Gauges SENSORS AND MATERIALS, 30, 9, 2143-2157 SENSORS AND MATERIALS, 30, 9, 2143-2157 SENSORS AND MATERIALS, 30, 9, 2143-2157 2018/09 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi), 204, 2, 50-60 Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi), 204, 2, 50-60 Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi), 204, 2, 50-60 2018/07/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Wenlei Zhang, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effect of substrate bias voltage on tensile properties of single crystal silicon microstructure fully coated with plasma CVD diamond-like carbon film Effect of substrate bias voltage on tensile properties of single crystal silicon microstructure fully coated with plasma CVD diamond-like carbon film Effect of substrate bias voltage on tensile properties of single crystal silicon microstructure fully coated with plasma CVD diamond-like carbon film Applied Surface Science, 443, 48-54 Applied Surface Science, 443, 48-54 Applied Surface Science, 443, 48-54 2018/06/15 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuya Hemmi, Jun-Ya Suzuki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuya Hemmi, Jun-Ya Suzuki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuya Hemmi, Jun-Ya Suzuki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Tensile strength of Silicon Nanowires batch-fabricated into electrostatic MEMS testing device Tensile strength of Silicon Nanowires batch-fabricated into electrostatic MEMS testing device Tensile strength of Silicon Nanowires batch-fabricated into electrostatic MEMS testing device Applied Sciences (Switzerland), 8, 6, 880 Applied Sciences (Switzerland), 8, 6, 880 Applied Sciences (Switzerland), 8, 6, 880 2018/05/28 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yuto Yamaki, Yuki Sato, Kazuhiro Izui, Takayuki Yamada, Shinji Nishiwaki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Yuto Yamaki, Yuki Sato, Kazuhiro Izui, Takayuki Yamada, Shinji Nishiwaki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Yuto Yamaki, Yuki Sato, Kazuhiro Izui, Takayuki Yamada, Shinji Nishiwaki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata A heuristic approach for actuator layout designs in deformable mirror devices based on current value optimization A heuristic approach for actuator layout designs in deformable mirror devices based on current value optimization A heuristic approach for actuator layout designs in deformable mirror devices based on current value optimization Structural and Multidisciplinary Optimization, 58, 3, 1-12 Structural and Multidisciplinary Optimization, 58, 3, 1-12 Structural and Multidisciplinary Optimization, 58, 3, 1-12 2018/03/23 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yusuke Shiomi, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yusuke Shiomi, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya High-Yield Bridged Assembly of ssDNA-Modified SWCNT Using Dielectrophoresis High-Yield Bridged Assembly of ssDNA-Modified SWCNT Using Dielectrophoresis High-Yield Bridged Assembly of ssDNA-Modified SWCNT Using Dielectrophoresis International Journal of Automation Technology, 12, 1, 29-36 , 12, 1, 29-36 International Journal of Automation Technology, 12, 1, 29-36 2018/01/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Yunfei Huang, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Yamada, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Yunfei Huang, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Yamada, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Yunfei Huang, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Yamada, Osamu Tabata Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs Small, 14, 1, UNSP 1702028 Small, 14, 1, UNSP 1702028 Small, 14, 1, UNSP 1702028 2018/01/04 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
宇野 亜季子, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 宇野 亜季子, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築 静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築 Mathematical modeling and analysis of MEMS deformable mirror actuated by electrostatic piston array 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 138, 2, 66-73 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 138, 2, 66-73 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 138, 2, 66-73 2018 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
稲垣 達也, 朴 晟洙, 山下 直輝, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 稲垣 達也, 朴 晟洙, 山下 直輝, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 Tatsuya Inagaki, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 Revealing the influential factor on dimerizing of triangular DNA origami by linker 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 138, 5, 171-177 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 138, 5, 171-177 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 138, 5, 171-177 2018 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique MICRO & NANO LETTERS, 12, 11, 854-859 MICRO & NANO LETTERS, 12, 11, 854-859 MICRO & NANO LETTERS, 12, 11, 854-859 2017/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu HIRAI Yoshikazu HIRAI MEMS研究と応用の最新動向 MEMS研究と応用の最新動向 Cutting Edge of MEMS Research and Development in 2017 表面技術, 68, 7, 360-366 表面技術, 68, 7, 360-366 Journal of The Surface Finishing Society of Japan, 68, 7, 360-366 2017/07/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GJ02 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GJ02 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GJ02 2017/06/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Measurement and potential barrier evolution analysis of cold field emission in fracture fabricated Si nanogap Measurement and potential barrier evolution analysis of cold field emission in fracture fabricated Si nanogap Measurement and potential barrier evolution analysis of cold field emission in fracture fabricated Si nanogap Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GF06 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GF06 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GF06 2017/06/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GN01 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GN01 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6, 06GN01 2017/06/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ken-ichiro Kamei, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Shinji Ito, Junko Satoh, Atsuko Oka, Toshiyuki Tsuchiya, Yong Chen, Osamu Tabata Ken-ichiro Kamei, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Shinji Ito, Junko Satoh, Atsuko Oka, Toshiyuki Tsuchiya, Yong Chen, Osamu Tabata Ken-ichiro Kamei, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Shinji Ito, Junko Satoh, Atsuko Oka, Toshiyuki Tsuchiya, Yong Chen, Osamu Tabata Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro RSC ADVANCES, 7, 58, 36777-36786 RSC ADVANCES, 7, 58, 36777-36786 RSC ADVANCES, 7, 58, 36777-36786 2017 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Kazuya Tsujimoto, Akira Terao, Natsuhiko Mizutani, Tetsuo Kobayashi, Osamu Tabata Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Kazuya Tsujimoto, Akira Terao, Natsuhiko Mizutani, Tetsuo Kobayashi, Osamu Tabata Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Kazuya Tsujimoto, Akira Terao, Natsuhiko Mizutani, Tetsuo Kobayashi, Osamu Tabata Characterization of alkali-metal vapor cells fabricated with an alkali-metal source tablet Characterization of alkali-metal vapor cells fabricated with an alkali-metal source tablet Characterization of alkali-metal vapor cells fabricated with an alkali-metal source tablet JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 34, 6, 061601 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 34, 6, 061601 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 34, 6, 061601 2016/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 11, S164-S170 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 11, S164-S170 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 11, S164-S170 2016/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6, 06GL04 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6, 06GL04 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6, 06GL04 2016/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1, 188-196 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1, 188-196 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1, 188-196 2016/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
加藤 義基, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修 加藤 義基, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修 Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発 Development of a Body-on-a-Chip Using 3-D Microstructuring Technique 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 136, 6, 229-236 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 136, 6, 229-236 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 136, 6, 229-236 2016 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers MICRO & NANO LETTERS, 10, 12, 678-682 MICRO & NANO LETTERS, 10, 12, 678-682 MICRO & NANO LETTERS, 10, 12, 678-682 2015/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Fred van Keulen, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Fred van Keulen, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Fred van Keulen, Osamu Tabata Experimental Study of Numerical Optimization for 3-D Microstructuring Using DMD-Based Grayscale Lithography Experimental Study of Numerical Optimization for 3-D Microstructuring Using DMD-Based Grayscale Lithography Experimental Study of Numerical Optimization for 3-D Microstructuring Using DMD-Based Grayscale Lithography JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 24, 6, 1856-1867 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 24, 6, 1856-1867 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 24, 6, 1856-1867 2015/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Young-Joo Kim, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Do-Nyun Kim, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Young-Joo Kim, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Do-Nyun Kim, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Young-Joo Kim, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Do-Nyun Kim, Osamu Tabata Direct measurement of transversely isotropic DNA nanotube by force-distance curve-based atomic force microscopy Direct measurement of transversely isotropic DNA nanotube by force-distance curve-based atomic force microscopy Direct measurement of transversely isotropic DNA nanotube by force-distance curve-based atomic force microscopy Micro & Nano Letters, 10, 10, 513-517 Micro & Nano Letters, 10, 10, 513-517 Micro & Nano Letters, 10, 10, 513-517 2015/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao, Osamu Tabata ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 213, 547-557 SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 213, 547-557 SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 213, 547-557 2015/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behavior of single crystal silicon microstructure High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behavior of single crystal silicon microstructure High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behavior of single crystal silicon microstructure JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 54, 6, 06FP04 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 54, 6, 06FP04 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 54, 6, 06FP04 2015/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3, 357-365 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3, 357-365 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3, 357-365 2014/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
K. Tsujimoto, K. Ban, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, N. Mizutani, O. Tabata K. Tsujimoto, K. Ban, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, N. Mizutani, O. Tabata K. Tsujimoto, K. Ban, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, N. Mizutani, O. Tabata On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet Journal of Micromechanics and Microengineering, 23, 11, 115003 Journal of Micromechanics and Microengineering, 23, 11, 115003 Journal of Micromechanics and Microengineering, 23, 11, 115003 2013/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
平井 義和, 柳生 裕聖, 牧野 圭秀, 上杉 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 柳生 裕聖, 牧野 圭秀, 上杉 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 133, 8, 320-329 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 133, 8, 320-329 , 133, 8, 320-329 2013/08 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Electronics and Communications in Japan, 96, 5, 58-66 Electronics and Communications in Japan, 96, 5, 58-66 Electronics and Communications in Japan, 96, 5, 58-66 2013/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ken-Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Momoko Yoshioka, Yoshihide Makino, Qinghua Yuan, Minako Nakajima, Yong Chen, Osamu Tabata Ken-Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Momoko Yoshioka, Yoshihide Makino, Qinghua Yuan, Minako Nakajima, Yong Chen, Osamu Tabata Ken-Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Momoko Yoshioka, Yoshihide Makino, Qinghua Yuan, Minako Nakajima, Yong Chen, Osamu Tabata Phenotypic and Transcriptional Modulation of Human Pluripotent Stem Cells Induced by Nano/Microfabrication Materials Phenotypic and Transcriptional Modulation of Human Pluripotent Stem Cells Induced by Nano/Microfabrication Materials Phenotypic and Transcriptional Modulation of Human Pluripotent Stem Cells Induced by Nano/Microfabrication Materials Advanced Healthcare Materials, 2, 2, 287-291 Advanced Healthcare Materials, 2, 2, 287-291 Advanced Healthcare Materials, 2, 2, 287-291 2013/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 日本機械学会論文集A編, 79, 804, 1191-1200 日本機械学会論文集A編, 79, 804, 1191-1200 , 79, 804, 1191-1200 2013/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ken-Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Ken-Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Ken-Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Body on a chip: Re-creation of a living system in vitro Body on a chip: Re-creation of a living system in vitro Body on a chip: Re-creation of a living system in vitro IEEE Nanotechnology Magazine, 7, 3, 6-14 IEEE Nanotechnology Magazine, 7, 3, 6-14 IEEE Nanotechnology Magazine, 7, 3, 6-14 2013 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics POLYMER, 53, 21, 4834-4842 POLYMER, 53, 21, 4834-4842 POLYMER, 53, 21, 4834-4842 2012/09 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tatsuya Kataoka, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング Mechanical and electrical clamping of DEP assembled SWCNT using electroless gold deposition 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 132, 5, 108-113 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 132, 5, 108-113 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 132, 5, 108-113 2012 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 Tensile test on (110) &lt;110&gt; thin film single crystal silicon with different processing conditions 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 132, 9, 320-321 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 132, 9, 320-321 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 132, 9, 320-321 2012 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 131, 7, 251-257 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 131, 7, 251-257 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 131, 7, 251-257 2011 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5, 1058-1069 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5, 1058-1069 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5, 1058-1069 2010/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 130, 9, 443-449 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 130, 9, 443-449 , 130, 9, 443-449 2010/09 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6, 065005 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6, 065005 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6, 065005 2010/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2, 199-206 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2, 199-206 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2, 199-206 2007/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 2006/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography (D2XRL) A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography (D2XRL) A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography (D2XRL) Journal of Micromechanics and Microengineering, 15, 11, 2056-2062 , 15, 11, 2056-2062 Journal of Micromechanics and Microengineering, 15, 11, 2056-2062 2005/11/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
平井 義和, Hafizovic Sadik, Jan G. Korvink, 田畑 修 平井 義和, Hafizovic Sadik, Jan G. Korvink, 田畑 修 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 Process Simulation System for 3D X-Ray Lithography and Development 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 123, 9, 368-375 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 123, 9, 368-375 , 123, 9, 368-375 2003/09 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開

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著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 書誌情報等 書誌情報等(日本語) 書誌情報等(英語) 出版年月 査読の有無 記述言語 掲載種別 公開
Ikkei Yamauchi, Tomoki Tabuchi, Yoshikazu Hirai, Masayuki Iwamoto, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Shimizu, Osamu Tabata Ikkei Yamauchi, Tomoki Tabuchi, Yoshikazu Hirai, Masayuki Iwamoto, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Shimizu, Osamu Tabata Ikkei Yamauchi, Tomoki Tabuchi, Yoshikazu Hirai, Masayuki Iwamoto, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Shimizu, Osamu Tabata Microfabricated Solution Chamber for High Resolution Diffracted X-Ray Tracking Method to Observe Ion-Channel Gating Motion Microfabricated Solution Chamber for High Resolution Diffracted X-Ray Tracking Method to Observe Ion-Channel Gating Motion Microfabricated Solution Chamber for High Resolution Diffracted X-Ray Tracking Method to Observe Ion-Channel Gating Motion 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 25-28 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 25-28 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 25-28 2019/06/01 公開
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Temperature Difference Measurement Across Mems Based Nanogap Created by Cleavage of Silicon for Thermionic Generation Temperature Difference Measurement Across Mems Based Nanogap Created by Cleavage of Silicon for Thermionic Generation Temperature Difference Measurement Across Mems Based Nanogap Created by Cleavage of Silicon for Thermionic Generation 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 1483-1486 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 1483-1486 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 1483-1486 2019/06/01 公開
Yoshikazu Hirai, Katsuo Nokamura, Yuichi Kimoto, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Katsuo Nokamura, Yuichi Kimoto, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Katsuo Nokamura, Yuichi Kimoto, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for Microfabricated Vapor Cells Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for Microfabricated Vapor Cells Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for Microfabricated Vapor Cells IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium 2018/12/31 公開
Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon 2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2018 2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2018 2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2018 2018/11/01 公開
Yunyi Shu, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yunyi Shu, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yunyi Shu, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope 5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings, 1-2 5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings, 1-2 5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings, 1-2 2018/05/11 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Yusuke Tsuji, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yusuke Tsuji, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yusuke Tsuji, Ken-Ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Improved sensitivity of ionic liquid-based pressure sensor for body-on-a-chip using simulation-based 3D lithography Improved sensitivity of ionic liquid-based pressure sensor for body-on-a-chip using simulation-based 3D lithography Improved sensitivity of ionic liquid-based pressure sensor for body-on-a-chip using simulation-based 3D lithography Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-, 511-514 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-, 511-514 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-, 511-514 2018/04/24 英語 公開
Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-, 704-707 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-, 704-707 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018-, 704-707 2018/04/24 英語 公開
Kenta Terashima, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kenta Terashima, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kenta Terashima, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Microfabrication of Cs-filled MEMS cell using sequential plasma activated bonding Microfabrication of Cs-filled MEMS cell using sequential plasma activated bonding Microfabrication of Cs-filled MEMS cell using sequential plasma activated bonding 2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings, 60-62 2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings, 60-62 2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings, 60-62 2017/10/27 英語 公開
Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Kentaro Kawai Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Kentaro Kawai Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Kentaro Kawai Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique 2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017, 710-713 2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017, 710-713 2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017, 710-713 2017/08/25 英語 公開
Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Amit Banerjee, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata MEMS based fabrication of conformal electrode pairs for thermotunneling cooling MEMS based fabrication of conformal electrode pairs for thermotunneling cooling MEMS based fabrication of conformal electrode pairs for thermotunneling cooling IMFEDK 2017 - 2017 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, 106-107 IMFEDK 2017 - 2017 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, 106-107 IMFEDK 2017 - 2017 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, 106-107 2017/07/31 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yuki Matsui, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yuki Matsui, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yuki Matsui, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Thermomechanical noise of arrayed capacitive accelerometers with 300-NM-gap sensing electrodes Thermomechanical noise of arrayed capacitive accelerometers with 300-NM-gap sensing electrodes Thermomechanical noise of arrayed capacitive accelerometers with 300-NM-gap sensing electrodes TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1002-1005 TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1002-1005 TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1002-1005 2017/07/26 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Kenta Terashima, Katsuo Nakamura, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Kenta Terashima, Katsuo Nakamura, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Kenta Terashima, Katsuo Nakamura, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Low temperature, wafer-level process of alkali-metal vapor cells for micro-fabricated atomic clocks Low temperature, wafer-level process of alkali-metal vapor cells for micro-fabricated atomic clocks Low temperature, wafer-level process of alkali-metal vapor cells for micro-fabricated atomic clocks TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 431-434 TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 431-434 TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 431-434 2017/07/26 英語 公開
Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6 Japanese Journal of Applied Physics, 56, 6 2017/06/01 英語 公開
八巻侑外, 佐藤勇気, 泉井一浩, 山田崇恭, 西脇眞二, 平井義和, 田畑修 八巻侑外, 佐藤勇気, 泉井一浩, 山田崇恭, 西脇眞二, 平井義和, 田畑修 可変形状ミラーデバイスにおけるアクチュエータ配置最適化のためのヒューリスティクスの提案 可変形状ミラーデバイスにおけるアクチュエータ配置最適化のためのヒューリスティクスの提案 2017年度精密工学会春季大会,精密工学会,2017年3月13日 - 15日,神奈川,設計の方法論(製品,サービス,PSS), (2) J46 2017年度精密工学会春季大会,精密工学会,2017年3月13日 - 15日,神奈川,設計の方法論(製品,サービス,PSS), (2) J46 , (2) J46 2017/03 日本語 記事・総説・解説・論説等(国際会議プロシーディングス) 公開
Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata TENSILE PROPERITIES OF SINGLE-CRYSTAL-SILICON FULLY COATED WITH SUBMICROMETER-THICK PECVD DLC TENSILE PROPERITIES OF SINGLE-CRYSTAL-SILICON FULLY COATED WITH SUBMICROMETER-THICK PECVD DLC TENSILE PROPERITIES OF SINGLE-CRYSTAL-SILICON FULLY COATED WITH SUBMICROMETER-THICK PECVD DLC 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 732-735 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 732-735 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 732-735 2017 英語 公開
平井 義和 平井 義和 国際会議報告:EUROSENSORS 2016 国際会議報告:EUROSENSORS 2016 電学論E, 137, 1, NL1_1-NL1_1 電学論E, 137, 1, NL1_1-NL1_1 , 137, 1, NL1_1-NL1_1 2017 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1, 188-196 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1, 188-196 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1, 188-196 2016/02 英語 公開
Kio Tahara, Yoshikazu Hirai, Hirohumi Shimizu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kio Tahara, Yoshikazu Hirai, Hirohumi Shimizu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kio Tahara, Yoshikazu Hirai, Hirohumi Shimizu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Photoresist Micro-Chamber for the Diffracted X-ray Tracking Method Recording Single-Molecule Conformational Changes Photoresist Micro-Chamber for the Diffracted X-ray Tracking Method Recording Single-Molecule Conformational Changes Photoresist Micro-Chamber for the Diffracted X-ray Tracking Method Recording Single-Molecule Conformational Changes PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016, 168, 1394-1397 PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016, 168, 1394-1397 PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016, 168, 1394-1397 2016 英語 公開
Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata MEMS Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array MEMS Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array MEMS Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array 2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2016-September 2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2016-September 2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2016-September 2016 英語 公開
K. Nakamura, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, F. Larramendy, O. Paul K. Nakamura, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, F. Larramendy, O. Paul K. Nakamura, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, F. Larramendy, O. Paul Simulation study of SU-8 structures realized by single-step projection photolithography Simulation study of SU-8 structures realized by single-step projection photolithography Simulation study of SU-8 structures realized by single-step projection photolithography 2016 IEEE SENSORS 2016 IEEE SENSORS 2016 IEEE SENSORS 2016 英語 公開
平井 義和 平井 義和 研究室だより:京都大学大学院 田畑・土屋(ナノ・マイクロシステム工学)研究室 研究室だより:京都大学大学院 田畑・土屋(ナノ・マイクロシステム工学)研究室 電学論E, 136, 8, NL8_3-NL8_3 電学論E, 136, 8, NL8_3-NL8_3 , 136, 8, NL8_3-NL8_3 2016 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuya Hemmi, Jun-ya Suzuki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuya Hemmi, Jun-ya Suzuki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuya Hemmi, Jun-ya Suzuki, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Tensile fracture of integrated single-crystal silicon nanowire using MEMS electrostatic testing device Tensile fracture of integrated single-crystal silicon nanowire using MEMS electrostatic testing device Tensile fracture of integrated single-crystal silicon nanowire using MEMS electrostatic testing device 21ST EUROPEAN CONFERENCE ON FRACTURE, (ECF21), 2, 1405-1412 21ST EUROPEAN CONFERENCE ON FRACTURE, (ECF21), 2, 1405-1412 21ST EUROPEAN CONFERENCE ON FRACTURE, (ECF21), 2, 1405-1412 2016 英語 公開
Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effect of Crystallographic Orientations on Fractures and Slip Occurrences at 500 °c of (110) Single Crystal Silicon Microstructures Effect of Crystallographic Orientations on Fractures and Slip Occurrences at 500 °c of (110) Single Crystal Silicon Microstructures Effect of Crystallographic Orientations on Fractures and Slip Occurrences at 500 degrees C of (110) Single Crystal Silicon Microstructures Procedia Structural Integrity, 2, 1413-1420 Procedia Structural Integrity, 2, 1413-1420 21ST EUROPEAN CONFERENCE ON FRACTURE, (ECF21), 2, 1413-1420 2016 英語 公開
土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. , 12p-D15-4. 2015/03 日本語 公開
朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 2015/03 英語 公開
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Optimization methods for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization methods for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization methods for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII, 9426 OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII, 9426 OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII, 9426 2015 英語 公開
Kazuhiro Ban, Akira Terao, Natsuhiko Mizutani, Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Tetsuo Kobayashi, Osamu Tabata Kazuhiro Ban, Akira Terao, Natsuhiko Mizutani, Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Tetsuo Kobayashi, Osamu Tabata Kazuhiro Ban, Akira Terao, Natsuhiko Mizutani, Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Tetsuo Kobayashi, Osamu Tabata Alkali Metal Source Tablet for Vapor Cells of Atomic Magnetometers Alkali Metal Source Tablet for Vapor Cells of Atomic Magnetometers Alkali Metal Source Tablet for Vapor Cells of Atomic Magnetometers 2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS), 174-179 2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS), 174-179 2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS), 174-179 2015 英語 公開
A. Uesugi, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata A. Uesugi, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata A. Uesugi, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata SIZE EFFECT ON BRITTLE-DUCTILE TRANSITION TEMPERATURE OF SILICON BY MEANS OF TENSILE TESTING SIZE EFFECT ON BRITTLE-DUCTILE TRANSITION TEMPERATURE OF SILICON BY MEANS OF TENSILE TESTING SIZE EFFECT ON BRITTLE-DUCTILE TRANSITION TEMPERATURE OF SILICON BY MEANS OF TENSILE TESTING 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015-February, 389-392 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015-February, 389-392 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015-February, 389-392 2015 英語 公開
Kosuke Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kosuke Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kosuke Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata FET PROPERTIES OF SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES INDIVIDUALLY ASSEMBLED UTILIZING SINGLE STRAND DNA FET PROPERTIES OF SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES INDIVIDUALLY ASSEMBLED UTILIZING SINGLE STRAND DNA FET PROPERTIES OF SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES INDIVIDUALLY ASSEMBLED UTILIZING SINGLE STRAND DNA 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015-February, 417-420 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015-February, 417-420 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015-February, 417-420 2015 英語 公開
Zhipeng Ma, Young-Joo Kim, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Do-Nyum Kim, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Young-Joo Kim, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Do-Nyum Kim, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Young-Joo Kim, Seongsu Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Do-Nyum Kim, Osamu Tabata Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation 2015 IEEE 10th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 581-584 2015 IEEE 10th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 581-584 2015 IEEE 10th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 581-584 2015 英語 公開
X. Ma, Y. Kato, F. Kempen, Y. Hirai, T. Tsuchiya, F. Keulen, O. Tabata X. Ma, Y. Kato, F. Kempen, Y. Hirai, T. Tsuchiya, F. Keulen, O. Tabata X. Ma, Y. Kato, F. Kempen, Y. Hirai, T. Tsuchiya, F. Keulen, O. Tabata Multiple Patterning with Process Optimization Method for Maskless DMD-Based Grayscale Lithography Multiple Patterning with Process Optimization Method for Maskless DMD-Based Grayscale Lithography Multiple Patterning with Process Optimization Method for Maskless DMD-Based Grayscale Lithography EUROSENSORS 2015, 120, 1091-1094 EUROSENSORS 2015, 120, 1091-1094 EUROSENSORS 2015, 120, 1091-1094 2015 英語 公開
Y. Matsui, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Matsui, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Matsui, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY UTILIZING SIZE EFFECT A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY UTILIZING SIZE EFFECT A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY UTILIZING SIZE EFFECT 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2212-2215 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2212-2215 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2212-2215 2015 英語 公開
Y. Kato, Y. Hirai, K. Kamei, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kato, Y. Hirai, K. Kamei, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kato, Y. Hirai, K. Kamei, T. Tsuchiya, O. Tabata MICROFLUIDIC DEVICE TO INTERCONNECT MULTIPLE ORGANS VIA FLUIDIC CIRCULATION: TOWARDS BODY-ON-A-CHIP MICROFLUIDIC DEVICE TO INTERCONNECT MULTIPLE ORGANS VIA FLUIDIC CIRCULATION: TOWARDS BODY-ON-A-CHIP MICROFLUIDIC DEVICE TO INTERCONNECT MULTIPLE ORGANS VIA FLUIDIC CIRCULATION: TOWARDS BODY-ON-A-CHIP 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 1549-1552 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 1549-1552 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 1549-1552 2015 英語 公開
Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata SELECTIVE ASSEMBLY OF DNA NANOSTRUCTURE BRIDGING ONTO A TRENCHED SILICON SUBSTRATE SELECTIVE ASSEMBLY OF DNA NANOSTRUCTURE BRIDGING ONTO A TRENCHED SILICON SUBSTRATE SELECTIVE ASSEMBLY OF DNA NANOSTRUCTURE BRIDGING ONTO A TRENCHED SILICON SUBSTRATE 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 1389-1392 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 1389-1392 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 1389-1392 2015 英語 公開
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H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 2014/11 英語 公開
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Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 2014/10 英語 公開
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A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 2014/10 英語 公開
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 2014/10 英語 公開
土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 , J2240106 2014/09 日本語 公開
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 , J2240206 2014/09 日本語 公開
上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 , J2240303 2014/09 日本語 公開
土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 , 講演番号528 2014/08 日本語 公開
土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 , OS1513 2014/07 日本語 公開
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 英語 公開
Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 英語 公開
平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 , 85-90 2014/05 日本語 公開
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 , 84 2014/03 日本語 公開
Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao, Osamu Tabata Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis 28TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS (EUROSENSORS 2014), 87, 62-65 28TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS (EUROSENSORS 2014), 87, 62-65 28TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS (EUROSENSORS 2014), 87, 62-65 2014 英語 公開
Yusuke Kogita, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yusuke Kogita, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yusuke Kogita, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya DOUBLE-SIDE-DRIVE ELECTROSTATIC OPTICAL CHOPPER FOR TIME-RESOLVED RAMAN SPECTROSCOPY DOUBLE-SIDE-DRIVE ELECTROSTATIC OPTICAL CHOPPER FOR TIME-RESOLVED RAMAN SPECTROSCOPY DOUBLE-SIDE-DRIVE ELECTROSTATIC OPTICAL CHOPPER FOR TIME-RESOLVED RAMAN SPECTROSCOPY 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 65-66 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 65-66 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 65-66 2014 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata LARGE-DISPLACEMENT ELECTROSTATIC DEFORMABLE MIRROR USING MOVABLE BOTTOM ELECTRODES LARGE-DISPLACEMENT ELECTROSTATIC DEFORMABLE MIRROR USING MOVABLE BOTTOM ELECTRODES LARGE-DISPLACEMENT ELECTROSTATIC DEFORMABLE MIRROR USING MOVABLE BOTTOM ELECTRODES 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 119-120 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 119-120 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 119-120 2014 英語 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 , 14, 265-267 2014/01 日本語 公開
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 , 3P01 2013/12 日本語 公開
成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 , 5PM3-PSS-117 2013/11 日本語 公開
藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 , T114 2013/09 日本語 公開
上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 , J211013 2013/09 日本語 公開
鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 , J211017 2013/09 日本語 公開
外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 , J211024 2013/09 日本語 公開
中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 , 講演番号549 2013/08 日本語 公開
Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 2013/07 英語 公開
Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 2013/04 英語 公開
北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 平成25年電気学会全国大会, 191-192 平成25年電気学会全国大会, 191-192 , 191-192 2013/03 日本語 公開
加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ 平成25年電気学会全国大会, 193-194 平成25年電気学会全国大会, 193-194 , 193-194 2013/03 日本語 公開
Daisuke Takagi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao Daisuke Takagi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao Daisuke Takagi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Kiyohide Fujimoto, Yoshihiko Hirao Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis 2013 IEEE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (NANOMED), 22-26 2013 IEEE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (NANOMED), 22-26 2013 IEEE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (NANOMED), 22-26 2013 英語 公開
Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 2013 英語 公開
T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 2013 英語 公開
F. C.M. Van Kempen, Y. Hirai, F. Van Keulen, O. Tabata F. C.M. Van Kempen, Y. Hirai, F. Van Keulen, O. Tabata F. C.M. Van Kempen, Y. Hirai, F. Van Keulen, O. Tabata Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 英語 公開
K. Sugano, H. Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Sugano, H. Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Sugano, H. Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 英語 公開
A. Uesugi, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A. Uesugi, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A. Uesugi, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 英語 公開
小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p , 30, 5p 2013/01 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p , 30, 6p 2013/01 日本語 公開
中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p , 30, 5p 2013/01 日本語 公開
谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 , 13, 129-131 2013/01 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 , 2013, S-28 2013/01 日本語 公開
平井 義和 平井 義和 Yoshikazu Hirai Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications The 2012 IEEE Nanotechnology Material and Devices Conference (IEEE-NMDC 2012) The 2012 IEEE Nanotechnology Material and Devices Conference (IEEE-NMDC 2012) The 2012 IEEE Nanotechnology Material and Devices Conference (IEEE-NMDC 2012) 2012/10 英語 研究発表ペーパー・要旨(全国大会、その他学術会議) 公開
柳生 裕聖, 平井 義和, 牧野 圭秀, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 柳生 裕聖, 平井 義和, 牧野 圭秀, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 371-374 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 371-374 , 371-374 2012/10 日本語 公開
鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 , OS7-3-5 2012/10 日本語 公開
F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 2012/09 英語 公開
F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata Optimization techniques for gray-scale photolithography Optimization techniques for gray-scale photolithography Optimization techniques for gray-scale photolithography The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 2012/07 英語 公開
Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 2012/07 英語 公開
西野聡, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 武中能子 西野聡, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 武中能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 , MSS-12, 1-22, 29-32 2012/06/11 日本語 公開
片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 , MSS-12, 1-22, 33-38 2012/06/11 日本語 公開
K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 2012/03 英語 公開
C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 2012/03 英語 公開
S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 2012/03 英語 公開
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 2012/03 英語 公開
T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 2012/03 英語 公開
徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 , 0 2012/03 日本語 公開
Koji Sugano, Akihiro Nakata, Hideaki Yoshimune, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Akihiro Nakata, Hideaki Yoshimune, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Akihiro Nakata, Hideaki Yoshimune, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2, 365-369 FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2, 365-369 FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2, 365-369 2012 英語 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Tsuchiya Toshiyuki, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Tsuchiya Toshiyuki, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Tsuchiya Toshiyuki, Osamu Tabata Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation 26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 47, 402-405 26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 47, 402-405 26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 47, 402-405 2012 英語 公開
Ken Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Momoko Yoshioka, Li Liu, Minako Nakajima, Qinghua Yuan, Yong Chen, Osamu Tabata Ken Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Momoko Yoshioka, Li Liu, Minako Nakajima, Qinghua Yuan, Yong Chen, Osamu Tabata Ken Ichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Momoko Yoshioka, Li Liu, Minako Nakajima, Qinghua Yuan, Yong Chen, Osamu Tabata Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012, 1063-1065 Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012, 1063-1065 Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012, 1063-1065 2012/01/01 公開
A. Kitamura, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Tsuchiya A. Kitamura, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Tsuchiya A. Kitamura, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Tsuchiya ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1213-1216 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1213-1216 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1213-1216 2012 英語 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 2012 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS IFIP Advances in Information and Communication Technology, 379, 94-109 IFIP Advances in Information and Communication Technology, 379, 94-109 IFIP Advances in Information and Communication Technology, 379, 94-109 2012 英語 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 88 Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 88 Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 88 2011/12 公開
平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 , ECT-11, 102-112, 7-11 2011/11/21 日本語 公開
KAMEI Ken‐ichiro, HIRAI Yoshikazu, MAKINO Yoshihide, LIU Li, YUAN Qinghua, CHEN Yong, TABATA Osamu KAMEI Ken‐ichiro, HIRAI Yoshikazu, MAKINO Yoshihide, LIU Li, YUAN Qinghua, CHEN Yong, TABATA Osamu KAMEI KEN-ICHIRO, HIRAI YOSHIKAZU, MAKINO YOSHIHIDE, LIU LI, YUAN QINGHUA, CHEN YONG, TABATA OSAMU Evaluation of Negative Photoresists for Culturing Mouse and Human Pluripotent Stem Cells Evaluation of Negative Photoresists for Culturing Mouse and Human Pluripotent Stem Cells Evaluation of Negative Photoresists for Culturing Mouse and Human Pluripotent Stem Cells センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 28th, ROMBUNNO.B3-5 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 28th, ROMBUNNO.B3-5 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 28th, ROMBUNNO.B3-5 2011/09/26 英語 公開
亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 , 89-92 2011/09 日本語 公開
片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 , 107-110 2011/09 日本語 公開
平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 , 334-339 2011/09 日本語 公開
西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 , 289 2011/09 日本語 公開
上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 , J161021 2011/09 日本語 公開
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 , No.11 2011/07 日本語 公開
菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 2011/07/01 日本語 公開
菅野公二, 吉宗秀晃, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 吉宗秀晃, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 2011/07/01 日本語 公開
北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 2011/07/01 日本語 公開
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 , 31-36 2011/06 日本語 公開
平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 2011/06 英語 公開
吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 平成23年電気学会全国大会, 186-187 平成23年電気学会全国大会, 186-187 , 186-187 2011/03 日本語 公開
K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 2011 英語 研究発表ペーパー・要旨(全国大会、その他学術会議) 公開
A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 英語 公開
K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 368-371 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 368-371 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 368-371 2011 英語 公開
Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, H. Yagyu, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, H. Yagyu, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, H. Yagyu, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2706-2709 2011 英語 公開
K. Sugano, H. Yoshimune, A. Nakata, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Sugano, H. Yoshimune, A. Nakata, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Sugano, H. Yoshimune, A. Nakata, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 1773-1776 2011 英語 公開
Koji Sugano, Hideaki Yoshimune, Akihiro Nakata, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Hideaki Yoshimune, Akihiro Nakata, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Hideaki Yoshimune, Akihiro Nakata, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 2011 英語 公開
Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 2011 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Yusuke Nakai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yusuke Nakai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yusuke Nakai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 2011 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, Osamu Tabata mESC and hiPSC Proliferation on Negative Photoresists for Microfluidics mESC and hiPSC Proliferation on Negative Photoresists for Microfluidics mESC and hiPSC Proliferation on Negative Photoresists for Microfluidics EUROSENSORS XXV, 25, 1233-1236 EUROSENSORS XXV, 25, 1233-1236 EUROSENSORS XXV, 25, 1233-1236 2011 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 英語 公開
平井 義和 平井 義和 国際会議報告:IEEE-NEMS2011 報告 国際会議報告:IEEE-NEMS2011 報告 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 131, 7 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 131, 7 , 131, 7 2011 日本語 公開
Ryo Sato, Tomoki Tanemura, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ryo Sato, Tomoki Tanemura, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ryo Sato, Tomoki Tanemura, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 2010/12/01 英語 公開
脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由 脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 , 2nd, 149-150 2010/10/12 日本語 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 , 2010, 2, 141-142 2010/10/12 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 , 656-661 2010/10 日本語 公開
脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅 脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 , 2010, Vol.8, 243-244 2010/09/04 日本語 公開
谷山彰, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由 谷山彰, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 , 2010, Vol.8, 255-256 2010/09/04 日本語 公開
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 , 0 2010/09 日本語 公開
Wakita Taku, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Ikehara Tsuyoshi Wakita Taku, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Ikehara Tsuyoshi Taku,Wakita, Yoshikazu,Hirai, Sugano, Kouji, Tsuchiya, Toshiyuki, Tsuyoshi,Ikehara Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 44 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 44 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 44, 44 2010/07 英語 公開
Tokusaki Hiroyuki, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tokusaki Hiroyuki, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiroyuki,Tokusaki, Yoshikazu,Hirai, Sugano, Kouji, Tsuchiya, Toshiyuki, Tabata, Osamu Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 2010/07 英語 公開
Tsujimoto Kazuya, Hirai Yoshikazu, 菅野 公二, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tsujimoto Kazuya, Hirai Yoshikazu, 菅野 公二, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya,Tsujimoto, Yoshikazu,Hirai, 菅野 公二, Tsuchiya, Toshiyuki, Tabata, Osamu Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 2010/07 英語 公開
菅野公二, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 , MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 2010/06/17 日本語 公開
Y. Hirai, Y. Nakai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, Y. Nakai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, Y. Nakai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 5, 854-857 EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 5, 854-857 EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 5, 854-857 2010 英語 公開
Guillermo Lopez, Tomoki Tanemura, Ryo Sato, Takahiro Saeki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Masahiro Fujita, Mizuo Maeda Guillermo Lopez, Tomoki Tanemura, Ryo Sato, Takahiro Saeki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Masahiro Fujita, Mizuo Maeda Guillermo Lopez, Tomoki Tanemura, Ryo Sato, Takahiro Saeki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Masahiro Fujita, Mizuo Maeda DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 英語 公開
平井 義和 平井 義和 Yoshikazu Hirai Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication(2009) Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication(2009) Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication(2009) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009) 2009/10 英語 研究発表ペーパー・要旨(全国大会、その他学術会議) 公開
平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 , 533-538 2009/10 日本語 公開
Jan G. Korvink, Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Pascal Meyer Jan G. Korvink, Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Pascal Meyer Jan G. Korvink, Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Pascal Meyer Exposure and Development Simulation for Deep X-Ray LIGA Exposure and Development Simulation for Deep X-Ray LIGA Exposure and Development Simulation for Deep X-Ray LIGA LIGA and its Applications, 7, 103-142 LIGA and its Applications, 7, 103-142 LIGA and its Applications, 7, 103-142 2009/08/05 英語 公開
菅野公二, 内田雄喜, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 内田雄喜, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 , MSS-09, 1-13, 7-12 2009/07/23 日本語 公開
菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 , 7-12 2009/07 日本語 公開
Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 2009 英語 研究発表ペーパー・要旨(全国大会、その他学術会議) 公開
Yoshikazu Hirai Yoshikazu Hirai Yoshikazu Hirai Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009), Tainan,Taiwan, 16 The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009), Tainan,Taiwan, 16 The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009), Tainan,Taiwan, 16 2009 英語 研究発表ペーパー・要旨(全国大会、その他学術会議) 公開
Fred van Keulen, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Fred van Keulen, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Fred van Keulen, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Automated Optimization of Light Dose Distribution for Moving-Mask Lithography Automated Optimization of Light Dose Distribution for Moving-Mask Lithography Automated Optimization of Light Dose Distribution for Moving-Mask Lithography EUROSIME 2009: THERMAL, MECHANICAL AND MULTI-PHYSICS SIMULATION AND EXPERIMENTS IN MICRO-ELECTRONICS AND MICRO-SYSTEMS, 123-+ EUROSIME 2009: THERMAL, MECHANICAL AND MULTI-PHYSICS SIMULATION AND EXPERIMENTS IN MICRO-ELECTRONICS AND MICRO-SYSTEMS, 123-+ EUROSIME 2009: THERMAL, MECHANICAL AND MULTI-PHYSICS SIMULATION AND EXPERIMENTS IN MICRO-ELECTRONICS AND MICRO-SYSTEMS, 123-+ 2009 英語 公開
M. Sato, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata M. Sato, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata M. Sato, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 1, 1, 389-392 PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 1, 1, 389-392 PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 1, 1, 389-392 2009 英語 公開
Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 2009 英語 公開
Fred Van Keulen, Fred Van Keulen, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Fred Van Keulen, Fred Van Keulen, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Fred Van Keulen, Fred Van Keulen, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO 2008/12/01 英語 公開
HIRAI Yoshikazu, INAMOTO Yoshiteru, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu, INAMOTO Yoshiteru, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu, INAMOTO Yoshiteru, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 2008/10/22 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu, Hirai, Sugano, Kouji, Tsuchiya, Toshiyuki, Tabata, Osamu 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 1559-1602 EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 1559-1602 The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 2008/09 英語 公開
Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 2008/08 英語 公開
平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 , MSS-08, 1-21, 1-6 2008/06/12 日本語 公開
平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 , 3, 138-139 2008/03 日本語 公開
杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体医工学シンポジウム2008, 0 生体医工学シンポジウム2008, 0 , 0 2008 日本語 公開
柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 , 19-24 2007/10 日本語 公開
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 , 303-304 2007/09 日本語 公開
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 電気学会総合研究会, 19-24 電気学会総合研究会, 19-24 , 19-24 2007/07 日本語 公開
Inamoto Yoshireru, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Inamoto Yoshireru, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshireru, Inamoto, Yoshikazu, Hirai, Sugano, Kouji, Tsuchiya, Toshiyuki, Tabata, Osamu Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 2007/06 英語 公開
稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 , 181-182 2007/03 日本語 公開
Y. Hirai, Y. Inamoto, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, Y. Inamoto, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Hirai, Y. Inamoto, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 545-548 TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 545-548 TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 545-548 2007 英語 公開
平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 , 471-476 2006/10 日本語 公開
N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata Prediction method of 3-D shape fabricated by double exposure technique in deep X-ray lithography ((DXRL)-X-2) Prediction method of 3-D shape fabricated by double exposure technique in deep X-ray lithography ((DXRL)-X-2) Prediction method of 3-D shape fabricated by double exposure technique in deep X-ray lithography ((DXRL)-X-2) MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006, 186-189 MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006, 186-189 MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006, 186-189 2006 英語 公開
大久保 陽一郎, 井戸田 芳典, 河村清美, 田畑 修, 平井 義和 大久保 陽一郎, 井戸田 芳典, 河村清美, 田畑 修, 平井 義和 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析−移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察− 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析−移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察− 日本液体微粒化学会第14回微粒化シンポジウム(微粒化の可能性への挑戦), 0 日本液体微粒化学会第14回微粒化シンポジウム(微粒化の可能性への挑戦), 0 , 0 2005/11 日本語 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL) Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL) Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL) PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 297-302 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 297-302 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 297-302 2005/10 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography High Aspect Micro Structure Technology, 144-145 High Aspect Micro Structure Technology, 144-145 High Aspect Micro Structure Technology, 144-145 2005/06 英語 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography High Aspect Micro Structure Technology, 146-147 High Aspect Micro Structure Technology, 146-147 High Aspect Micro Structure Technology, 146-147 2005/06 英語 公開
平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 機械学会情報知能部門会議, 0 機械学会情報知能部門会議, 0 , 0 2005/03 日本語 公開
N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep x-ray lithography A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep x-ray lithography A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep x-ray lithography MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 681-684 MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 681-684 MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 681-684 2004 英語 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 2004 英語 公開
Y Hirai, N Matsuzuka, S Hafizovic, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, N Matsuzuka, S Hafizovic, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, N Matsuzuka, S Hafizovic, JG Korvink, O Tabata 3D simulation system for moving mask deep X-ray lithography 3D simulation system for moving mask deep X-ray lithography 3D simulation system for moving mask deep X-ray lithography MHS2003: PROCEEDINGS OF 2003 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 271-276 MHS2003: PROCEEDINGS OF 2003 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 271-276 MHS2003: PROCEEDINGS OF 2003 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 271-276 2003 英語 公開
S Hafizovic, Y Hirai, O Tabata, JG Korvink S Hafizovic, Y Hirai, O Tabata, JG Korvink S Hafizovic, Y Hirai, O Tabata, JG Korvink X3D: 3D X-ray lithography and development simulation for MEMS X3D: 3D X-ray lithography and development simulation for MEMS X3D: 3D X-ray lithography and development simulation for MEMS BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2, 1570-1573 BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2, 1570-1573 BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2, 1570-1573 2003 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan. G. Korvink Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan. G. Korvink Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan. G. Korvink Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography High Aspect Micro Structure Technology, 37-38 High Aspect Micro Structure Technology, 37-38 High Aspect Micro Structure Technology, 37-38 2003/01 英語 公開
平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink 移動マスクX線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性 移動マスクX線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 391-395 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 391-395 , 391-395 2003 日本語 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 2003 英語 公開
平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 , MSS-02, 40, 65-70 2002 日本語 公開

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タイトル言語:
書籍等出版物
著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 出版社 出版社(日本語) 出版社(英語) 出版年月 記述言語 担当区分 公開
Saile, Volker Saile, Volker Saile, Volker LIGA and its applications LIGA and its applications LIGA and its applications Wiley-VCH Wiley-VCH Wiley-VCH 2009 英語 公開
タイトル言語:
産業財産権 (特許)
発明者 発明者(日本語) 発明者(英語) 発明の名称 発明の名称(日本語) 発明の名称(英語) 審査の段階 番号 年月 公開
亀井謙一郎, 平井義和, 田畑修, 宮崎貴史 亀井謙一郎, 平井義和, 田畑修, 宮崎貴史 マイクロ流体デバイス マイクロ流体デバイス 特許公開 特開2020-146015 2021/09/17 公開
福江久美子, 亀井謙一郎, 平井義和, 田畑修 福江久美子, 亀井謙一郎, 平井義和, 田畑修 細胞培養容器 細胞培養容器 特許公開 特開2020-099211 2021/07/02 公開
平井義和, 清瀬俊 平井義和, 清瀬俊 金属ガス封入セル及びその製造方法 金属ガス封入セル及びその製造方法 特許出願 特願2020-185571 2020/11/06 公開
田畑修, 藩和宏, 水谷夏彦, 平井義和, 辻本和也 田畑修, 藩和宏, 水谷夏彦, 平井義和, 辻本和也 アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル 特許公開 特開W02014/132651 2014/09/04 公開
タイトル言語:
学術賞等
賞の名称(日本語) 賞の名称(英語) 授与組織名(日本語) 授与組織名(英語) 年月
優秀ポスター賞 応用物理学会・集積化MEMS技術研究会 2021/03/11
優秀講演論文表彰 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 2021/02/01
令和元年度コニカミノルタ画像科学奨励賞 コニカミノルタ科学技術振興財団 2020/03/06
優秀技術論文賞 電気学会・E部門大会 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム The Institute of Electrical Engineers of Japan 2019/11/21
優秀講演論文表彰 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 2019/02/01
第6回新化学技術研究奨励賞 新化学技術推進協会 2017/06/15
第73回電気学術振興賞 論文賞 電気学会 The Institute of Electrical Engineers of Japan 2017/06/02
平成28年度秀でた利用6大成果賞 文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」 2017/02/17
Outstanding Reviewer Award in 2016 Journal of Micromechanics and Microengineering 2017/02/04
最優秀技術論文賞 電気学会E部門大会 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム The Institute of Electrical Engineers of Japan 2016/10/26
優秀論文発表賞 IEEJ Excellent Presentation Award 電気学会 The Institute of Electrical Engineers of Japan 2016/04/01
五十嵐賞 The Igarashi Award 電気学会E部門大会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム The Institute of Electrical Engineers of Japan 2015/10/30
畠山賞 The Hatakeyama Award 日本機械学会 The Japan Society of Mechanical Engineers 2003/03/22

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記事報道
発表タイトル メディア名 掲載欄/番組名 年月日
「臓器チップ」開発加速 読売新聞 2019/02/15
体内血液循環再現のチップ 産経新聞 2017/09/02
生体外ヒトモデル開発 日刊工業新聞 2017/08/04
体内を再現 臓器チップ 読売新聞・夕刊 2017/08/02
チップに人の「臓器」再現 日本経済新聞・夕刊 社会 2017/02/01
外部資金:競争的資金 (科学研究費補助金)
種別 代表/分担 テーマ(日本語) テーマ(英語) 期間
基盤研究(B) 分担 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する小腸ー肝臓・オン・チップ 2021/04/〜2024/03/
基盤研究(B) 代表 生体リズムを模倣する体内循環システム集積型「ボディ・オン・チップ」の開発 2019/04/〜2022/03/
国際共同研究加速基金(国際共同研究強化B) 分担 生体外モデルデバイスの細胞代謝リアルタイムモニタリング技術に関する日独共同研究 2018/10/〜2022/03/
基盤研究(B) 分担 膜電位存在下におけるイオンチャネルの機能と構造変化の1分子同時計測 2018/04/〜2021/03/
基盤研究(B) 分担 マイクロ流体技術を用いた次世代3次元組織工学の創成 2017/04/〜2020/03/
若手研究(B) 代表 高性能チップスケール原子デバイスを実現するガスセル作製法の新展開 2016/04/〜2018/03/
挑戦的萌芽研究 分担 絶滅危惧種の生体外モデル「Body on a Chip」の開発 2016/04/〜2018/03/
基盤研究(B) 分担 膜電位存在下におけるイオンチャネルの機能と構造変化の1分子同時計測 2015/04/〜2018/03/
挑戦的萌芽研究 分担 半導体ナノ加工技術を利用したX線1分子動態計測法の開発 2012/10/〜2013/09/
若手研究(B) 代表 リソグラフィを用いた分子フィルタ創製と分子動力学による細孔解析 2016/04/〜2022/03/
外部資金:競争的資金 (科学研究費補助金以外)
制度名 代表者名 研究課題(日本語) 研究課題(英語) 期間
田中貴金属記念財団・2020年度貴金属に関わる研究助成金 平井義和
荏原畠山記念文化財団・ 2019年度研究助成 平井義和 生体外実験モデルの構築に向けた高精度イオン液体型圧力センサ
テルモ生命科学振興財団・2019年度 研究助成(医療機器研究) 峰晴陽平 Flow FISH sorterの開発と革新的がん早期診断への展開
村田学術振興財団・平成30年度研究助成 平井義和 3次元微細加工を応用した超小型原子時計用ガスセルのプロセス開発
京都大学教育研究振興財団・平成30年度研究活動推進助成 平井義和 概日リズムをMEMS技術で模倣した革新的「ボディ・オン・チップ」の開発
京都技術科学センター・平成30年度研究開発助成金 平井義和 シリコン3次元微細加工を応用した超高感度原子センサ素子の開発
御器谷科学技術財団・平成29年度研究助成金 平井義和 生体適合性材料の成形加工を用いた高感度イオン液体型圧力センサの開発
日本板硝子材料工学助成会・平成28年度研究助成 平井義和 IoT社会の実現に向けた高精度チップスケール原子時計の作製技術に関する研究
テルモ科学技術振興財団・平成24年度特定研究助成 亀井謙一郎 「Body on a Chip」を用いた創薬スクリーニングの開発
平成24年度第2回「研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)」 探索タイプ 平井義和 3次元リソグラフィ用プロセス最適化シミュレータの開発
平成23年度第1回「研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)」 探索タイプ 平井義和 紫外線リソグラフィによるエポキシ樹脂系分子フィルタ作製技術の開発

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その他の研究活動等
名称 場所 備考 期間
有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム 2011/05/〜
担当科目
講義名(日本語) 講義名(英語) 開講期 学部/研究科 年度
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2019/04〜2020/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2019/04〜2020/03
機械システム工学実験2(機) Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2020/04〜2021/03
機械システム工学実験2(機) Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2020/04〜2021/03
機械システム工学実験2(機) Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2021/04〜2022/03
機械システム工学実験2(機) Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2021/04〜2022/03

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指導学生の受賞
受賞した学生名 賞の名称 授与組織名 年月
宮崎貴史 優秀論文発表賞 電気学会 2021/04/01
宮崎貴史 奨励賞 電気学会E部門大会 2020/10/27
木元雄一 研究奨励賞 エレクトロニクス実装学会 2019/06/27
山内一慶 Outstanding Paper Award Finalists Transducers2019 2019/09/12
山内一慶 優秀発表賞 化学とマイクロ・ナノシステム学会 2019/05/28
Jiaxu Wu 優秀論文発表賞 電気学会 2019/04/01
Jiaxu Wu 奨励賞 電気学会E部門大会 2018/11/01
部局運営(役職等)
役職名 期間
桂事業場環境安全衛生委員会 委員 2021/04/01〜2023/03/31
学会活動:学会役員歴
学会名(日本語) 学会名(英語) 役職名(日本語) 役職名(英語) 期間
電気学会 会計 2016/06/〜2018/05/
電気学会 E部門委員 2020/06/〜2022/05/
学会活動:編集委員歴
学会名(日本語) 学会名(英語) ジャーナル名(日本語) ジャーナル名(英語) 役職名 期間
IEEE IEEE Transactions on Nanotechnology Associate Editor 2019/03/〜
Sensors and Actuators Reports Editorial Board Members 2021/03/〜
学会活動:査読委員歴
学会名(日本語) 学会名(英語) ジャーナル名(日本語) ジャーナル名(英語) 期間
IEEE Journal of Microelectromechanical Systems
Journal of Micromechanics and Microengineering
Sensors and Actuators A: Physical
Sensors and Actuators B: Chemical
Micromachines
Optics Express
Analyst
Microsystem Technologies
Applied Physics Express
Japanese Journal of Applied Physics
電気学会 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (in Japanese)
日本機械学会 日本機械学会論文集 Transactions of the JSME (in Japanese)
Metals
Applied Science
Materials & Design
International Journal for Light and Electron Optics
Lasers in Manufacturing and Materials Processing
Journal of Bionic Engineering

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学会活動:研究集会委員歴
学会名 研究集会名 役職名 期間
日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 マイクロ・ナノ医療デバイスに関する研究会 委員 2014〜2017
日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 マイクロ・ナノ機械の信頼性研究会 委員 2014〜2017
電気学会E部門 マイクロ・ナノ医療デバイス調査専門委員会 委員 2014〜2017
電気学会E部門 マイクロ・ナノバイオ医療デバイス調査専門委員会 委員 2017〜2019
その他活動:国・地方公共団体での活動
委員会名(日本語) 委員会名(英語) 役職名 公共団体の名称 期間
専門調査員 文部科学省 科学技術・学術政策研究所 2013/07/16〜2021/03/31