田畑 修

Last Update: 2017/07/06 18:34:59

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Name(Kanji/Kana/Abecedarium Latinum)
田畑 修/タバタ オサム/Tabata, Osamu
Primary Affiliation(Org1/Job title)
Graduate School of Engineering/Professor
Faculty
Org1 Job title
工学部
Concurrent Affiliation
Org1 Job title
学際融合教育研究推進センター  日本-エジプト連携教育研究ユニット長
Center for the Promotion of Interdisciplinary Education and Research (C-PiER) ナノテクノロジーハブ拠点ユニット長
Contact Address
Type Address(Japanese) Address(English)
Office 〒615-8540 京都市西京区京都大学桂C3棟 Kyotodaigaku-Katsura C3, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan
Phone
Type Number
Office 075-383-3690
E-mail Address
E-mail address
tabata @ me.kyoto-u.ac.jp
Academic Organizations You are Affiliated to in Japan
Organization name(Japanese) Organization name(English)
機械学会 The Japan Society of Mechanical Engineers
電気学会 The Institute of Electrical Engineers of Japan
(社)エレクトロニクス実装学会 Japanese Institute of Electroncis Packaging
Academic Degree
Field(Japanese) Field(English) University(Japanese) University(English) Method
工学修士 名古屋工業大学
博士(工学) 名古屋工業大学
Academic Resume (Graduate Schools)
University(Japanese) University(English) Faculty(Japanese) Faculty(English) Major(Japanese) Major(English) Completion Status
名古屋工業大学 大学院工学研究科修士課程計測工学専攻 修了
名古屋工業大学 大学院工学研究科博士後期課程生産システム工学専攻 修了
Academic Resume (Undergraduate School/Majors)
University(Japanese) University(English) Faculty(Japanese) Faculty(English) Major(s)(Japanese) Major(s)(English) Completion Status
名古屋工業大学 工学部第一部計測工学科 卒業
Work Experience
Period Organization(Japanese) Organization(English) Job title(Japanese) Job title(English)
1981/04/01-1996/03/31 株式会社豊田中央研究所入社 Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc., Aichi, Japan. 研究員 Researcher
1996/04/01-2000/03/31 立命館大学理工学部機械工学科 助教授 Department of Mechanical Engineering, School of Science and Engineering, Ritsumeikan University 助教授 Associate Professor
2000/04/01-2003/09/25 立命館大学理工学部機械工学科 教授 Department of Mechanical Engineering, School of Science and Engineering, Ritsumeikan University 教授 Professor
2000/10/01-2000/12/31 ドイツ,フライブルク大学マイクロシステム Freiburg University 客員教授 Visiting Professor
2001/01/01-2001/03/31 スイス,連邦工科大学客員 教授 Swiss Federal Institute of Technology 客員教授 Visiting Professor
2003/09/26-2004/03/31 京都大学理大学院工学研究科機械工学専攻  Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University 教授 Professor
2004/04/01- 京都大学理大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 教授 Department of Microengineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University 教授 Professor
2010/05/01-2013/10/31 フライブルク高等研究所 Freiburg Institute for Advanced Studies 上席研究員 senior research fellow
2010/05/01-2013/06/30 華中科技大学 Huazong University of Science and Technology 客員教授 Guest Professor
Personal Profile
(English)
After he moved to Kyoto University in 2003, he continued to provide his enthusiastic support to the MEMS industries for the development of MEMS sensors and microfabrication technologies. Additionally, he started new research to realize a unique and novel nanosystem by assembling various functional components such as a microchip, a particle, a microcapsule, DNA origami, a cell, etc., with sizes ranging from the nanometer to micrometer scale on a few mm square MEMS substrate. The research on this direction is termed SENS (synthetic engineering for nano systems), and experimental and theoretical research on the establishment of SENS is pursued. To address this target, an approach using deoxyribonucleic acid (DNA) as intelligent adhesive which can be engineered to activate adhesiveness to a specific site at an arbitrary timing was propose. This idea was termed as Programmable Oriented Self-Assembly on MEMS (P-OSAM) and he succeeded to prove the feasibility of this idea. This idea can open a new possibility to realize new types of nano/bio sensors which has huge potential market in the world. He is now actively pursuing this research and establishment of the fundamental technologies.
Language of Instruction
Language(japanese) Language(english) Code
英語
researchmap URL
https://researchmap.jp/read0164650
Fields of research (key words)
Key words(Japanese) Key words(English)
マイクロマシン,マイクシステム,MEMS,ナノシステム,ナノマシン,微細加工,アセンブル Micromachine, Microsystem, MEMS, Nanosystem, Nanomachine, Ultra fine machining, assembly
Published Papers
Author Author(Japanese) Author(English) Title Title(Japanese) Title(English) Bibliography Bibliography(Japanese) Bibliography(English) Publication date Refereed paper Language Publishing type Disclose
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 2016/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
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Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 3 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 3 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 3 2013/03 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
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上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 日本機械学会論文集A編, 79, 804 日本機械学会論文集A編, 79, 804 日本機械学会論文集A編, 79, 804 2013/01 Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.P. El-Bab, O. Tabata, A. Abd El- Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.P. El-Bab, O. Tabata, A. Abd El- Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.P. El-Bab, O. Tabata, A. Abd El- Moneim Simulation of graphene piesoresistivity based on density functional calculations Simulation of graphene piesoresistivity based on density functional calculations Simulation of graphene piesoresistivity based on density functional calculations Modeling and Numerical Simulation of Material Science, 3 Modeling and Numerical Simulation of Material Science, 3 Modeling and Numerical Simulation of Material Science, 3 2013 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 2012/11 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics POLYMER, 53, 21 POLYMER, 53, 21 POLYMER, 53, 21 2012/09 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 2012/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 2012/01 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 2012/01 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 2012/01 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators PHYSICS LETTERS A, 375, 32 PHYSICS LETTERS A, 375, 32 PHYSICS LETTERS A, 375, 32 2011/07 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu Tabata Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu Tabata Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu Tabata Development of piezoelectric MEMS deformable mirror Development of piezoelectric MEMS deformable mirror Development of piezoelectric MEMS deformable mirror MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 17, 5-7 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 17, 5-7 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 17, 5-7 2011/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Mi Li, Lianqing Liu, Ning Xi, Yuechao Wang, Zaili Dong, Osamu Tabata, Xiubin Xiao, Weijing Zhang Mi Li, Lianqing Liu, Ning Xi, Yuechao Wang, Zaili Dong, Osamu Tabata, Xiubin Xiao, Weijing Zhang Mi Li, Lianqing Liu, Ning Xi, Yuechao Wang, Zaili Dong, Osamu Tabata, Xiubin Xiao, Weijing Zhang Imaging and measuring the rituximab-induced changes of mechanical properties in B-lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the rituximab-induced changes of mechanical properties in B-lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the rituximab-induced changes of mechanical properties in B-lymphoma cells using atomic force microscopy BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, 404, 2 BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, 404, 2 BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, 404, 2 2011/01 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 2011/01 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 2011 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 2010/12 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata A Closer Look at DNA Nanotechnology - A bridge between nanomaterials and a nanosystem A Closer Look at DNA Nanotechnology - A bridge between nanomaterials and a nanosystem A Closer Look at DNA Nanotechnology - A bridge between nanomaterials and a nanosystem IEEE Nanotechnology Magazine IEEE Nanotechnology Magazine IEEE Nanotechnology Magazine 2010/12 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
山田 崇恭, 泉井 一浩, 西脇 眞二, 佐藤 政司, 田畑 修 山田 崇恭, 泉井 一浩, 西脇 眞二, 佐藤 政司, 田畑 修 山田 崇恭, 泉井 一浩, 西脇 眞二, 佐藤 政司, 田畑 修 静電容量型超音波トランスデューサの最適構造設計法(レベルセット法に基づく等断面形状制約付きトポロジー最適化) 静電容量型超音波トランスデューサの最適構造設計法(レベルセット法に基づく等断面形状制約付きトポロジー最適化) 静電容量型超音波トランスデューサの最適構造設計法(レベルセット法に基づく等断面形状制約付きトポロジー最適化) 日本機械学会論文集A編, 76, 771 日本機械学会論文集A編, 76, 771 日本機械学会論文集A編, 76, 771 2010/11 Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 2010/10 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 2010/09 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 2010/07 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 2010/06 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
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Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 2010 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
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U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5 , 128, 5 2008/05 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 2008/05 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
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Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 2008 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 2007/06 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2, 3 2007/05 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 2007/02 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
A Ishida, M Sato, W Yoshikawa, O Tabata A Ishida, M Sato, W Yoshikawa, O Tabata A Ishida, M Sato, W Yoshikawa, O Tabata Graphical design for thin-film SMA microactuators Graphical design for thin-film SMA microactuators Graphical design for thin-film SMA microactuators Smart Materials and Structures, 16, 5 Smart Materials and Structures, 16, 5 Smart Materials and Structures, 16, 5 2007 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Ahmed M. R. Fath El-Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Osamu Tabata Ahmed M. R. Fath El-Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Osamu Tabata Ahmed M. R. Fath El-Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Osamu Tabata Tactile sensor for compliance detection Tactile sensor for compliance detection Tactile sensor for compliance detection SENSORS AND MATERIALS, 19, 3 SENSORS AND MATERIALS, 19, 3 SENSORS AND MATERIALS, 19, 3 2007 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E 2007 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 2006/02 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Dang Fuquan, Kakehi Kazuaki, Cheng Jingjun, Osamu Tabata, Kurokawa Masaya, Nakajima Kazuki, Ishikawa Mitsuru, Baba Yoshinobu Dang Fuquan, Kakehi Kazuaki, Cheng Jingjun, Osamu Tabata, Kurokawa Masaya, Nakajima Kazuki, Ishikawa Mitsuru, Baba Yoshinobu Dang Fuquan, Kakehi Kazuaki, Cheng Jingjun, Osamu Tabata, Kurokawa Masaya, Nakajima Kazuki, Ishikawa Mitsuru, Baba Yoshinobu Hybrid Dynamic Coating with n-Dodecyl b-D-Maltoside and Methyl Cellulose for High-Performance Carbohydrate Analysis on Poly(methyl methacrylate) Chips Hybrid Dynamic Coating with n-Dodecyl b-D-Maltoside and Methyl Cellulose for High-Performance Carbohydrate Analysis on Poly(methyl methacrylate) Chips Hybrid Dynamic Coating with n-Dodecyl b-D-Maltoside and Methyl Cellulose for High-Performance Carbohydrate Analysis on Poly(methyl methacrylate) Chips Anal. Chem, 2006, 78 Anal. Chem, 2006, 78 Anal. Chem, 2006, 78 2006 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Yagyu Hiromasa, Hayashi Shigehiko, Osamu Tabata Yagyu Hiromasa, Hayashi Shigehiko, Osamu Tabata Yagyu Hiromasa, Hayashi Shigehiko, Osamu Tabata Fabrication of Plastic Micro Tip Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Micro Tip Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Micro Tip Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 1 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 1 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 1 2006 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 7 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 7 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 7 2006 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 11 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 11 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 11 2005/11 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
A Ishida, M Sato, O Tabata, W Yoshikawa A Ishida, M Sato, O Tabata, W Yoshikawa A Ishida, M Sato, O Tabata, W Yoshikawa Shape memory thin films formed with carrousel-type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel-type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel-type magnetron sputtering apparatus SMART MATERIALS & STRUCTURES, 14, 5 SMART MATERIALS & STRUCTURES, 14, 5 SMART MATERIALS & STRUCTURES, 14, 5 2005/10 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 6 2005/06 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
FQ Dang, O Tabata, M Kurokawa, AA Ewis, LH Zhang, Y Yamaoka, S Shinohara, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba FQ Dang, O Tabata, M Kurokawa, AA Ewis, LH Zhang, Y Yamaoka, S Shinohara, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba FQ Dang, O Tabata, M Kurokawa, AA Ewis, LH Zhang, Y Yamaoka, S Shinohara, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba High-performance genetic analysis on microfabricated capillary array electrophoresis plastic chips fabricated by injection molding High-performance genetic analysis on microfabricated capillary array electrophoresis plastic chips fabricated by injection molding High-performance genetic analysis on microfabricated capillary array electrophoresis plastic chips fabricated by injection molding ANALYTICAL CHEMISTRY, 77, 7 ANALYTICAL CHEMISTRY, 77, 7 ANALYTICAL CHEMISTRY, 77, 7 2005/04 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Algorithm to Derive Optimal Mask and Movement Patterns in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm to Derive Optimal Mask and Movement Patterns in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm to Derive Optimal Mask and Movement Patterns in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) IEEJ Trans. SM, 125, 5 IEEJ Trans. SM, 125, 5 IEEJ Trans. SM, 125, 5 2005 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
F Dang, S Shinohara, O Tabata, Y Yamaoka, M Kurokawa, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba F Dang, S Shinohara, O Tabata, Y Yamaoka, M Kurokawa, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba F Dang, S Shinohara, O Tabata, Y Yamaoka, M Kurokawa, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba Replica multichannel polymer chips with a network of sacrificial channels sealed by adhesive printing method Replica multichannel polymer chips with a network of sacrificial channels sealed by adhesive printing method Replica multichannel polymer chips with a network of sacrificial channels sealed by adhesive printing method LAB ON A CHIP, 5, 4 LAB ON A CHIP, 5, 4 LAB ON A CHIP, 5, 4 2005 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
H Yagyu, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, S Hayashi, O Tabata Application of nanoparticles dispersed polymer to micropowder blasting mask Application of nanoparticles dispersed polymer to micropowder blasting mask Application of nanoparticles dispersed polymer to micropowder blasting mask JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 13, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 13, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 13, 1 2004/02 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Kakinaga Takamitsu, Osamu Tabata, Baba Noriaki, Isono Yoshitada, J.G.Korvink, K.H.Ehrmann Kakinaga Takamitsu, Osamu Tabata, Baba Noriaki, Isono Yoshitada, J.G.Korvink, K.H.Ehrmann Kakinaga Takamitsu, Osamu Tabata, Baba Noriaki, Isono Yoshitada, J.G.Korvink, K.H.Ehrmann Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 124, 1 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 124, 1 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 124, 1 2004 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 2004 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Matsuzuka Naoki, Hirai Yoshikazu, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Hirai Yoshikazu, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Hirai Yoshikazu, Osamu Tabata 3-D Microfabrication Process by Double Exposure Method in Standard X-Ray Lithography 3-D Microfabrication Process by Double Exposure Method in Standard X-Ray Lithography 3-D Microfabrication Process by Double Exposure Method in Standard X-Ray Lithography Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 2004 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
You Hui, Shinohara Shoji, Enami Kennichi, Shibata Shinsuke, Osamu Tabata, Shiraishi Haruki, Ueda Masanori, Baba Yoshinobu You Hui, Shinohara Shoji, Enami Kennichi, Shibata Shinsuke, Osamu Tabata, Shiraishi Haruki, Ueda Masanori, Baba Yoshinobu You Hui, Shinohara Shoji, Enami Kennichi, Shibata Shinsuke, Osamu Tabata, Shiraishi Haruki, Ueda Masanori, Baba Yoshinobu Micro Capillary Array Electrophoresis Chip by Moving Mask LIGA Technology Micro Capillary Array Electrophoresis Chip by Moving Mask LIGA Technology Micro Capillary Array Electrophoresis Chip by Moving Mask LIGA Technology International Journal of Information Acquisition, 1, 1 International Journal of Information Acquisition, 1, 1 International Journal of Information Acquisition, 1, 1 2004 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
川村 貞夫, 山本 貴志, 石田 大二郎, 中山 雄一郎, 田畑 修 川村 貞夫, 山本 貴志, 石田 大二郎, 中山 雄一郎, 田畑 修 Development of Wearable Elements with Variable Stiffness ウエアラブル可変剛性要素の開発 Development of Wearable Elements with Variable Stiffness 日本機械学会論文集, 69, 688-C 日本機械学会論文集, 69, 688-C , 69, 688-C 2003 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
平井 義和, Hafizovic Sadik, Jan G. Korvink, 田畑 修 平井 義和, Hafizovic Sadik, Jan G. Korvink, 田畑 修 Process Simulation System for 3D X-Ray Lithography and Development X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 Process Simulation System for 3D X-Ray Lithography and Development 電気学会論文誌 センサマイクロマシン準部門誌, 123, 9 電気学会論文誌 センサマイクロマシン準部門誌, 123, 9 , 123, 9 2003 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Memoirs of SR Center, 5 Memoirs of SR Center, 5 Memoirs of SR Center, 5 2003 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Osamu Tabata You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Osamu Tabata You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Osamu Tabata Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Journal of Micromechatronics, 2, 1 Journal of Micromechatronics, 2, 1 Journal of Micromechatronics, 2, 1 2003 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術 ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術 ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 123-E, 10 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 123-E, 10 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 123-E, 10 2003 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Uemura Suguru, Dama Issei Osamu Tabata, You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Uemura Suguru, Dama Issei Osamu Tabata, You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Uemura Suguru, Dama Issei Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Microsystem Technologies, 8 Microsystem Technologies, 8 Microsystem Technologies, 8 2002 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Effect of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon Effect of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon Effect of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon Microsystem Technologies, 9, 1 Microsystem Technologies, 9, 1 Microsystem Technologies, 9, 1 2002 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2 Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2 Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12 2002 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Hirasawa Hiroshi, Aoki Shintaro, Yoshida Ryo, Kokufuta Etsuo Osamu Tabata, Hirasawa Hiroshi, Aoki Shintaro, Yoshida Ryo, Kokufuta Etsuo Osamu Tabata, Hirasawa Hiroshi, Aoki Shintaro, Yoshida Ryo, Kokufuta Etsuo Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Sensors and Actuators A, 95 Sensors and Actuators A, 95 Sensors and Actuators A, 95 2002 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure 電気学会E部門論文誌, 121-E, 12 電気学会E部門論文誌, 121-E, 12 電気学会E部門論文誌, 121-E, 12 2001/01 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solution Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solution Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solution Sensors and Materials, 13, 5 Sensors and Materials, 13, 5 Sensors and Materials, 13, 5 2001 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Cusin Pierre, Ito Yuichi, Kawai Fumie, Hirai Shinichi, Kawamura Sadao Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Cusin Pierre, Ito Yuichi, Kawai Fumie, Hirai Shinichi, Kawamura Sadao Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Cusin Pierre, Ito Yuichi, Kawai Fumie, Hirai Shinichi, Kawamura Sadao Micro Fabricated Tunable Bending Stifness Device Micro Fabricated Tunable Bending Stifness Device Micro Fabricated Tunable Bending Stifness Device Sensors and Actuators,, A89 Sensors and Actuators,, A89 Sensors and Actuators,, A89 2001 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Ueda Masanori, Nakanishi Hiroaki, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Nakanishi Hiroaki, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Nakanishi Hiroaki, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Imaging of a Band for DNA Fragment Migrating in Microchannel on Integrated Microchip Imaging of a Band for DNA Fragment Migrating in Microchannel on Integrated Microchip Imaging of a Band for DNA Fragment Migrating in Microchannel on Integrated Microchip Material Science and Enginering, C 12 Material Science and Enginering, C 12 Material Science and Enginering, C 12 2000 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Terasoma Kouichi, Agawa Norihiro, Yamamoto Kouji Osamu Tabata, Terasoma Kouichi, Agawa Norihiro, Yamamoto Kouji Osamu Tabata, Terasoma Kouichi, Agawa Norihiro, Yamamoto Kouji 3-Dimensional Microstructure Fabrication Using Multiple Moving Mask Deep X-Ray Lithography Process 3-Dimensional Microstructure Fabrication Using Multiple Moving Mask Deep X-Ray Lithography Process 3-Dimensional Microstructure Fabrication Using Multiple Moving Mask Deep X-Ray Lithography Process 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 2000 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Yashima Manabu, Yoshioka Tetsuo, Sato Kazuo Osamu Tabata, Yashima Manabu, Yoshioka Tetsuo, Sato Kazuo Osamu Tabata, Yashima Manabu, Yoshioka Tetsuo, Sato Kazuo Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 2000 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, Hui You, 白石晴樹, 中西博昭, 西本尚弘, 山元廣治, 馬場嘉信 田畑 修, Hui You, 白石晴樹, 中西博昭, 西本尚弘, 山元廣治, 馬場嘉信 μ-CE Chip Fabricated by Moving Mask Deep X-ray Lithography Technology μ-CE Chip Fabricated by Moving Mask Deep X-ray Lithography Technology μ-CE Chip Fabricated by Moving Mask Deep X-ray Lithography Technology センサシンポジウム センサシンポジウム 2000 Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
白石 晴樹, 川中 智司, 松田 十四夫, 田畑 修, 池田 重良 白石 晴樹, 川中 智司, 松田 十四夫, 田畑 修, 池田 重良 白石 晴樹, 川中 智司, 松田 十四夫, 田畑 修, 池田 重良 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャネルチップの作製 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャネルチップの作製 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャネルチップの作製 分析化学, 49, 12 分析化学, 49, 12 分析化学, 49, 12 2000 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Ueda Masanori, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Development of Micorfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Micorfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Micorfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 1999 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
藤江 孝行, 寺杣 幸一, 田畑 修, 馬場 嘉信 藤江 孝行, 寺杣 幸一, 田畑 修, 馬場 嘉信 藤江 孝行, 寺杣 幸一, 田畑 修, 馬場 嘉信 X線照射加工を用いたマイクロキャピラリアレイ用傾斜側壁の加工技術 X線照射加工を用いたマイクロキャピラリアレイ用傾斜側壁の加工技術 X線照射加工を用いたマイクロキャピラリアレイ用傾斜側壁の加工技術 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 1999 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Ueno Hiroshi, Hosaka Makoto, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Sugiyama Susumu Ueno Hiroshi, Hosaka Makoto, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Sugiyama Susumu Ueno Hiroshi, Hosaka Makoto, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Sugiyama Susumu X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process 電気学会E部門論文誌, 119-E, 4 電気学会E部門論文誌, 119-E, 4 電気学会E部門論文誌, 119-E, 4 1999 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Yamamoto Takeshi Osamu Tabata, Yamamoto Takeshi Osamu Tabata, Yamamoto Takeshi Two-Axis Detection Resonant Acceleration Based on Rigidity Change Two-Axis Detection Resonant Acceleration Based on Rigidity Change Two-Axis Detection Resonant Acceleration Based on Rigidity Change Sensors and Actuators, 75 Sensors and Actuators, 75 Sensors and Actuators, 75 1999 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Journal of Micro ElectroMechinical Systems, 7, 1 Journal of Micro ElectroMechinical Systems, 7, 1 Journal of Micro ElectroMechinical Systems, 7, 1 1998/03 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata CAD for Silicon Anisotropic Etching -Efffects of Etching Products and Diffusion- CAD for Silicon Anisotropic Etching -Efffects of Etching Products and Diffusion- CAD for Silicon Anisotropic Etching -Efffects of Etching Products and Diffusion- Sensors and Materials, 10, 7 Sensors and Materials, 10, 7 Sensors and Materials, 10, 7 1998 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata SiO2 Etching Rate Control of TMAH SiO2 Etching Rate Control of TMAH SiO2 Etching Rate Control of TMAH 電気学会E部門論文誌, 118-E, 5 電気学会E部門論文誌, 118-E, 5 電気学会E部門論文誌, 118-E, 5 1998 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentarou Mizuno, Kazuo Ootsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentarou Mizuno, Kazuo Ootsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentarou Mizuno, Kazuo Ootsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Sensors and Actuators, A66 Sensors and Actuators, A66 Sensors and Actuators, A66 1998 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Sugiyama Susumu, Y. Zhang, Hosaka Makoto, Ueno Hiroshi, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Maeda Ryuutarou Sugiyama Susumu, Y. Zhang, Hosaka Makoto, Ueno Hiroshi, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Maeda Ryuutarou Sugiyama Susumu, Y. Zhang, Hosaka Makoto, Ueno Hiroshi, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Maeda Ryuutarou Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline Microsystem Technologies, 4, 2 Microsystem Technologies, 4, 2 Microsystem Technologies, 4, 2 1998 English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Omura Yoshiteru, Nonomura Yutaka, Osamu Tabata Omura Yoshiteru, Nonomura Yutaka, Osamu Tabata Omura Yoshiteru, Nonomura Yutaka, Osamu Tabata A Surface Micromachined Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change A Surface Micromachined Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change A Surface Micromachined Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change 電気学会E部門論文誌, 118-E, 9 電気学会E部門論文誌, 118-E, 9 電気学会E部門論文誌, 118-E, 9 1998 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Koga Shuji, Yamasawa Akira, Kawahito Shoji, Tadokoro Yoshiaki, Mizuno Kentaro, Osamu Tabata Koga Shuji, Yamasawa Akira, Kawahito Shoji, Tadokoro Yoshiaki, Mizuno Kentaro, Osamu Tabata Koga Shuji, Yamasawa Akira, Kawahito Shoji, Tadokoro Yoshiaki, Mizuno Kentaro, Osamu Tabata Micro Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using ΔΣ Modulation Micro Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using ΔΣ Modulation Micro Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using ΔΣ Modulation 電気学会E部門論文誌, 117-E, 2 電気学会E部門論文誌, 117-E, 2 電気学会E部門論文誌, 117-E, 2 1997 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
内藤 隆, 山田 日出夫, 田畑 修, 村瀬 英寿 内藤 隆, 山田 日出夫, 田畑 修, 村瀬 英寿 内藤 隆, 山田 日出夫, 田畑 修, 村瀬 英寿 平板に衝突する渦輪の実験(壁面に与える力の考察) 平板に衝突する渦輪の実験(壁面に与える力の考察) 平板に衝突する渦輪の実験(壁面に与える力の考察) ながれ, 16, 1 ながれ, 16, 1 ながれ, 16, 1 1997 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Fujitsuka Norio, Sakata Jiro, Miyachi Yukio, Mizuno Kentarou, Ootsuka Kazuo, Taga Yasunori, Osamu Tabata Fujitsuka Norio, Sakata Jiro, Miyachi Yukio, Mizuno Kentarou, Ootsuka Kazuo, Taga Yasunori, Osamu Tabata Fujitsuka Norio, Sakata Jiro, Miyachi Yukio, Mizuno Kentarou, Ootsuka Kazuo, Taga Yasunori, Osamu Tabata Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film 電気学会E部門論文誌, 117-E, 12 電気学会E部門論文誌, 117-E, 12 電気学会E部門論文誌, 117-E, 12 1997 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, 島岡 敬一 田畑 修, 島岡 敬一 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 4 電気学会E部門論文誌, 116-E, 4 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 4 1996/01 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Shimaoka Keiichi, Asahi Ryouji, Sugiyama Susumu Osamu Tabata, Shimaoka Keiichi, Asahi Ryouji, Sugiyama Susumu Osamu Tabata, Shimaoka Keiichi, Asahi Ryouji, Sugiyama Susumu Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology Sensors and Materials, 8, 1 Sensors and Materials, 8, 1 Sensors and Materials, 8, 1 1996 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining Sensors and Actuators, .A53 Sensors and Actuators, .A53 Sensors and Actuators, .A53 1996 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 1996 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 1996 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Asahi Ryouji, Sakata Jiro, Osamu Tabata, Mochizuki Midori, Sugiyama Susumu, Taga Yasunori Asahi Ryouji, Sakata Jiro, Osamu Tabata, Mochizuki Midori, Sugiyama Susumu, Taga Yasunori Asahi Ryouji, Sakata Jiro, Osamu Tabata, Mochizuki Midori, Sugiyama Susumu, Taga Yasunori Integrated Pyroelectric Infrared Sensor Using PVDF Thin Film Deposited by Electro-Spray Method Integrated Pyroelectric Infrared Sensor Using PVDF Thin Film Deposited by Electro-Spray Method Integrated Pyroelectric Infrared Sensor Using PVDF Thin Film Deposited by Electro-Spray Method Materials Research Society, 310 Materials Research Society, 310 Materials Research Society, 310 1994 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Sugiyama Susumu, Shimaoka Keiichi, Osamu Tabata Sugiyama Susumu, Shimaoka Keiichi, Osamu Tabata Sugiyama Susumu, Shimaoka Keiichi, Osamu Tabata Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors Sensors and Materials, 4, 5 Sensors and Materials, 4, 5 Sensors and Materials, 4, 5 1993 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Susumu Sugiyama Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solutions Sensors and Actuators, A34, 1 Sensors and Actuators, A34, 1 Sensors and Actuators, A34, 1 1992/07 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Akimasa Tanaka, Masayoshi Suzuki, Ryouji Asahi, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama Akimasa Tanaka, Masayoshi Suzuki, Ryouji Asahi, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama Akimasa Tanaka, Masayoshi Suzuki, Ryouji Asahi, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama Infrared Linear Image Sensor Using a Poly-Si pn Junction Diode Array Infrared Linear Image Sensor Using a Poly-Si pn Junction Diode Array Infrared Linear Image Sensor Using a Poly-Si pn Junction Diode Array Infrared Physics, 33, 4 Infrared Physics, 33, 4 Infrared Physics, 33, 4 1992/02 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Nagata Tomio, Terabe Hiroaki, Kuwahara Sirou, Sakurai Sizuki, Osamu Tabata, Sugiyama Susumu, Esashi Masayoshi Nagata Tomio, Terabe Hiroaki, Kuwahara Sirou, Sakurai Sizuki, Osamu Tabata, Sugiyama Susumu, Esashi Masayoshi Nagata Tomio, Terabe Hiroaki, Kuwahara Sirou, Sakurai Sizuki, Osamu Tabata, Sugiyama Susumu, Esashi Masayoshi Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Sensors and Actuators, A34 Sensors and Actuators, A34 Sensors and Actuators, A34 1992 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, 村瀬 英寿, 阪野 修, 山田 日出夫 田畑 修, 村瀬 英寿, 阪野 修, 山田 日出夫 田畑 修, 村瀬 英寿, 阪野 修, 山田 日出夫 過渡的な微小圧力変化の光干渉を用いた測定 過渡的な微小圧力変化の光干渉を用いた測定 過渡的な微小圧力変化の光干渉を用いた測定 ながれ, 11, 3 ながれ, 11, 3 ながれ, 11, 3 1992 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
島岡 敬一, 田畑 修, 木村 雅人, 杉山 進 島岡 敬一, 田畑 修, 木村 雅人, 杉山 進 島岡 敬一, 田畑 修, 木村 雅人, 杉山 進 サーフェスマイクロマシーニング技術を用いたマイクロ圧力センサ サーフェスマイクロマシーニング技術を用いたマイクロ圧力センサ サーフェスマイクロマシーニング技術を用いたマイクロ圧力センサ 電気学会C部門論文誌, 112-C, 12 電気学会C部門論文誌, 112-C, 12 電気学会C部門論文誌, 112-C, 12 1992 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Susumu Sugiyama, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Susumu Sugiyama, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Susumu Sugiyama, Hideo Yamada Characteristics of a Silicon Monolithic Pressure-Flow Sensor for Air Mass Flow Rate Measurements Characteristics of a Silicon Monolithic Pressure-Flow Sensor for Air Mass Flow Rate Measurements Characteristics of a Silicon Monolithic Pressure-Flow Sensor for Air Mass Flow Rate Measurements Heat Transfer Japanese Research, 21, 8 Heat Transfer Japanese Research, 21, 8 Heat Transfer Japanese Research, 21, 8 1992 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, 稲垣 大, 杉山 進, 山田日出夫 田畑 修, 稲垣 大, 杉山 進, 山田日出夫 田畑 修, 稲垣 大, 杉山 進, 山田日出夫 シリコン圧力・流量複合センサの空気流量検出特性 シリコン圧力・流量複合センサの空気流量検出特性 シリコン圧力・流量複合センサの空気流量検出特性 電気学会C部門論文誌, 111-C, 12 電気学会C部門論文誌, 111-C, 12 電気学会C部門論文誌, 111-C, 12 1991 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Mitsuharu Takigawa Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Mitsuharu Takigawa Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Mitsuharu Takigawa Control of Internal Stress and Young's Modulus of Si3N4 and Polycrystalline Silicon Thin Films Using the Ion Implantation Technique Control of Internal Stress and Young's Modulus of Si3N4 and Polycrystalline Silicon Thin Films Using the Ion Implantation Technique Control of Internal Stress and Young's Modulus of Si3N4 and Polycrystalline Silicon Thin Films Using the Ion Implantation Technique Applied Physics Letters, 56, 14 Applied Physics Letters, 56, 14 Applied Physics Letters, 56, 14 1990/04 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array Sensors and Actuators, B1 Sensors and Actuators, B1 Sensors and Actuators, B1 1990/01 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, 杉山 進, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美 田畑 修, 杉山 進, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美 田畑 修, 杉山 進, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美 イオン注入法による圧力センサ用窒化シリコン薄膜の機械的物性制御 イオン注入法による圧力センサ用窒化シリコン薄膜の機械的物性制御 イオン注入法による圧力センサ用窒化シリコン薄膜の機械的物性制御 電気学会C部門論文誌, 110-C, 4 電気学会C部門論文誌, 110-C, 4 電気学会C部門論文誌, 110-C, 4 1990 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Sensors and Actuators, 20 Sensors and Actuators, 20 Sensors and Actuators, 20 1989/11 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Monolithic Pressure-Flow Sensor Monolithic Pressure-Flow Sensor Monolithic Pressure-Flow Sensor IEEE Transactions on Electron Devices, ED-34, 12 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-34, 12 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-34, 12 1987/12 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Fast-Response Silicon Flow Sensor with an On-Chip Fluid Temperature Sensing Element Fast-Response Silicon Flow Sensor with an On-Chip Fluid Temperature Sensing Element Fast-Response Silicon Flow Sensor with an On-Chip Fluid Temperature Sensing Element IEEE Transactions on Electron Devices, ED-33, 3 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-33, 3 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-33, 3 1986/03 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
Junji Toyama, Osamu Tabata Junji Toyama, Osamu Tabata Junji Toyama, Osamu Tabata Clinical Application of Body Surface Mapping Clinical Application of Body Surface Mapping Clinical Application of Body Surface Mapping Japanese Circulation Journal, 45, 10 Japanese Circulation Journal, 45, 10 Japanese Circulation Journal, 45, 10 1981/10 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, 小堀博道, 外山淳治, 内藤義英, 山田和生 田畑 修, 小堀博道, 外山淳治, 内藤義英, 山田和生 空間フィルタを用いた体表面心臓電位図からの臨床情報抽出 空間フィルタを用いた体表面心臓電位図からの臨床情報抽出 空間フィルタを用いた体表面心臓電位図からの臨床情報抽出 医用電子と生体工学, 19, 4 医用電子と生体工学, 19, 4 医用電子と生体工学, 19, 4 1981/08 Refereed English Research paper(scientific journal) Disclose to all
田畑 修, 外山淳治, 小堀博道, 渡辺敏文, 大野三良, 太田寿城, 小栗 孟, 内藤義英, 山田和生 田畑 修, 外山淳治, 小堀博道, 渡辺敏文, 大野三良, 太田寿城, 小栗 孟, 内藤義英, 山田和生 田畑 修, 外山淳治, 小堀博道, 渡辺敏文, 大野三良, 太田寿城, 小栗 孟, 内藤義英, 山田和生 電位図上での心室興奮breakthroughの認識と電極配置 電位図上での心室興奮breakthroughの認識と電極配置 電位図上での心室興奮breakthroughの認識と電極配置 医用電子と生体工学, 19, 2 医用電子と生体工学, 19, 2 医用電子と生体工学, 19, 2 1981/04 Refereed Japanese Research paper(scientific journal) Disclose to all

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Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 English Disclose to all
Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 Refereed English Disclose to all
Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 English Disclose to all
Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 2015/04 English Disclose to all
K. Ban, K. Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, A. Terao, N. Mizutani, T. Kobayashi, Osamu Tabata K. Ban, K. Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, A. Terao, N. Mizutani, T. Kobayashi, Osamu Tabata K. Ban, K. Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, A. Terao, N. Mizutani, T. Kobayashi, Osamu Tabata Alkali metal source tablet for vapor cells of atomic magnetometers Alkali metal source tablet for vapor cells of atomic magnetometers Alkali metal source tablet for vapor cells of atomic magnetometers The 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum (IFCF-EFTF 2015), 0 The 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum (IFCF-EFTF 2015), 0 The 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum (IFCF-EFTF 2015), 0 2015/04 English Disclose to all
朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 2015/03 English Disclose to all
土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. 2015/03 Japanese Disclose to all
X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 2015/02 English Disclose to all
A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 2015/01 English Disclose to all
K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 2015/01 English Disclose to all
K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 2015/01 English Disclose to all
K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 2014/11 English Disclose to all
H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 2014/11 English Disclose to all
外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性 第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 20pm1-C1 第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 20pm1-C1 第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 20pm1-C1 2014/10 Japanese Disclose to all
上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移 第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 20pm3-PM005 第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 20pm3-PM005 第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 20pm3-PM005 2014/10 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm1-B1 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm1-B1 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm1-B1 2014/10 Japanese Disclose to all
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 2014/10 English Disclose to all
平井義和, 田畑修, 清水啓史 平井義和, 田畑修, 清水啓史 平井義和, 田畑修, 清水啓史 X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発 X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発 X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発 化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2P22 化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2P22 化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2P22 2014/10 Japanese Disclose to all
Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 2014/10 English Disclose to all
A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 2014/10 English Disclose to all
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 2014/10 English Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 2014/09 English Disclose to all
上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 2014/09 Japanese Disclose to all
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 2014/09 Japanese Disclose to all
土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 2014/09 Japanese Disclose to all
上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 2014/08 Japanese Disclose to all
土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 2014/08 Japanese Disclose to all
土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 2014/07 Japanese Disclose to all
Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 English Disclose to all
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 English Disclose to all
菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 2014/05 Japanese Disclose to all
平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 2014/05 Japanese Disclose to all
M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.F. El-Bab, Osamu Tabata, A.A. El-Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.F. El-Bab, Osamu Tabata, A.A. El-Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.F. El-Bab, Osamu Tabata, A.A. El-Moneim First-principles simulation on orientation dependence of piezoresistivity in graphene nanoribbon First-principles simulation on orientation dependence of piezoresistivity in graphene nanoribbon First-principles simulation on orientation dependence of piezoresistivity in graphene nanoribbon The 2nd International Conference on Engineering and Technology (ICET 2014), 1-6 The 2nd International Conference on Engineering and Technology (ICET 2014), 1-6 The 2nd International Conference on Engineering and Technology (ICET 2014), 1-6 2014/04 English Disclose to all
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 2014/03 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 イノベーション創出に向けた知の創出・蓄積・応用・伝承拠点 (ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開 : ベンチャー、中小から大企業まで(第5回)) イノベーション創出に向けた知の創出・蓄積・応用・伝承拠点 (ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開 : ベンチャー、中小から大企業まで(第5回)) イノベーション創出に向けた知の創出・蓄積・応用・伝承拠点 (ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開 : ベンチャー、中小から大企業まで(第5回)) 工業材料, 62, 10, 73-75 工業材料, 62, 10, 73-75 工業材料, 62, 10, 73-75 2014/01 Japanese Disclose to all
上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 2014/01 Japanese Disclose to all
T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 2014 English Disclose to all
Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 2014 English Disclose to all
L. Li, L. Liu, Osamu Tabata, W.J. Li L. Li, L. Liu, Osamu Tabata, W.J. Li L. Li, L. Liu, Osamu Tabata, W.J. Li Elasticity measurement of DNA origami nanotube in liquid with tapping mode AFM Elasticity measurement of DNA origami nanotube in liquid with tapping mode AFM Elasticity measurement of DNA origami nanotube in liquid with tapping mode AFM The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2014), 684-687 The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2014), 684-687 The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2014), 684-687 2014 English Disclose to all
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 2013/12 Japanese Disclose to all
成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 2013/11 Japanese Disclose to all
D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 2013/11 English Disclose to all
中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6PM3-PSS-058 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6PM3-PSS-058 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6PM3-PSS-058 2013/11 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会2 小さな機械が創る大きな機会2 小さな機械が創る大きな機会2 広島県府中高等学校, 0 広島県府中高等学校, 0 広島県府中高等学校, 0 2013/11 Japanese Disclose to all
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 2013/11 Japanese Disclose to all
辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 2013/11 Japanese Disclose to all
M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013/11 English Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会1 小さな機械が創る大きな機会1 小さな機械が創る大きな機会1 平成25年度駿台予備学校主催「京都大学 特別講演会」, 0 平成25年度駿台予備学校主催「京都大学 特別講演会」, 0 平成25年度駿台予備学校主催「京都大学 特別講演会」, 0 2013/10 Japanese Disclose to all
種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 2013/10 Japanese Disclose to all
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 2013/09 Japanese Disclose to all
藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 2013/09 Japanese Disclose to all
外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 2013/09 Japanese Disclose to all
鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 2013/09 Japanese Disclose to all
上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 2013/09 Japanese Disclose to all
谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 2013/08 Japanese Disclose to all
中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 2013/08 Japanese Disclose to all
田畑修 田畑修 田畑修 MEMSビジネス活性化戦略 MEMSビジネス活性化戦略 MEMSビジネス活性化戦略 関西ワークショップ2013,エレクトロニクス実装学会, 0 関西ワークショップ2013,エレクトロニクス実装学会, 0 関西ワークショップ2013,エレクトロニクス実装学会, 0 2013/07 Japanese Disclose to all
Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 2013/07 English Disclose to all
Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 2013/04 English Disclose to all
加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ 平成25年電気学会全国大会, 193-194 平成25年電気学会全国大会, 193-194 平成25年電気学会全国大会, 193-194 2013/03 Japanese Disclose to all
北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 平成25年電気学会全国大会, 191-192 平成25年電気学会全国大会, 191-192 平成25年電気学会全国大会, 191-192 2013/03 Japanese Disclose to all
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 2013/01 Japanese Disclose to all
谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 2013/01 Refereed Japanese Disclose to all
中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 2013/01 Japanese Disclose to all
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p 2013/01 Japanese Disclose to all
小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 2013/01 Japanese Disclose to all
T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 2013 English Disclose to all
Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 2013 English Disclose to all
K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 2013 English Disclose to all
A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 2013 English Disclose to all
Li Longhai, Tian Xiaojun, Dong Zaili, Liu Lianqing, Osamu Tabata, W.J. Li Li Longhai, Tian Xiaojun, Dong Zaili, Liu Lianqing, Osamu Tabata, W.J. Li Li Longhai, Tian Xiaojun, Dong Zaili, Liu Lianqing, Osamu Tabata, W.J. Li Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM The 2013 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 109-112 The 2013 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 109-112 The 2013 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 109-112 2013 English Disclose to all
Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Fred van Keulen, Osamu Tabata Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Fred van Keulen, Osamu Tabata Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Fred van Keulen, Osamu Tabata Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1625-1628 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1625-1628 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1625-1628 2013 English Disclose to all
A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 2013 Refereed English Disclose to all
T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 2013 Refereed English Disclose to all
L. Li; X. Tian; Z. Dong; L. Liu; O. Tabata; W.J. Li L. Li; X. Tian; Z. Dong; L. Liu; O. Tabata; W.J. Li L. Li; X. Tian; Z. Dong; L. Liu; O. Tabata; W.J. Li Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2013, 56-59 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2013, 56-59 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2013, 56-59 2013 Refereed English Disclose to all
A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Refereed English Disclose to all
K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Refereed English Disclose to all
F.C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata F.C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata F.C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Refereed English Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会3 小さな機械が創る大きな機会3 小さな機械が創る大きな機会3 「東京で学ぶ 京大の知」身近なナノテクノロジーの世界, 0 「東京で学ぶ 京大の知」身近なナノテクノロジーの世界, 0 「東京で学ぶ 京大の知」身近なナノテクノロジーの世界, 0 2012/12 Japanese Disclose to all
Mohammed Gamil, Koichi Nakamura, Ahmed Fath El-Bab, Osamu Tabata, Mohamed Serry, Ahmed Abd El-Moneim Mohammed Gamil, Koichi Nakamura, Ahmed Fath El-Bab, Osamu Tabata, Mohamed Serry, Ahmed Abd El-Moneim Mohammed Gamil, Koichi Nakamura, Ahmed Fath El-Bab, Osamu Tabata, Mohamed Serry, Ahmed Abd El-Moneim Evaluation of Starin Gauge Factors of Graphene Ribbon Models Based on First-Principles Electronic- State Calculations Evaluation of Starin Gauge Factors of Graphene Ribbon Models Based on First-Principles Electronic- State Calculations Evaluation of Starin Gauge Factors of Graphene Ribbon Models Based on First-Principles Electronic- State Calculations 1st International Conference on Innovative Engineering Systems (IEEE-RAS ICIES2012), 0 1st International Conference on Innovative Engineering Systems (IEEE-RAS ICIES2012), 0 1st International Conference on Innovative Engineering Systems (IEEE-RAS ICIES2012), 0 2012/12 English Disclose to all
種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 2012/10 Japanese Disclose to all
鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 2012/10 Japanese Disclose to all
K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, M. Yoshioka, L. Liu, M. Nakajima, Q. Yuan, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, M. Yoshioka, L. Liu, M. Nakajima, Q. Yuan, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, M. Yoshioka, L. Liu, M. Nakajima, Q. Yuan, Y. Chen, Osamu Tabata Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials The 16th International Conference on. Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2012), 1063-1065 The 16th International Conference on. Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2012), 1063-1065 The 16th International Conference on. Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2012), 1063-1065 2012/10 English Disclose to all
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 2012/09 Japanese Disclose to all
中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 2012/09 Japanese Disclose to all
土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 2012/09 Japanese Disclose to all
F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 2012/09 English Disclose to all
F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata Optimization techniques for gray-scale photolithography Optimization techniques for gray-scale photolithography Optimization techniques for gray-scale photolithography The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 2012/07 English Disclose to all
Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 2012/07 English Disclose to all
西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 2012/06/11 Japanese Disclose to all
片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 2012/06/11 Japanese Disclose to all
田畑修 田畑修 田畑修 (招待講演)DNAナノテクノロジーを用いたナノ構造とMEMSの融合に向けて (招待講演)DNAナノテクノロジーを用いたナノ構造とMEMSの融合に向けて (招待講演)DNAナノテクノロジーを用いたナノ構造とMEMSの融合に向けて 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 0 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 0 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 0 2012/06 Japanese Disclose to all
西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 2012/06 Japanese Disclose to all
Kenichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Osamu Tabata Kenichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Osamu Tabata Kenichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Osamu Tabata Phenotypic Modulation of Pluripotent Stem Cells by Microfabrication Materials Phenotypic Modulation of Pluripotent Stem Cells by Microfabrication Materials Phenotypic Modulation of Pluripotent Stem Cells by Microfabrication Materials The International Society for Stem Cell Research (ISSCR) 10th Annual Meeting, T-2262 The International Society for Stem Cell Research (ISSCR) 10th Annual Meeting, T-2262 The International Society for Stem Cell Research (ISSCR) 10th Annual Meeting, T-2262 2012/06 English Disclose to all
Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012/04 English Disclose to all
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012/04 English Disclose to all
T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 2012/03 English Disclose to all
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 2012/03 English Disclose to all
S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 2012/03 English Disclose to all
K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 2012/03 English Disclose to all
C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 2012/03 English Disclose to all
徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 2012/03 Japanese Disclose to all
A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 2012/02 English Disclose to all
片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 2012/01 Japanese Disclose to all
西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 2012/01 Japanese Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 2012/01 English Disclose to all
S. Z. Kiss, D. S. Hautzinger, Osamu Tabata, J. G. Korvink S. Z. Kiss, D. S. Hautzinger, Osamu Tabata, J. G. Korvink S. Z. Kiss, D. S. Hautzinger, Osamu Tabata, J. G. Korvink AuNPs conjugate DNA origami nanotubes for nanophotonic application AuNPs conjugate DNA origami nanotubes for nanophotonic application AuNPs conjugate DNA origami nanotubes for nanophotonic application The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 402-404 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 402-404 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 402-404 2012/01 English Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 Refereed English Disclose to all
T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 2012 Refereed English Disclose to all
H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Procedia Engineering, 47, 402-405 Procedia Engineering, 47, 402-405 Procedia Engineering, 47, 402-405 2012 Refereed English Disclose to all
A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 2012 Refereed English Disclose to all
O. Tabata O. Tabata O. Tabata Welcome message Welcome message Welcome message 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012 2012 Refereed English Disclose to all
H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 2012 Refereed English Disclose to all
M. Gamil; K. Nakamura; A.M.R.F. El-Bab; O. Tabata; M. Serry; A.A. El-Moneim M. Gamil; K. Nakamura; A.M.R.F. El-Bab; O. Tabata; M. Serry; A.A. El-Moneim M. Gamil; K. Nakamura; A.M.R.F. El-Bab; O. Tabata; M. Serry; A.A. El-Moneim Evaluation of strain gauge factors of graphene ribbon models based on first-principles electronic-state calculations Evaluation of strain gauge factors of graphene ribbon models based on first-principles electronic-state calculations Evaluation of strain gauge factors of graphene ribbon models based on first-principles electronic-state calculations Proceedings of the 2012 1st International Conference on Innovative Engineering Systems, ICIES 2012, 52-57 Proceedings of the 2012 1st International Conference on Innovative Engineering Systems, ICIES 2012, 52-57 Proceedings of the 2012 1st International Conference on Innovative Engineering Systems, ICIES 2012, 52-57 2012 Refereed English Disclose to all
平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 2011/11/21 Japanese Disclose to all
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011/11 English Disclose to all
平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 2011/11 Japanese Disclose to all
T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011/10 Refereed English Disclose to all
A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011/10 Refereed English Disclose to all
亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 2011/09 Japanese Disclose to all
上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 2011/09 Japanese Disclose to all
西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 2011/09 Japanese Disclose to all
Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 623-626 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 623-626 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 623-626 2011/09 English Disclose to all
菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 2011/09 Japanese Disclose to all
平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 2011/09 Japanese Disclose to all
片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 2011/09 Japanese Disclose to all
菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 2011/07/01 Japanese Disclose to all
北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 2011/07/01 Japanese Disclose to all
菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 2011/07/01 Japanese Disclose to all
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 2011/07 Japanese Disclose to all
Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011/07 Refereed English Disclose to all
K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 365-369 ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 365-369 ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 365-369 2011/07 Refereed English Disclose to all
K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011/06 Refereed English Disclose to all
Praveen Singh Thakur, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 P.S. Thakur; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Praveen Singh Thakur, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11),, 2006-2009 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2006-2009 The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11),, 2006-2009 2011/06 Refereed Japanese Disclose to all
K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011/06 Refereed English Disclose to all
菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 2011/06 Japanese Disclose to all
平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 2011/06 Refereed English Disclose to all
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 2011/06 Japanese Disclose to all
吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 平成23年電気学会全国大会, 186-187 平成23年電気学会全国大会, 186-187 平成23年電気学会全国大会, 186-187 2011/03 Japanese Disclose to all
C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197-200 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197-200 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197-200 2011/02 Refereed English Disclose to all
Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 2011/02 Refereed English Disclose to all
K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 2011/02 Refereed English Disclose to all
M. Li; L. Liu; N. Xi; Y. Wang; Z. Dong; G. Li; O. Tabata; X. Xiao; W. Zhang M. Li; L. Liu; N. Xi; Y. Wang; Z. Dong; G. Li; O. Tabata; X. Xiao; W. Zhang M. Li; L. Liu; N. Xi; Y. Wang; Z. Dong; G. Li; O. Tabata; X. Xiao; W. Zhang Imaging and measuring the protein distribution of lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the protein distribution of lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the protein distribution of lymphoma cells using atomic force microscopy NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 2011/02 Refereed English Disclose to all
Thakur,Praveen Singh; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Thakur,Praveen Singh; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Thakur,Praveen Singh; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297-1300 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297-1300 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297-1300 2011/02 Refereed English Disclose to all
菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 2011/01 Japanese Disclose to all
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 2011/01 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 2011/01 Japanese Disclose to all
H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 2011/01 Refereed English Disclose to all
A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 2011/01 Refereed English Disclose to all
Y. Hirai; K.-I. Kamei; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; Y. Chen; O. Tabata Y. Hirai; K.-I. Kamei; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; Y. Chen; O. Tabata Y. Hirai; K.-I. Kamei; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; Y. Chen; O. Tabata MESC and hiPSC proliferation on negative photoresists for microfluidics MESC and hiPSC proliferation on negative photoresists for microfluidics MESC and hiPSC proliferation on negative photoresists for microfluidics Procedia Engineering, 25, 1233-1236 Procedia Engineering, 25, 1233-1236 Procedia Engineering, 25, 1233-1236 2011/01 English Disclose to all
T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope Procedia Engineering, 25, 51-54 Procedia Engineering, 25, 51-54 Procedia Engineering, 25, 51-54 2011/01 English Disclose to all
M. Sato; I. Kanno; H. Kotera; O. Tabata M. Sato; I. Kanno; H. Kotera; O. Tabata M. Sato; I. Kanno; H. Kotera; O. Tabata Piezoelectric MEMS deformable mirrors with high-density actuator array Piezoelectric MEMS deformable mirrors with high-density actuator array Piezoelectric MEMS deformable mirrors with high-density actuator array Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 24th Vol.2, 1264-1268 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 24th Vol.2, 1264-1268 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 24th Vol.2, 1264-1268 2011/01 Refereed English Disclose to all
平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 2011/01 Japanese Disclose to all
A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 English Disclose to all
M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1265-1268 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1265-1268 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1265-1268 2011 English Disclose to all
K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 2011 Refereed English Disclose to all
T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 2011 Refereed English Disclose to all
K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 2011 Refereed English Research paper Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 アナリシスとシンセシス アナリシスとシンセシス アナリシスとシンセシス Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, 13, 7 Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, 13, 7 Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, 13, 7 2010/11/01 Japanese Disclose to all
Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 2010/11 English Disclose to all
脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 2010/10/12 Japanese Disclose to all
徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 2010/10/12 Japanese Disclose to all
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 2010/10 Japanese Disclose to all
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 2010/10 Japanese Disclose to all
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 2010/10 Japanese Disclose to all
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 2010/10 Japanese Disclose to all
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 2010/10 Japanese Disclose to all
脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 2010/09/04 Japanese Disclose to all
谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 2010/09/04 Japanese Disclose to all
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 2010/09 Japanese Disclose to all
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 2010/09 Japanese Disclose to all
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 2010/09 Japanese Disclose to all
脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 (110)単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 2010/09 Japanese Disclose to all
A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration Procedia Engineering, 5, 1304-1307 Procedia Engineering, 5, 1304-1307 Procedia Engineering, 5, 1304-1307 2010/09 Refereed English Disclose to all
Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists Procedia Engineering, 5, 854-857 Procedia Engineering, 5, 854-857 Procedia Engineering, 5, 854-857 2010/09 Refereed English Disclose to all
Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 2010/07 Refereed English Disclose to all
Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 2010/07 Refereed English Disclose to all
菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 2010/06/17 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 2010/06 Japanese Disclose to all
脇田拓, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 池原 毅 脇田拓, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 池原 毅 脇田拓, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 池原 毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 2010/03 Refereed Japanese Disclose to all
G. Lopez; T. Tanemura; R. Sato; T. Saeki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda G. Lopez; T. Tanemura; R. Sato; T. Saeki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda G. Lopez; T. Tanemura; R. Sato; T. Saeki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010/01 Refereed English Disclose to all
辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 2010 Refereed Japanese Disclose to all
R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 2010 Refereed English Disclose to all
脇田拓;菅野公二;土屋智由;田畑修;池原毅 脇田拓;菅野公二;土屋智由;田畑修;池原毅 脇田拓;菅野公二;土屋智由;田畑修;池原毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 26th, ROMBUNNO.M2-3 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 26th, ROMBUNNO.M2-3 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 26th, ROMBUNNO.M2-3 2009/10/15 Refereed Japanese Disclose to all
脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 2009/10 Japanese Disclose to all
菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 ナノ粒子を所望のパターンに配列する ナノ粒子を所望のパターンに配列する ナノ粒子を所望のパターンに配列する APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 2009/10 Japanese Disclose to all
菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 2009/10 Japanese Disclose to all
徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 2009/10 Refereed Japanese Disclose to all
中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 2009/10 Refereed Japanese Disclose to all
平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 2009/10 Refereed Japanese Disclose to all
徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 2009/09/12 Japanese Disclose to all
徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 2009/09 Japanese Disclose to all
徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 2009/09 Japanese Disclose to all
菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 2009/07/23 Japanese Disclose to all
菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 2009/07 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 2009/07 Japanese Disclose to all
田畑修 田畑修 田畑修 MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem―トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計 MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem―トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計 MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem―トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計 システム/制御/情報, 53, 6, 250-255 システム/制御/情報, 53, 6, 250-255 システム/制御/情報, 53, 6, 250-255 2009/06/15 Japanese Disclose to all
Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 2009/06 Refereed English Disclose to all
SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 2009/04 Refereed English Disclose to all
F.V. Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F.V. Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F.V. Keulen; Y. Hirai; O. Tabata Automated optimization of light dose distribution for moving-mask lithography Automated optimization of light dose distribution for moving-mask lithography Automated optimization of light dose distribution for moving-mask lithography 2009 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, 0 2009 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, 0 2009 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, 0 2009/04 Refereed English Disclose to all
佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 2009/04 Refereed English Disclose to all
浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 2009/03/17 Refereed Japanese Disclose to all
浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 電気学会全国大会, 3, 182-183 電気学会全国大会, 3, 182-183 電気学会全国大会, 3, 182-183 2009/03 Refereed Japanese Disclose to all
T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 2009/01 Refereed English Disclose to all
Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 2009/01 Refereed English Disclose to all
Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 2009 Refereed English Disclose to all
Y. Zhang; W.J. Li; O. Tabata Y. Zhang; W.J. Li; O. Tabata Y. Zhang; W.J. Li; O. Tabata Extreme-low-power thermal convective accelerometer based on cnt sensing element Extreme-low-power thermal convective accelerometer based on cnt sensing element Extreme-low-power thermal convective accelerometer based on cnt sensing element 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2009, 1040-1042 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2009, 1040-1042 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2009, 1040-1042 2009 Refereed English Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 2009 Refereed English Research paper Disclose to all
HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 2008/10/22 Refereed English Disclose to all
中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 2008/10 Refereed English Disclose to all
Hirai Yoshikazu, Inamoto Yoshiteru, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Inamoto Yoshiteru, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Inamoto Yoshiteru, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique 25th Sensor Symposium, 15-20 25th Sensor Symposium, 15-20 25th Sensor Symposium, 15-20 2008/10 Refereed English Disclose to all
F. Van Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F. Van Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F. Van Keulen; Y. Hirai; O. Tabata Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 0 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 0 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 0 2008/09 Refereed English Disclose to all
Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 2008/09 Refereed English Disclose to all
中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 2008/08/02 Refereed Japanese Disclose to all
土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 2008/08 Refereed Japanese Disclose to all
中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 2008/08 Refereed Japanese Disclose to all
Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 2008/08 English Disclose to all
佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 2008/07 Japanese Disclose to all
平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 2008/06/12 Refereed Japanese Disclose to all
菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 2008/06 Japanese Disclose to all
平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 2008/06 Refereed Japanese Disclose to all
A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 186-192 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 186-192 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 186-192 2008/05 Refereed English Disclose to all
T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics FNANO2008, 0 FNANO2008, 0 FNANO2008, 0 2008/04 English Disclose to all
平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 2008/03 Refereed Japanese Disclose to all
濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 2008/03 Refereed Japanese Disclose to all
樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 2008/03 Japanese Disclose to all
佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 2008/03 Japanese Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 2008/01 Refereed English Disclose to all
Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 2008/01 Refereed English Disclose to all
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 2008/01 Refereed English Disclose to all
Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 2008/01 Refereed English Disclose to all
Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 2008/01 Refereed English Disclose to all
T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 2008 Refereed English Disclose to all
Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 2008 Refereed English Disclose to all
T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 2008 Refereed English Disclose to all
T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 2008 Refereed English Disclose to all
T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 2008 Refereed English Disclose to all
K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 2008 Refereed English Disclose to all
O. Tabata O. Tabata O. Tabata Micro/nano assembly as a key to realize NEMS Micro/nano assembly as a key to realize NEMS Micro/nano assembly as a key to realize NEMS 5th Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2008, 248-256 5th Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2008, 248-256 5th Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2008, 248-256 2008 Refereed English Disclose to all
H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 2008 English Disclose to all
杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体医工学シンポジウム2008, 0 生体医工学シンポジウム2008, 0 生体医工学シンポジウム2008, 0 2008 Japanese Disclose to all
Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 2007/12 Refereed English Disclose to all
MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 2007/10/16 Refereed English Disclose to all
Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 2007/10 Refereed English Disclose to all
Yuki, Uchida; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yuki, Uchida; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yuki, Uchida; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 183-186, 183-186 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 183-186, 183-186 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 183-186, 183-186 2007/10 Refereed English Disclose to all
柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 2007/10 Japanese Disclose to all
土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 高温薄膜引張試験装置の開発 高温薄膜引張試験装置の開発 高温薄膜引張試験装置の開発 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 2007/09 Refereed Japanese Disclose to all
Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Silicon and Related Materials (Chapter 1) Silicon and Related Materials (Chapter 1) Silicon and Related Materials (Chapter 1) Comprehensive Microsystems,, p. 1 Comprehensive Microsystems,, p. 1 Comprehensive Microsystems,, p. 1 2007/09 Refereed English Disclose to all
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 2007/09 Japanese Disclose to all
田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 低侵襲触覚センサーの構造設計 低侵襲触覚センサーの構造設計 低侵襲触覚センサーの構造設計 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 2007/09 Japanese Disclose to all
種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 2007/09 Japanese Disclose to all
日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 19-20 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 19-20 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 19-20 2007/08 Japanese Disclose to all
尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 2007/08 Japanese Disclose to all
T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 2007/07 Refereed English Disclose to all
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 電気学会総合研究会, 19-24 電気学会総合研究会, 19-24 電気学会総合研究会, 19-24 2007/07 Japanese Disclose to all
田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気学会総合研究会, 79-84 電気学会総合研究会, 79-84 電気学会総合研究会, 79-84 2007/07 Japanese Disclose to all
Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 2007/06 Refereed English Disclose to all
S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 2007/06 Refereed English Disclose to all
Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 2007/06 Refereed English Disclose to all
菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 化学とマイクロシステム, 0 化学とマイクロシステム, 0 化学とマイクロシステム, 0 2007/06 Japanese Disclose to all
城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 2007/03 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 2007/03 Japanese Disclose to all
日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 2007/03 Japanese Disclose to all
稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 2007/03 Japanese Disclose to all
Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 2007/01 Refereed English Disclose to all
Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 2007/01 Refereed English Disclose to all
Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya 64) Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments 64) Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments 64) Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 2007/01 Refereed English Disclose to all
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 2007/01 Refereed English Disclose to all
K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 2007 Refereed English Disclose to all
Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267-270 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267-270 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267-270 2007 Refereed English Disclose to all
T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 2007 Refereed English Disclose to all
H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 2007 Refereed English Disclose to all
K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 2007 Refereed English Disclose to all
H. Yagyu; O. Tabata H. Yagyu; O. Tabata H. Yagyu; O. Tabata Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 215-218 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 215-218 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 215-218 2007 Refereed English Disclose to all
H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 2007 English Disclose to all
Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 2007 Refereed English Disclose to all
Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 2007 English Disclose to all
池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 2006/12 Japanese Disclose to all
城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 2006/12 Japanese Disclose to all
OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 2006/10/05 Refereed English Disclose to all
Hiroyuki, Hamaguchi; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki, Hamaguchi; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki, Hamaguchi; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes Proceedings of the 23rd Sensor Symposium,, pp. 471-474, 471-474 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium,, pp. 471-474, 471-474 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium,, pp. 471-474, 471-474 2006/10 Refereed English Disclose to all
Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 2006/10 Refereed English Disclose to all
平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 2006/10 Japanese Disclose to all
宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 日本機械学会2006年年次大会, 0 日本機械学会2006年年次大会, 0 日本機械学会2006年年次大会, 0 2006/09 Japanese Disclose to all
Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 2006/06 Refereed English Disclose to all
Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 2006/06 Refereed English Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロシステムを構築するための3次元微細加工技術 マイクロシステムを構築するための3次元微細加工技術 マイクロシステムを構築するための3次元微細加工技術 ラドテック講演会, 0 ラドテック講演会, 0 ラドテック講演会, 0 2006/06 Japanese Disclose to all
Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 2006/05 Refereed English Disclose to all
菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気学会E部門総合研究会, 61-66 電気学会E部門総合研究会, 61-66 電気学会E部門総合研究会, 61-66 2006/05 Japanese Disclose to all
池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 2006/05 Japanese Disclose to all
山地 祐輔, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 山地 祐輔, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 山地 祐輔, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験 電気学会全国大会, 3, 198-199 電気学会全国大会, 3, 198-199 電気学会全国大会, 3, 198-199 2006/03 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会 小さな機械が創る大きな機会 小さな機械が創る大きな機会 第3回 新都市社会技術セミナー, 0 第3回 新都市社会技術セミナー, 0 第3回 新都市社会技術セミナー, 0 2006/02 Japanese Disclose to all
W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 2006/01 Refereed English Disclose to all
Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 2006/01 Refereed English Disclose to all
K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 2006 Refereed English Disclose to all
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata PREDICTION METHOD OF 3-D SHAPE FABRICATED BY DOUBLE EXPOSURE TECHNIQUE IN DEEP X-RAY LITHOGRAPHY (D2XRL) PREDICTION METHOD OF 3-D SHAPE FABRICATED BY DOUBLE EXPOSURE TECHNIQUE IN DEEP X-RAY LITHOGRAPHY (D2XRL) PREDICTION METHOD OF 3-D SHAPE FABRICATED BY DOUBLE EXPOSURE TECHNIQUE IN DEEP X-RAY LITHOGRAPHY (D2XRL) The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 186-189 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 186-189 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 186-189 2006 English Disclose to all
大久保 陽一郎, 井戸田 芳典, 河村清美, 田畑 修, 平井 義和 大久保 陽一郎, 井戸田 芳典, 河村清美, 田畑 修, 平井 義和 大久保 陽一郎, 井戸田 芳典, 河村清美, 田畑 修, 平井 義和 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析−移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察− 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析−移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察− 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析−移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察− 日本液体微粒化学会第14回微粒化シンポジウム(微粒化の可能性への挑戦), 0 日本液体微粒化学会第14回微粒化シンポジウム(微粒化の可能性への挑戦), 0 日本液体微粒化学会第14回微粒化シンポジウム(微粒化の可能性への挑戦), 0 2005/11 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 MEMSの研究動向と今後の展開 MEMSの研究動向と今後の展開 MEMSの研究動向と今後の展開 Semiconductor International第3回テクニカルセミナー, 0 Semiconductor International第3回テクニカルセミナー, 0 Semiconductor International第3回テクニカルセミナー, 0 2005/11 Japanese Disclose to all
T. Kakinaga; A. Hatai; O. Tabata; Y. Isono T. Kakinaga; A. Hatai; O. Tabata; Y. Isono T. Kakinaga; A. Hatai; O. Tabata; Y. Isono Silicon anisotropic wet etching simulation using molecular dynamics Silicon anisotropic wet etching simulation using molecular dynamics Silicon anisotropic wet etching simulation using molecular dynamics Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS \\'05, 1, 816-819 Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS \\'05, 1, 816-819 Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS \\'05, 1, 816-819 2005/10 Refereed English Disclose to all
Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329-332 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329-332 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329-332 2005/10 English Disclose to all
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL) Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL) Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL) PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 297-302 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 297-302 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 297-302 2005/10 English Disclose to all
Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311-315 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311-315 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311-315 2005/10 English Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会 −マイクロマシンの世界− 小さな機械が創る大きな機会 −マイクロマシンの世界− 小さな機械が創る大きな機会 −マイクロマシンの世界− 京都大学工学部公開講座, 0 京都大学工学部公開講座, 0 京都大学工学部公開講座, 0 2005/07 Japanese Disclose to all
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography High Aspect Micro Structure Technology, 146-147 High Aspect Micro Structure Technology, 146-147 High Aspect Micro Structure Technology, 146-147 2005/06 English Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography High Aspect Micro Structure Technology, 144-145 High Aspect Micro Structure Technology, 144-145 High Aspect Micro Structure Technology, 144-145 2005/06 English Disclose to all
吉川 弥, 篠部 晃生, 田畑 修, 石田 章 吉川 弥, 篠部 晃生, 田畑 修, 石田 章 吉川 弥, 篠部 晃生, 田畑 修, 石田 章 形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ 形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ 形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ 電気学会E部門総合研究会, 103-108 電気学会E部門総合研究会, 103-108 電気学会E部門総合研究会, 103-108 2005/06 Japanese Disclose to all
市橋 治, 李 周原, 石井 昌宏, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 市橋 治, 李 周原, 石井 昌宏, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 市橋 治, 李 周原, 石井 昌宏, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価 電気学会E部門総合研究会, 57-62 電気学会E部門総合研究会, 57-62 電気学会E部門総合研究会, 57-62 2005/06 Japanese Disclose to all
S. Wakida, H. Ishii, N. Naruishi, T. Miyado, M. Kurokawa, S. Shimotsuma, T. Demura, Osamu Tabata S. Wakida, H. Ishii, N. Naruishi, T. Miyado, M. Kurokawa, S. Shimotsuma, T. Demura, Osamu Tabata S. Wakida, H. Ishii, N. Naruishi, T. Miyado, M. Kurokawa, S. Shimotsuma, T. Demura, Osamu Tabata Multichannel Microfluidic Chip Based on Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process Multichannel Microfluidic Chip Based on Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process Multichannel Microfluidic Chip Based on Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), 0 Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), 0 Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), 0 2005/05 English Disclose to all
黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 田中 登紀子, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 田中 登紀子, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 田中 登紀子, 田畑 修 流路の両側にリブを有する射出成型マイクロデバイスの開発 流路の両側にリブを有する射出成型マイクロデバイスの開発 流路の両側にリブを有する射出成型マイクロデバイスの開発 第11回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 0 第11回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 0 第11回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 0 2005/05 Japanese Disclose to all
脇田 慎一, 石井 秀幸, 鳴石 奈穂子, 宮道 隆, 黒川 正也, 下間 昌, 出村 民, 田畑 修 脇田 慎一, 石井 秀幸, 鳴石 奈穂子, 宮道 隆, 黒川 正也, 下間 昌, 出村 民, 田畑 修 脇田 慎一, 石井 秀幸, 鳴石 奈穂子, 宮道 隆, 黒川 正也, 下間 昌, 出村 民, 田畑 修 LIGA プラスチックレプリカプロセスによるマルチチャネル電気泳動チップ LIGA プラスチックレプリカプロセスによるマルチチャネル電気泳動チップ LIGA プラスチックレプリカプロセスによるマルチチャネル電気泳動チップ 電気化学会第72回大会, 130-132 電気化学会第72回大会, 130-132 電気化学会第72回大会, 130-132 2005/04 Japanese Disclose to all
黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発−ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発−ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発−ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, 63-66 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, 63-66 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, 63-66 2005/03 Japanese Disclose to all
平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 機械学会情報知能部門会議, 0 機械学会情報知能部門会議, 0 機械学会情報知能部門会議, 0 2005/03 Japanese Disclose to all
石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 3形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 3形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 3形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 日本金属学会2005年度春季大会, 0 日本金属学会2005年度春季大会, 0 日本金属学会2005年度春季大会, 0 2005/03 Japanese Disclose to all
原田 雅史, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, 高木 一好, 松田 十四夫 原田 雅史, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, 高木 一好, 松田 十四夫 原田 雅史, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, 高木 一好, 松田 十四夫 マイクロチップゲル電気泳動法によるDNAの検出 マイクロチップゲル電気泳動法によるDNAの検出 マイクロチップゲル電気泳動法によるDNAの検出 日本化学会第85春季年会, 0 日本化学会第85春季年会, 0 日本化学会第85春季年会, 0 2005/03 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 MEMSの技術動向と材料 MEMSの技術動向と材料 MEMSの技術動向と材料 新化学発展協会, 0 新化学発展協会, 0 新化学発展協会, 0 2005/03 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 X線リソグラフィによる3次元加工とMEMSへの応用 X線リソグラフィによる3次元加工とMEMSへの応用 X線リソグラフィによる3次元加工とMEMSへの応用 2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会, 52 2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会, 52 2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会, 52 2005/03 Japanese Disclose to all
石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 日本金属学会2005年度春季大会, 0 日本金属学会2005年度春季大会, 0 日本金属学会2005年度春季大会, 0 2005/03 Japanese Disclose to all
Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 2005 Refereed English Disclose to all
M. Sugimoto; K. Minai; M. Uemura; S. Nishio; O. Tabata M. Sugimoto; K. Minai; M. Uemura; S. Nishio; O. Tabata M. Sugimoto; K. Minai; M. Uemura; S. Nishio; O. Tabata A novel micro COunter-stream-mode OScillating-flow (COSMOS) heat-pipe A novel micro COunter-stream-mode OScillating-flow (COSMOS) heat-pipe A novel micro COunter-stream-mode OScillating-flow (COSMOS) heat-pipe Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 606-609 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 606-609 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 606-609 2005 Refereed English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Computational MEMS Process Design and Process Development Computational MEMS Process Design and Process Development Computational MEMS Process Design and Process Development IIASA Technische Universitt Mnchen Kyoto University, The Second Joint International Seminar on Applied Analysis and Synthesis of Complex Systems, 0 IIASA Technische Universitt Mnchen Kyoto University, The Second Joint International Seminar on Applied Analysis and Synthesis of Complex Systems, 0 IIASA Technische Universitt Mnchen Kyoto University, The Second Joint International Seminar on Applied Analysis and Synthesis of Complex Systems, 0 2005 English Disclose to all
S Wakida, H .Ishii, N Naruishi, T Miyado, M Kurokawa, S Shimotsuma, T Demura, Osamu Tabata S Wakida, H .Ishii, N Naruishi, T Miyado, M Kurokawa, S Shimotsuma, T Demura, Osamu Tabata S Wakida, H .Ishii, N Naruishi, T Miyado, M Kurokawa, S Shimotsuma, T Demura, Osamu Tabata LIGA Multichannel Plastic Biochip for Genetic Analysis LIGA Multichannel Plastic Biochip for Genetic Analysis LIGA Multichannel Plastic Biochip for Genetic Analysis Biosensors2005, 0 Biosensors2005, 0 Biosensors2005, 0 2005 English Disclose to all
Shin-ichi Wakida, Nahoko Naruishi, Takashi Miyado, Hideyuki Ishii, Masaya Kurokawa, Sakae Shimotsuma, Tami Demura, Osamu Tabata Shin-ichi Wakida, Nahoko Naruishi, Takashi Miyado, Hideyuki Ishii, Masaya Kurokawa, Sakae Shimotsuma, Tami Demura, Osamu Tabata Shin-ichi Wakida, Nahoko Naruishi, Takashi Miyado, Hideyuki Ishii, Masaya Kurokawa, Sakae Shimotsuma, Tami Demura, Osamu Tabata Multichannel Microchip Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Replication Process Multichannel Microchip Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Replication Process Multichannel Microchip Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Replication Process The 5th Asia-Pacific International Symposium on Micro Scale Separations and Analysis (APCE2004), 110 The 5th Asia-Pacific International Symposium on Micro Scale Separations and Analysis (APCE2004), 110 The 5th Asia-Pacific International Symposium on Micro Scale Separations and Analysis (APCE2004), 110 2004/12 English Disclose to all
A. Ishida, M. Sato, Osamu Tabata, W. Yoshikawa A. Ishida, M. Sato, Osamu Tabata, W. Yoshikawa A. Ishida, M. Sato, Osamu Tabata, W. Yoshikawa Shape memory thin films formed with carrousel type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel type magnetron sputtering apparatus Third International Workshop on Smart Sensors in Livestock Monitoring, 10-11 Third International Workshop on Smart Sensors in Livestock Monitoring, 10-11 Third International Workshop on Smart Sensors in Livestock Monitoring, 10-11 2004/09 English Disclose to all
W. Yoshikawa; A. Sasabe; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; O. Tabata; A. Ishida Vertical direction drive micro actuator using shape memory alloy thin film with flexible joints Vertical direction drive micro actuator using shape memory alloy thin film with flexible joints Vertical direction drive micro actuator using shape memory alloy thin film with flexible joints Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium \\'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society\\' The 21st Century, 87-92 Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium \\'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society\\' The 21st Century, 87-92 Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium \\'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society\\' The 21st Century, 87-92 2004/07 Refereed English Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547-552 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547-552 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547-552 2004/07 English Disclose to all
Takamitsu Kakinaga, Ayako Hatai, Yoshitada Isono, Osamu Tabata Takamitsu Kakinaga, Ayako Hatai, Yoshitada Isono, Osamu Tabata Takamitsu Kakinaga, Ayako Hatai, Yoshitada Isono, Osamu Tabata Improved Petentail Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching Improved Petentail Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching Improved Petentail Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching 4th Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 4th Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 4th Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2004/05 English Disclose to all
Shinichi Wakida, Nahoko Naruishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Osamu Tabata Shinichi Wakida, Nahoko Naruishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Osamu Tabata Shinichi Wakida, Nahoko Naruishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Osamu Tabata High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process The first International Symposium on Micro & Nano Technology, 38 The first International Symposium on Micro & Nano Technology, 38 The first International Symposium on Micro & Nano Technology, 38 2004/03 English Disclose to all
H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata Rapid Prototyping of Glass Chip with Micro-Powder Blasting using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Rapid Prototyping of Glass Chip with Micro-Powder Blasting using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Rapid Prototyping of Glass Chip with Micro-Powder Blasting using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 697-700 The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 697-700 The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 697-700 2004/01 English Disclose to all
N. Matsuzuka; Y. Hirai; O. Tabata N. Matsuzuka; Y. Hirai; O. Tabata N. Matsuzuka; Y. Hirai; O. Tabata A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep X-ray lithography A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep X-ray lithography A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep X-ray lithography Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 681-684 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 681-684 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 681-684 2004 Refereed English Disclose to all
H. Yagyu; K. Sugano; S. Hayashi; O. Tabata H. Yagyu; K. Sugano; S. Hayashi; O. Tabata H. Yagyu; K. Sugano; S. Hayashi; O. Tabata Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 697-700 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 697-700 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 697-700 2004 Refereed English Disclose to all
中村 雄志, 三苫 佳代, 田畑 修, 藤井 泰久 中村 雄志, 三苫 佳代, 田畑 修, 藤井 泰久 中村 雄志, 三苫 佳代, 田畑 修, 藤井 泰久 放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用 放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用 放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, 9-12 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, 9-12 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, 9-12 2004 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 X線応用微細加工技術とプラスチック製マルチチャネル電気泳動チップへの応用 X線応用微細加工技術とプラスチック製マルチチャネル電気泳動チップへの応用 X線応用微細加工技術とプラスチック製マルチチャネル電気泳動チップへの応用 第4回大阪工業大学バイオベンチャーフォーラム, 0 第4回大阪工業大学バイオベンチャーフォーラム, 0 第4回大阪工業大学バイオベンチャーフォーラム, 0 2004 Japanese Disclose to all
黒川 正也, 老子 真人, 田中 登紀子, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 老子 真人, 田中 登紀子, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 老子 真人, 田中 登紀子, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(2) 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(2) 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(2) 第9回 化学とマイクロナノシステム研究会, 0 第9回 化学とマイクロナノシステム研究会, 0 第9回 化学とマイクロナノシステム研究会, 0 2004 Japanese Disclose to all
西尾 茂文, 上村 光宏, 藤井 泰久, 楠神 久人, 田畑 修, 杉本 雅宏, 南井 雅登 西尾 茂文, 上村 光宏, 藤井 泰久, 楠神 久人, 田畑 修, 杉本 雅宏, 南井 雅登 西尾 茂文, 上村 光宏, 藤井 泰久, 楠神 久人, 田畑 修, 杉本 雅宏, 南井 雅登 複動ピエゾポンプを用いたCOSMOS heat pipe の熱輸送能力検証試験 複動ピエゾポンプを用いたCOSMOS heat pipe の熱輸送能力検証試験 複動ピエゾポンプを用いたCOSMOS heat pipe の熱輸送能力検証試験 日本機械学会熱工学コンファレンス, No.04-28, 0 日本機械学会熱工学コンファレンス, No.04-28, 0 日本機械学会熱工学コンファレンス, No.04-28, 0 2004 Japanese Disclose to all
黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(3)ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(3)ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(3)ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 化学とマイクロシステム研究会, 0 化学とマイクロシステム研究会, 0 化学とマイクロシステム研究会, 0 2004 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 LIGAプロセス LIGAプロセス LIGAプロセス 精密工学会第297回講習会 ナノ・マイクロ加工の基礎講座, 6-10 精密工学会第297回講習会 ナノ・マイクロ加工の基礎講座, 6-10 精密工学会第297回講習会 ナノ・マイクロ加工の基礎講座, 6-10 2004 Japanese Disclose to all
Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, Osamu Tabata, J. G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, Osamu Tabata, J. G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, Osamu Tabata, J. G. Korvink Anisotropic Etching Simulation of Silicon using Interatomic Bond Cutting Probability Anisotropic Etching Simulation of Silicon using Interatomic Bond Cutting Probability Anisotropic Etching Simulation of Silicon using Interatomic Bond Cutting Probability 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 195-198 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 195-198 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 195-198 2004 Japanese Disclose to all
Hiromasa Yagyu, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata Fabrication of Plastic Microneedle Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Microneedle Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Microneedle Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 215-220 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 215-220 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 215-220 2004 Japanese Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2 Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2 Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483-488 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483-488 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483-488 2004 Japanese Disclose to all
楠原賢治, 菅野公二, 田畑 修, 柳生裕聖 楠原賢治, 菅野公二, 田畑 修, 柳生裕聖 楠原賢治, 菅野公二, 田畑 修, 柳生裕聖 マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製 マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製 マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製 電気学会E部門総合研究会, 75-80 電気学会E部門総合研究会, 75-80 電気学会E部門総合研究会, 75-80 2004 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 放射光を用いた3次元微細加工技術 放射光を用いた3次元微細加工技術 放射光を用いた3次元微細加工技術 立命館大学SRセンター研究成果報告会, 0 立命館大学SRセンター研究成果報告会, 0 立命館大学SRセンター研究成果報告会, 0 2004 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 田畑研究室におけるMEMS研究-present & future 田畑研究室におけるMEMS研究-present & future 田畑研究室におけるMEMS研究-present & future センシング技術応用研究会MEMS分科会, 0 センシング技術応用研究会MEMS分科会, 0 センシング技術応用研究会MEMS分科会, 0 2004 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 MEMS最前線と将来の夢 MEMS最前線と将来の夢 MEMS最前線と将来の夢 第10回KYO-NANO会「ナノテクNEMS(MEMS)の活用法と将来展望」, 0 第10回KYO-NANO会「ナノテクNEMS(MEMS)の活用法と将来展望」, 0 第10回KYO-NANO会「ナノテクNEMS(MEMS)の活用法と将来展望」, 0 2004 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 MEMS分野におけるゲル材料の応用可能性 MEMS分野におけるゲル材料の応用可能性 MEMS分野におけるゲル材料の応用可能性 高分子学会ワークショップ, 0 高分子学会ワークショップ, 0 高分子学会ワークショップ, 0 2004 Japanese Disclose to all
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 2004 English Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロマシニング・マイクロタス マイクロマシニング・マイクロタス マイクロマシニング・マイクロタス クライアントコンファレンスアンドワークショップ, 0 クライアントコンファレンスアンドワークショップ, 0 クライアントコンファレンスアンドワークショップ, 0 2003/01 Japanese Disclose to all
Osamu Tabata, Naoki Tanaka, Haruki Shiraishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Nahoko Naruishi, Shin-ichi Wakida Osamu Tabata, Naoki Tanaka, Haruki Shiraishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Nahoko Naruishi, Shin-ichi Wakida Osamu Tabata, Naoki Tanaka, Haruki Shiraishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Nahoko Naruishi, Shin-ichi Wakida Replicate Process for High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Replicate Process for High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Replicate Process for High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis International Symposium on Microchemistry and Microsystem (ISMM2003), 51-52 International Symposium on Microchemistry and Microsystem (ISMM2003), 51-52 International Symposium on Microchemistry and Microsystem (ISMM2003), 51-52 2003/01 English Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan. G. Korvink Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan. G. Korvink Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan. G. Korvink Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography High Aspect Micro Structure Technology, 37-38 High Aspect Micro Structure Technology, 37-38 High Aspect Micro Structure Technology, 37-38 2003/01 English Disclose to all
K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF<sub>2</sub> etching of Si Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF<sub>2</sub> etching of Si Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF<sub>2</sub> etching of Si Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62-69 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62-69 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62-69 2003 Refereed English Disclose to all
O. Tabata; H. Kojima; T. Kasatani; Y. Isono; R. Yoshida O. Tabata; H. Kojima; T. Kasatani; Y. Isono; R. Yoshida O. Tabata; H. Kojima; T. Kasatani; Y. Isono; R. Yoshida Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 12-15 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 12-15 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 12-15 2003 Refereed English Disclose to all
柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 金ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工における金濃度の影響 金ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工における金濃度の影響 金ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工における金濃度の影響 電気学会センサ・マイクロマシン準部門,マイクロマシン・センサシステム研究会, 1-6 電気学会センサ・マイクロマシン準部門,マイクロマシン・センサシステム研究会, 1-6 電気学会センサ・マイクロマシン準部門,マイクロマシン・センサシステム研究会, 1-6 2003 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 LIGAプロセス(放射X線応用3次元微細加工プロセス) LIGAプロセス(放射X線応用3次元微細加工プロセス) LIGAプロセス(放射X線応用3次元微細加工プロセス) 社)高分子学会高分子同友会, 0 社)高分子学会高分子同友会, 0 社)高分子学会高分子同友会, 0 2003 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 MEMS2003の動向とMEMS/ナノテクへの取り組み MEMS2003の動向とMEMS/ナノテクへの取り組み MEMS2003の動向とMEMS/ナノテクへの取り組み 山形県高度技術研究開発センター マイクロマシン技術講演会, 0 山形県高度技術研究開発センター マイクロマシン技術講演会, 0 山形県高度技術研究開発センター マイクロマシン技術講演会, 0 2003 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 MEMS研究の世界最新動向 MEMS研究の世界最新動向 MEMS研究の世界最新動向 日本材料学会関西支部講演会, 0 日本材料学会関西支部講演会, 0 日本材料学会関西支部講演会, 0 2003 Japanese Disclose to all
H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata Laser Microfabrication using Nano-Particles Dispersed Polymer Resist Laser Microfabrication using Nano-Particles Dispersed Polymer Resist Laser Microfabrication using Nano-Particles Dispersed Polymer Resist The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'03),, 762-765 The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'03),, 762-765 The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'03),, 762-765 2003 English Disclose to all
柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 Application for Powder Blasting Mask of Nano-Particles Dispersed Polymer ナノ粒子分散ポリマのパウダーブラスト用マスク材への応用 Application for Powder Blasting Mask of Nano-Particles Dispersed Polymer 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 401-405 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 401-405 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 401-405 2003 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 放射X線を用いた3次元微細加工とシミュレーション 放射X線を用いた3次元微細加工とシミュレーション 放射X線を用いた3次元微細加工とシミュレーション 日本設備管理学会「微細加工技術に関する研究会」, 0 日本設備管理学会「微細加工技術に関する研究会」, 0 日本設備管理学会「微細加工技術に関する研究会」, 0 2003 Japanese Disclose to all
中村 雄志, 上村 卓, 岡島 圭吾, 田畑 修 中村 雄志, 上村 卓, 岡島 圭吾, 田畑 修 中村 雄志, 上村 卓, 岡島 圭吾, 田畑 修 移動マスク法を用いたSR光によるPTFEの三次元微細加工技術 移動マスク法を用いたSR光によるPTFEの三次元微細加工技術 移動マスク法を用いたSR光によるPTFEの三次元微細加工技術 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 227-230 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 227-230 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 227-230 2003 Japanese Disclose to all
平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink 移動マスクX線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性 移動マスクX線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性 移動マスクX線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 391-395 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 391-395 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 391-395 2003 Japanese Disclose to all
馬場 教彰, 牧野 耕二, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野 吉正, J. G. Korvink 馬場 教彰, 牧野 耕二, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野 吉正, J. G. Korvink 馬場 教彰, 牧野 耕二, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野 吉正, J. G. Korvink Effect of Removal Probability in CAES on Etching Rate 4-セルラーオートマトン型エッチングレートシミュレータにおける除去確率の影響 Effect of Removal Probability in CAES on Etching Rate 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 375-378 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 375-378 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 375-378 2003 Japanese Disclose to all
原田 雅史, 吉岡 孝司, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, ?木一好, 松田 十四夫 原田 雅史, 吉岡 孝司, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, ?木一好, 松田 十四夫 原田 雅史, 吉岡 孝司, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, ?木一好, 松田 十四夫 電気化学検出用の金メッシュ電極を流路外に取り付けたマイクロチャネルチップ電気泳動法 電気化学検出用の金メッシュ電極を流路外に取り付けたマイクロチャネルチップ電気泳動法 電気化学検出用の金メッシュ電極を流路外に取り付けたマイクロチャネルチップ電気泳動法 分析化学会, 0 分析化学会, 0 分析化学会, 0 2003 Japanese Disclose to all
黒川 正也, 南 徹, 萩原 俊明, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 萩原 俊明, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 萩原 俊明, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 第8回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 20 第8回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 20 第8回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 20 2003 Japanese Disclose to all
柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 ナノ粒子分散ポリマを用いた微細加工技術 ナノ粒子分散ポリマを用いた微細加工技術 ナノ粒子分散ポリマを用いた微細加工技術 第12回ポリマー材料フォーラム, 0 第12回ポリマー材料フォーラム, 0 第12回ポリマー材料フォーラム, 0 2003 Japanese Disclose to all
脇田 慎一, 鳴石 奈穂子, 出村 民, 黒川 正也, 辻川文雄, 下間 昌, 田畑 修 脇田 慎一, 鳴石 奈穂子, 出村 民, 黒川 正也, 辻川文雄, 下間 昌, 田畑 修 脇田 慎一, 鳴石 奈穂子, 出村 民, 黒川 正也, 辻川文雄, 下間 昌, 田畑 修 LIGAプラスチックレプリカプロセスによる高密度マルチ電気泳動チップ LIGAプラスチックレプリカプロセスによる高密度マルチ電気泳動チップ LIGAプラスチックレプリカプロセスによる高密度マルチ電気泳動チップ 第23回キャピラリー電気泳動シンポジウム(SCE'03), 35-36 第23回キャピラリー電気泳動シンポジウム(SCE'03), 35-36 第23回キャピラリー電気泳動シンポジウム(SCE'03), 35-36 2003 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 田畑 修, 辻 慎史, 豊杉 典生, 山田 廣成 菅野 公二, 田畑 修, 辻 慎史, 豊杉 典生, 山田 廣成 菅野 公二, 田畑 修, 辻 慎史, 豊杉 典生, 山田 廣成 マイクロマシニングを用いた軟X線遷移放射ターゲット マイクロマシニングを用いた軟X線遷移放射ターゲット マイクロマシニングを用いた軟X線遷移放射ターゲット 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-03-35, 35-39 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-03-35, 35-39 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-03-35, 35-39 2003 Japanese Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Micromachining and Microfabrication Process Technology Vlll, 62-69 Micromachining and Microfabrication Process Technology Vlll, 62-69 Micromachining and Microfabrication Process Technology Vlll, 62-69 2003 English Disclose to all
S. Wakida, N. Naruishi, X. Wu, T. Demura, S. Shimotsuma, S. Shinohara, H. Shiraishi, Osamu Tabata S. Wakida, N. Naruishi, X. Wu, T. Demura, S. Shimotsuma, S. Shinohara, H. Shiraishi, Osamu Tabata S. Wakida, N. Naruishi, X. Wu, T. Demura, S. Shimotsuma, S. Shinohara, H. Shiraishi, Osamu Tabata Multichannel Array Chip Based on Plastic Injection Molding Using the LIGA Process Multichannel Array Chip Based on Plastic Injection Molding Using the LIGA Process Multichannel Array Chip Based on Plastic Injection Molding Using the LIGA Process The First International Congress on Bio-Nanointerface, 0 The First International Congress on Bio-Nanointerface, 0 The First International Congress on Bio-Nanointerface, 0 2003 English Disclose to all
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 2003 English Disclose to all
Yushi Nakamura, Suguru Uemura, Keigo Okajima, Osamu Tabata Yushi Nakamura, Suguru Uemura, Keigo Okajima, Osamu Tabata Yushi Nakamura, Suguru Uemura, Keigo Okajima, Osamu Tabata Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3-D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3-D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3-D Micromachining of Polytetrafluoroethylene High Aspect Micro Structure Technology, 19-20 High Aspect Micro Structure Technology, 19-20 High Aspect Micro Structure Technology, 19-20 2003 English Disclose to all
H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata Micro-Powder Blasting Using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Micro-Powder Blasting Using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Micro-Powder Blasting Using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003, 95-100 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003, 95-100 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003, 95-100 2003 English Disclose to all
Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Jan. G. Korvink Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Jan. G. Korvink Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Jan. G. Korvink Verification of Etching Rule in CAES Verification of Etching Rule in CAES Verification of Etching Rule in CAES 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 277-280 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 277-280 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 277-280 2003 English Disclose to all
Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, Osamu Tabata 3D Simulation System for Moving Mask Deep X-ray Lithography 3D Simulation System for Moving Mask Deep X-ray Lithography 3D Simulation System for Moving Mask Deep X-ray Lithography 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 271-276 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 271-276 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 271-276 2003 English Disclose to all
Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Jan G. Korvink Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Jan G. Korvink Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Jan G. Korvink X3D: 3D X-Ray Lithography and Development Simulation for MEMS X3D: 3D X-Ray Lithography and Development Simulation for MEMS X3D: 3D X-Ray Lithography and Development Simulation for MEMS The 12th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'03), 1570-1573 The 12th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'03), 1570-1573 The 12th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'03), 1570-1573 2003 English Disclose to all
S. Kawamura; T. Yamamoto; D. Ishida; T. Ogata; Y. Nakayama; O. Tabata; S. Sugiyama S. Kawamura; T. Yamamoto; D. Ishida; T. Ogata; Y. Nakayama; O. Tabata; S. Sugiyama S. Kawamura; T. Yamamoto; D. Ishida; T. Ogata; Y. Nakayama; O. Tabata; S. Sugiyama Development of passive elements with variable mechanical impedance for wearable robots Development of passive elements with variable mechanical impedance for wearable robots Development of passive elements with variable mechanical impedance for wearable robots Proceedings - IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1, 248-253 Proceedings - IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1, 248-253 Proceedings - IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1, 248-253 2002 Refereed English Disclose to all
浅井 健史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 浅井 健史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 浅井 健史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 シンクロトン放射光を用いて作成したマイクロチャンネルチップによるカルボン酸の電気泳動分析 シンクロトン放射光を用いて作成したマイクロチャンネルチップによるカルボン酸の電気泳動分析 シンクロトン放射光を用いて作成したマイクロチャンネルチップによるカルボン酸の電気泳動分析 日本化学会第81春季年会, 0 日本化学会第81春季年会, 0 日本化学会第81春季年会, 0 2002 Japanese Disclose to all
吉田 拓史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 吉田 拓史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 吉田 拓史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 電気泳動検出器を用いるマイクロチャンネル電気泳動法 電気泳動検出器を用いるマイクロチャンネル電気泳動法 電気泳動検出器を用いるマイクロチャンネル電気泳動法 日本化学会第81春季年会, 0 日本化学会第81春季年会, 0 日本化学会第81春季年会, 0 2002 Japanese Disclose to all
松塚 直樹, 山路 忠寛, 田畑 修 松塚 直樹, 山路 忠寛, 田畑 修 松塚 直樹, 山路 忠寛, 田畑 修 Determination of Optimal Mask Movement Pattern for Moving Mask Deep X-Ray Lithography 移動マスクX線リソグラフィーにおける最適マスク移動パターンの決定法 Determination of Optimal Mask Movement Pattern for Moving Mask Deep X-Ray Lithography 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 257-261 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 257-261 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 257-261 2002 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 田畑 修 菅野 公二, 田畑 修 菅野 公二, 田畑 修 XeF2 を用いたSi エッチングにおける表面粗さと加工深さの制御 XeF2 を用いたSi エッチングにおける表面粗さと加工深さの制御 XeF2 を用いたSi エッチングにおける表面粗さと加工深さの制御 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 303-308 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 303-308 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 303-308 2002 Japanese Disclose to all
赤星 拓二, 篠原 祥二, 白石 晴樹, ?木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 篠原 祥二, 白石 晴樹, ?木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 篠原 祥二, 白石 晴樹, ?木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 X線リソグラフィ−により作成したマイクロチップにおけるフルオレセイン類の電気泳動 X線リソグラフィ−により作成したマイクロチップにおけるフルオレセイン類の電気泳動 X線リソグラフィ−により作成したマイクロチップにおけるフルオレセイン類の電気泳動 日本分析化学会第51年会, 0 日本分析化学会第51年会, 0 日本分析化学会第51年会, 0 2002 Japanese Disclose to all
脇田 慎一, 呉 暁玲, 下間 昌, 西本 尚弘, 中西 博昭, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 田畑 修 脇田 慎一, 呉 暁玲, 下間 昌, 西本 尚弘, 中西 博昭, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 田畑 修 脇田 慎一, 呉 暁玲, 下間 昌, 西本 尚弘, 中西 博昭, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 田畑 修 Fabrication of Biochip using LIGA process LIGA プロセスによるバイオチップ創製 Fabrication of Biochip using LIGA process 高分子討論会, 51, 13, 3560-3561 高分子討論会, 51, 13, 3560-3561 高分子討論会, 51, 13, 3560-3561 2002 Japanese Disclose to all
平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 2002 Japanese Disclose to all
Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Suguru Uemura, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Suguru Uemura, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Suguru Uemura, Kouji Yamamoto 3D Fabrication by Moving Mask Deep X-Ray Lithography (M2DXL) with Multiple Stages 3D Fabrication by Moving Mask Deep X-Ray Lithography (M2DXL) with Multiple Stages 3D Fabrication by Moving Mask Deep X-Ray Lithography (M2DXL) with Multiple Stages The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 180-183 The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 180-183 The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 180-183 2002 English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata MEMS Research and Education at Ritsumeikan University and 3-D Micro Fabrication Technology using Deep X-Ray Lithography MEMS Research and Education at Ritsumeikan University and 3-D Micro Fabrication Technology using Deep X-Ray Lithography MEMS Research and Education at Ritsumeikan University and 3-D Micro Fabrication Technology using Deep X-Ray Lithography Proc. of the Korea Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 297-302 Proc. of the Korea Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 297-302 Proc. of the Korea Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 297-302 2002 English Disclose to all
Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using a Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using a Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using a Cellular-Automata 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 31-36 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 31-36 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 31-36 2002 English Disclose to all
Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Simulation for Observing the Si Anisotropic Process in Atomic Scale Simulation for Observing the Si Anisotropic Process in Atomic Scale Simulation for Observing the Si Anisotropic Process in Atomic Scale Micromechatronics and Human Science,, 35-40 Micromechatronics and Human Science,, 35-40 Micromechatronics and Human Science,, 35-40 2002 English Disclose to all
Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography Micromechatronics and Human Science, 159-164 Micromechatronics and Human Science, 159-164 Micromechatronics and Human Science, 159-164 2002 English Disclose to all
Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Techniques for Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Techniques for Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Techniques for Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Micromechatronics and Human Science, 47-52 Micromechatronics and Human Science, 47-52 Micromechatronics and Human Science, 47-52 2002 English Disclose to all
Masahiro Sugimoto, Hitoshi Saika, Shinsuke Shibata, Shouji Shinohara, Osamu Tabata Masahiro Sugimoto, Hitoshi Saika, Shinsuke Shibata, Shouji Shinohara, Osamu Tabata Masahiro Sugimoto, Hitoshi Saika, Shinsuke Shibata, Shouji Shinohara, Osamu Tabata A Nobel Bonding Technique For Micro Polymer Chip Using Sacrificial Channel and Adhesive Printing A Nobel Bonding Technique For Micro Polymer Chip Using Sacrificial Channel and Adhesive Printing A Nobel Bonding Technique For Micro Polymer Chip Using Sacrificial Channel and Adhesive Printing The Sixth International Symposium on Micro Total Analysis System (μTAS), 398-400 The Sixth International Symposium on Micro Total Analysis System (μTAS), 398-400 The Sixth International Symposium on Micro Total Analysis System (μTAS), 398-400 2002 English Disclose to all
Osamu Tabata, Haruki Shiraishi Osamu Tabata, Haruki Shiraishi Osamu Tabata, Haruki Shiraishi Micro/Nano Chip Technology Using Deep X-Ray Lithography and It's Application Micro/Nano Chip Technology Using Deep X-Ray Lithography and It's Application Micro/Nano Chip Technology Using Deep X-Ray Lithography and It's Application CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 2002 English Disclose to all
Akira Ishida, Morio Sato, Wataru Yoshikawa, Osamu Tabata Akira Ishida, Morio Sato, Wataru Yoshikawa, Osamu Tabata Akira Ishida, Morio Sato, Wataru Yoshikawa, Osamu Tabata Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film Materials Science Forum,, 394-395, 487-490 Materials Science Forum,, 394-395, 487-490 Materials Science Forum,, 394-395, 487-490 2002 English Disclose to all
田畑 修, 磯野 吉正, 小嶋 廣和, 笠谷 哲也 田畑 修, 磯野 吉正, 小嶋 廣和, 笠谷 哲也 田畑 修, 磯野 吉正, 小嶋 廣和, 笠谷 哲也 3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する基礎研究 3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する基礎研究 3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する基礎研究 分子シンクロ材料第8回全体会議, 0 分子シンクロ材料第8回全体会議, 0 分子シンクロ材料第8回全体会議, 0 2002 Japanese Disclose to all
石田 章, 佐藤 守夫, 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修 石田 章, 佐藤 守夫, 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修 石田 章, 佐藤 守夫, 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロカンチレバーの作製 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロカンチレバーの作製 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロカンチレバーの作製 金属学会春季大会, 0 金属学会春季大会, 0 金属学会春季大会, 0 2002 Japanese Disclose to all
垣永貴光, 馬場教彰, 田畑 修, 磯野吉正, K.Ehrmann, J.G.Korvink 馬場教章, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野吉正, K.Ehrmann, Jan G.Korvink 垣永貴光, 馬場教彰, 田畑 修, 磯野吉正, K.Ehrmann, J.G.Korvink Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Crystalline Sillcon using a Celluler-Automatdaia セルラー・オートマトンを用いたシリコン異方性エッチングシミュレーション Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Crystalline Sillcon using a Celluler-Automatdaia 第19回「センサ・マイクロマシント応用システム」シンポジウム, 27-32 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, 27-32 第19回「センサ・マイクロマシント応用システム」シンポジウム, 27-32 2002 Japanese Disclose to all
Shouji Shinohara, Takuji Akaboshi, Haruki Shiraishi, Osamu Tabata Shouji Shinohara, Takuji Akaboshi, Haruki Shiraishi, Osamu Tabata Shouji Shinohara, Takuji Akaboshi, Haruki Shiraishi, Osamu Tabata Separation of Fluorescein Derivatives on Micro Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Separation of Fluorescein Derivatives on Micro Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Separation of Fluorescein Derivatives on Micro Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 2002 English Disclose to all
Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Hui You, Jun Minakuchi, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Hui You, Jun Minakuchi, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Hui You, Jun Minakuchi, Kouji Yamamoto Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) The 14th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 94-97 The 14th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 94-97 The 14th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 94-97 2001/01 English Disclose to all
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Etching Rate Control of Mask Material for XeF2 Etching using UV Exposure Etching Rate Control of Mask Material for XeF2 Etching using UV Exposure Etching Rate Control of Mask Material for XeF2 Etching using UV Exposure Proceedings of SPIE, Micromachining and Microfabrication Process Technology VII, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE, Micromachining and Microfabrication Process Technology VII, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE, Micromachining and Microfabrication Process Technology VII, 4557, 18-23 2001 English Disclose to all
Shouji Shinohara, Hitoshi Saika, Kenichi Enami, Shinsuke Shibata, Takuji Akaboshi, Masaaki Itou, Osamu Tabata, Haruki Shiraishi, Takahiro Nishimoto Shouji Shinohara, Hitoshi Saika, Kenichi Enami, Shinsuke Shibata, Takuji Akaboshi, Masaaki Itou, Osamu Tabata, Haruki Shiraishi, Takahiro Nishimoto Shouji Shinohara, Hitoshi Saika, Kenichi Enami, Shinsuke Shibata, Takuji Akaboshi, Masaaki Itou, Osamu Tabata, Haruki Shiraishi, Takahiro Nishimoto Performance of -CE Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Performance of -CE Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Performance of -CE Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography International Symposium on Microchemistry and Microsystems, 100-101 International Symposium on Microchemistry and Microsystems, 100-101 International Symposium on Microchemistry and Microsystems, 100-101 2001 English Disclose to all
Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa, Shintaro Aoki, Ryo Yoshida, Etsuo Kokufuta Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa, Shintaro Aoki, Ryo Yoshida, Etsuo Kokufuta Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa, Shintaro Aoki, Ryo Yoshida, Etsuo Kokufuta Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel The 14th Annual Int. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems, 405-408 The 14th Annual Int. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems, 405-408 The 14th Annual Int. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems, 405-408 2001 English Disclose to all
篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 LIGAプロセスを用いた電気泳動用ポリマーチップの開発 LIGAプロセスを用いた電気泳動用ポリマーチップの開発 LIGAプロセスを用いた電気泳動用ポリマーチップの開発 第四回化学とマイクロシステム研究会, 0 第四回化学とマイクロシステム研究会, 0 第四回化学とマイクロシステム研究会, 0 2001 Japanese Disclose to all
菅野 公二, 田畑 修 菅野 公二, 田畑 修 菅野 公二, 田畑 修 XeF2エッチングにおけるエッチング特性と紫外線照射によるマスク材のエッチレート制御 XeF2エッチングにおけるエッチング特性と紫外線照射によるマスク材のエッチレート制御 XeF2エッチングにおけるエッチング特性と紫外線照射によるマスク材のエッチレート制御 マイクロマシニング研究会, 0 マイクロマシニング研究会, 0 マイクロマシニング研究会, 0 2001 Japanese Disclose to all
赤星 拓二, 伊藤 正明, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 伊藤 正明, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 伊藤 正明, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作製 (その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作製 (その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作製 (その2)−泳動とチャネル形状について− 第50回分析化学会, 0 第50回分析化学会, 0 第50回分析化学会, 0 2001 Japanese Disclose to all
吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修, 石田 章 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修, 石田 章 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修, 石田 章 SMA/SiO2薄膜カンチレバーアクチュエータの特性解析 SMA/SiO2薄膜カンチレバーアクチュエータの特性解析 SMA/SiO2薄膜カンチレバーアクチュエータの特性解析 電気学会研究会 センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 67-72 電気学会研究会 センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 67-72 電気学会研究会 センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 67-72 2001 Japanese Disclose to all
磯野 吉正, 田畑 修 磯野 吉正, 田畑 修 磯野 吉正, 田畑 修 MEMSと材料評価技術 MEMSと材料評価技術 MEMSと材料評価技術 応用力学研究所研究集会「電子デバイス/微小構造の強度信頼性」, 28-31 応用力学研究所研究集会「電子デバイス/微小構造の強度信頼性」, 28-31 応用力学研究所研究集会「電子デバイス/微小構造の強度信頼性」, 28-31 2001 Japanese Disclose to all
篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 X線リソグラフィーで作製したポリマーチップを用いたフルオレセインナトリウムとフルオレセイン-5-スルホン酸三ナトリウム塩の高速分離 X線リソグラフィーで作製したポリマーチップを用いたフルオレセインナトリウムとフルオレセイン-5-スルホン酸三ナトリウム塩の高速分離 X線リソグラフィーで作製したポリマーチップを用いたフルオレセインナトリウムとフルオレセイン-5-スルホン酸三ナトリウム塩の高速分離 第21回キャピラリー電気泳動シンポジウム, 0 第21回キャピラリー電気泳動シンポジウム, 0 第21回キャピラリー電気泳動シンポジウム, 0 2001 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロシステム技術と微小物体ハンドリングへのアプローチ マイクロシステム技術と微小物体ハンドリングへのアプローチ マイクロシステム技術と微小物体ハンドリングへのアプローチ 高速高機能ハンドリングコンソーシアム, 0 高速高機能ハンドリングコンソーシアム, 0 高速高機能ハンドリングコンソーシアム, 0 2001 Japanese Disclose to all
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Hui You, 松塚直樹, 山路忠寛, 多間一生, 上村卓, Osamu Tabata Hui You, 松塚直樹, 山路忠寛, 多間一生, 上村卓, Osamu Tabata Hui You, 松塚直樹, 山路忠寛, 多間一生, 上村卓, Osamu Tabata Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication 18th Sensor Symposium, 73-76 18th Sensor Symposium, 73-76 18th Sensor Symposium, 73-76 2001 Japanese Disclose to all
川村 貞夫, 山本 貴志, 小形 崇, 中山 雄一郎, 田畑 修, 杉山 進 川村 貞夫, 山本 貴志, 小形 崇, 中山 雄一郎, 田畑 修, 杉山 進 川村 貞夫, 山本 貴志, 小形 崇, 中山 雄一郎, 田畑 修, 杉山 進 ウエアラブルな可変拘束要素の開発 ウエアラブルな可変拘束要素の開発 ウエアラブルな可変拘束要素の開発 ロボティクスメカトロニクス講演会, 0 ロボティクスメカトロニクス講演会, 0 ロボティクスメカトロニクス講演会, 0 2001 Japanese Disclose to all
K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata Etching rate control of mask material for XeF<sub>2</sub> etching using UV exposure Etching rate control of mask material for XeF<sub>2</sub> etching using UV exposure Etching rate control of mask material for XeF<sub>2</sub> etching using UV exposure Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4557, 18-23 2001 Refereed English Disclose to all
O. Tabata; N. Matsuzuka; T. Yamaji; H. You; J. Minakuchi; K. Yamamoto O. Tabata; N. Matsuzuka; T. Yamaji; H. You; J. Minakuchi; K. Yamamoto O. Tabata; N. Matsuzuka; T. Yamaji; H. You; J. Minakuchi; K. Yamamoto Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep X-ray lithography (M<sup>2</sup>DXL) Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep X-ray lithography (M<sup>2</sup>DXL) Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep X-ray lithography (M<sup>2</sup>DXL) Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 94-97 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 94-97 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 94-97 2001 Refereed English Disclose to all
Osamu Tabata; Satoshi Konishi; Pierre Cusin; Yuuichi Ito; Fumie Kawai; Shinichi Hirai; Sadao Kawamura Osamu Tabata; Satoshi Konishi; Pierre Cusin; Yuuichi Ito; Fumie Kawai; Shinichi Hirai; Sadao Kawamura Osamu Tabata; Satoshi Konishi; Pierre Cusin; Yuuichi Ito; Fumie Kawai; Shinichi Hirai; Sadao Kawamura Microfabricated tunable bending stiffness device Microfabricated tunable bending stiffness device Microfabricated tunable bending stiffness device Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 23-27 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 23-27 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 23-27 2000/01 Refereed English Disclose to all
Haruki Shiraishi, S. Yamada, Toshio Matsuda, K. Takagi, Osamu Tabata Haruki Shiraishi, S. Yamada, Toshio Matsuda, K. Takagi, Osamu Tabata Haruki Shiraishi, S. Yamada, Toshio Matsuda, K. Takagi, Osamu Tabata Electrophoresis micro channel chip fabricated by using synchrotron radiation Electrophoresis micro channel chip fabricated by using synchrotron radiation Electrophoresis micro channel chip fabricated by using synchrotron radiation Pacificchem 2000 Congress, 495 Pacificchem 2000 Congress, 495 Pacificchem 2000 Congress, 495 2000 English Disclose to all
Hui You, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Osamu Tabata Hui You, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Osamu Tabata Hui You, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Osamu Tabata Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Human Science and Technology, 53-58 Human Science and Technology, 53-58 Human Science and Technology, 53-58 2000 English Disclose to all
Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Effects of Etching Pressure and Aperture width on Si Etching with XeF2 Effects of Etching Pressure and Aperture width on Si Etching with XeF2 Effects of Etching Pressure and Aperture width on Si Etching with XeF2 Human Science and Technology, 89-94 Human Science and Technology, 89-94 Human Science and Technology, 89-94 2000 English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Anisotropic Etching of Si in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Si in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Si in TMAH Solutions 2nd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2nd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2nd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2000 English Disclose to all
Satoshi Kawanaka, Haruki Shiraishi, Toshio Matsuda, Osamu Tabata, Shigero Ikeda Satoshi Kawanaka, Haruki Shiraishi, Toshio Matsuda, Osamu Tabata, Shigero Ikeda Satoshi Kawanaka, Haruki Shiraishi, Toshio Matsuda, Osamu Tabata, Shigero Ikeda Microchannel Electrophoresis Chip for DNA Analysis Microchannel Electrophoresis Chip for DNA Analysis Microchannel Electrophoresis Chip for DNA Analysis Prospects of Bioelectrochemistry in the 21st Century, 38 Prospects of Bioelectrochemistry in the 21st Century, 38 Prospects of Bioelectrochemistry in the 21st Century, 38 2000 English Disclose to all
赤星拓二, 伊藤正明, 白石晴樹, 高木一好, 松田十四夫, 田畑修 赤星拓二, 伊藤正明, 白石晴樹, 高木一好, 松田十四夫, 田畑修 赤星拓二, 伊藤正明, 白石晴樹, 高木一好, 松田十四夫, 田畑修 X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作成(その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作成(その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作成(その2)−泳動とチャネル形状について− 日本分析化学会第50年会, 0 日本分析化学会第50年会, 0 日本分析化学会第50年会, 0 2000 Japanese Disclose to all
田畑修 田畑修 田畑修 MEMSの動向と信頼性 MEMSの動向と信頼性 MEMSの動向と信頼性 日本金属学会, 0 日本金属学会, 0 日本金属学会, 0 2000 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロマシニング技術のマイクロ流路加工への応用 マイクロマシニング技術のマイクロ流路加工への応用 マイクロマシニング技術のマイクロ流路加工への応用 第3回日本電熱学会研究会「マイクロマシンと熱流体」, 0 第3回日本電熱学会研究会「マイクロマシンと熱流体」, 0 第3回日本電熱学会研究会「マイクロマシンと熱流体」, 0 2000 Japanese Disclose to all
藤井泰久, 高田久, 垣永貴光, 田畑 修 藤井泰久, 高田久, 垣永貴光, 田畑 修 藤井泰久, 高田久, 垣永貴光, 田畑 修 Silicon Anisotropic Etching Utilizing Mega-Band Ultrasonic Vibration Silicon Anisotropic Etching Utilizing Mega-Band Ultrasonic Vibration Silicon Anisotropic Etching Utilizing Mega-Band Ultrasonic Vibration センサシンポジウム, 259-262 センサシンポジウム, 259-262 センサシンポジウム, 259-262 2000 Japanese Disclose to all
松塚直樹, 山路忠寛, Hui You, 田畑 修 松塚直樹, 山路忠寛, Hui You, 田畑 修 松塚直樹, 山路忠寛, Hui You, 田畑 修 移動マスクX腺露光法を用いた3次元マイクロ加工 移動マスクX腺露光法を用いた3次元マイクロ加工 移動マスクX腺露光法を用いた3次元マイクロ加工 電気学会 光・量子デバイス研究会, 0 電気学会 光・量子デバイス研究会, 0 電気学会 光・量子デバイス研究会, 0 2000 Japanese Disclose to all
石田章, 澤口孝宏, 佐藤守夫, 吉川弥, 田畑 修 石田章, 澤口孝宏, 佐藤守夫, 吉川弥, 田畑 修 石田章, 澤口孝宏, 佐藤守夫, 吉川弥, 田畑 修 バイモルフ型Ti-Ni形状記憶合金薄膜アクチュエータの動作特性 バイモルフ型Ti-Ni形状記憶合金薄膜アクチュエータの動作特性 バイモルフ型Ti-Ni形状記憶合金薄膜アクチュエータの動作特性 金属学会秋期大会, 0 金属学会秋期大会, 0 金属学会秋期大会, 0 2000 Japanese Disclose to all
Yuki Endo, Chiho Yoshida, Yuriko Kiba, Masanori Ueda, Hirohisa Abe, Akihiro Arai, Hiroaki Nakanishi, Osamu Tabata, Yoshinobu Baba Yuki Endo, Chiho Yoshida, Yuriko Kiba, Masanori Ueda, Hirohisa Abe, Akihiro Arai, Hiroaki Nakanishi, Osamu Tabata, Yoshinobu Baba Yuki Endo, Chiho Yoshida, Yuriko Kiba, Masanori Ueda, Hirohisa Abe, Akihiro Arai, Hiroaki Nakanishi, Osamu Tabata, Yoshinobu Baba DNA Analysis by Microfabricated Capillary Electrophoresis Device DNA Analysis by Microfabricated Capillary Electrophoresis Device DNA Analysis by Microfabricated Capillary Electrophoresis Device Nucleic Acids Symposium,, 57-58 Nucleic Acids Symposium,, 57-58 Nucleic Acids Symposium,, 57-58 2000 English Disclose to all
K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF<sub>2</sub> Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF<sub>2</sub> Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF<sub>2</sub> Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89-94 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89-94 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89-94 2000 Refereed English Disclose to all
藤江孝行, 寺杣幸一, 田畑修, 馬場嘉信 藤江孝行, 寺杣幸一, 田畑修, 馬場嘉信 藤江孝行, 寺杣幸一, 田畑修, 馬場嘉信 X線照射加工を用いたDNA分析用マルチルチャネル電気泳動チップ X線照射加工を用いたDNA分析用マルチルチャネル電気泳動チップ X線照射加工を用いたDNA分析用マルチルチャネル電気泳動チップ 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 1999/03 Japanese Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 Mechanical Property of Thin Film and Performance of Micromechnical Device 薄膜の機械的物性とマイクロメカニカルデバイスの特性 Mechanical Property of Thin Film and Performance of Micromechnical Device 日本金属学会春期大会「微細材料システムの機械的性質と信頼性」, 0-497 日本金属学会春期大会「微細材料システムの機械的性質と信頼性」, 0-497 日本金属学会春期大会「微細材料システムの機械的性質と信頼性」, 0-497 1999/03 Japanese Disclose to all
Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa New Sensing Principle Based on the Order Formation in a Nonlinear Oscillator Group New Sensing Principle Based on the Order Formation in a Nonlinear Oscillator Group New Sensing Principle Based on the Order Formation in a Nonlinear Oscillator Group The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 454-457 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 454-457 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 454-457 1999/01 English Disclose to all
Kouichi Terasoma, Osamu Tabata Kouichi Terasoma, Osamu Tabata Kouichi Terasoma, Osamu Tabata Multiple Moving Mask LIGA (M3LIGA) Technology Multiple Moving Mask LIGA (M3LIGA) Technology Multiple Moving Mask LIGA (M3LIGA) Technology High Aspect Ratio Micro Structures, 66-67 High Aspect Ratio Micro Structures, 66-67 High Aspect Ratio Micro Structures, 66-67 1999/01 English Disclose to all
上田正則, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 田畑修, 馬場嘉信 Development of Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 1999 Japanese Disclose to all
上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 マイクロチップ化電気泳動装置によるDNAの超高速分離とそのダイナミクス マイクロチップ化電気泳動装置によるDNAの超高速分離とそのダイナミクス マイクロチップ化電気泳動装置によるDNAの超高速分離とそのダイナミクス 高分子討論会, 0 高分子討論会, 0 高分子討論会, 0 1999 Japanese Disclose to all
Osamu Tabata, Kouichi Terasoma, Norihiro Agawa, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Kouichi Terasoma, Norihiro Agawa, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Kouichi Terasoma, Norihiro Agawa, Kouji Yamamoto Moving Mask LIGA (M2LIGA) Process for Control of Side Wall Inclination Moving Mask LIGA (M2LIGA) Process for Control of Side Wall Inclination Moving Mask LIGA (M2LIGA) Process for Control of Side Wall Inclination The 12th Micro electromechanical Systems Workshop,, 252-256 The 12th Micro electromechanical Systems Workshop,, 252-256 The 12th Micro electromechanical Systems Workshop,, 252-256 1999 English Disclose to all
Osamu Tabata, Manabu Yashima, Tetsuo Yoshioka, Kazuo Sato Osamu Tabata, Manabu Yashima, Tetsuo Yoshioka, Kazuo Sato Osamu Tabata, Manabu Yashima, Tetsuo Yoshioka, Kazuo Sato Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 542-545 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 542-545 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 542-545 1999 English Disclose to all
上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA解析 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA解析 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA解析 バイオ高分子シンポジウム, 74-75 バイオ高分子シンポジウム, 74-75 バイオ高分子シンポジウム, 74-75 1999 Japanese Disclose to all
上田正則, 喜羽百合子, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 喜羽百合子, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 喜羽百合子, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析 バイオイメージング学会, 103-104 バイオイメージング学会, 103-104 バイオイメージング学会, 103-104 1999 Japanese Disclose to all
川村貞夫, 平井慎一, 田畑修, 小西聡 川村貞夫, 平井慎一, 田畑修, 小西聡 川村貞夫, 平井慎一, 田畑修, 小西聡 機械的拘束と伸縮材料を組み合わせた変形柔軟アクチュエータの概念 機械的拘束と伸縮材料を組み合わせた変形柔軟アクチュエータの概念 機械的拘束と伸縮材料を組み合わせた変形柔軟アクチュエータの概念 SICE関西支部シンポジウム, 84-87 SICE関西支部シンポジウム, 84-87 SICE関西支部シンポジウム, 84-87 1999 Japanese Disclose to all
伊藤雄一, 田畑修 伊藤雄一, 田畑修 伊藤雄一, 田畑修 可変剛性積層フィルム構造体 可変剛性積層フィルム構造体 可変剛性積層フィルム構造体 SICE関西支部シンポジウム, 92-95 SICE関西支部シンポジウム, 92-95 SICE関西支部シンポジウム, 92-95 1999 Japanese Disclose to all
Osamu Tabata, Takeshi Yamamoto, A. A. Seshia, Roger T. Howe Osamu Tabata, Takeshi Yamamoto, A. A. Seshia, Roger T. Howe Osamu Tabata, Takeshi Yamamoto, A. A. Seshia, Roger T. Howe Integrated Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change Integrated Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change Integrated Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1538-1541 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1538-1541 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1538-1541 1999 English Disclose to all
Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Study of XeF2 Pulse Etching Using Wagon Wheel Pattern Study of XeF2 Pulse Etching Using Wagon Wheel Pattern Study of XeF2 Pulse Etching Using Wagon Wheel Pattern Micromechatronics and Human Science, 163-167 Micromechatronics and Human Science, 163-167 Micromechatronics and Human Science, 163-167 1999 English Disclose to all
Osamu Tabata; Kouichi Terasoma; Norihiro Agawa; Kouji Yamamoto Osamu Tabata; Kouichi Terasoma; Norihiro Agawa; Kouji Yamamoto Osamu Tabata; Kouichi Terasoma; Norihiro Agawa; Kouji Yamamoto Moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) process for control of side wall inclination Moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) process for control of side wall inclination Moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) process for control of side wall inclination Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 252-256 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 252-256 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 252-256 1999 Refereed English Disclose to all
Y. Kiba; M. Ueda; H. Abe; A. Arai; H. Nakanishi; O. Tabata; Y. Baba Y. Kiba; M. Ueda; H. Abe; A. Arai; H. Nakanishi; O. Tabata; Y. Baba Y. Kiba; M. Ueda; H. Abe; A. Arai; H. Nakanishi; O. Tabata; Y. Baba DNA analysis by microfabricated capillary electrophoresis device. DNA analysis by microfabricated capillary electrophoresis device. DNA analysis by microfabricated capillary electrophoresis device. Nucleic acids symposium series, 42, 57-58 Nucleic acids symposium series, 42, 57-58 Nucleic acids symposium series, 42, 57-58 1999 Refereed English Disclose to all
Koji Sugano; Osamu Tabata Koji Sugano; Osamu Tabata Koji Sugano; Osamu Tabata Study on XeF<sub>2</sub> pulse etching using wagon wheel pattern Study on XeF<sub>2</sub> pulse etching using wagon wheel pattern Study on XeF<sub>2</sub> pulse etching using wagon wheel pattern Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163-167 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163-167 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163-167 1999 Refereed English Disclose to all
Yoshinobu Baba, Osamu Tabata Yoshinobu Baba, Osamu Tabata Yoshinobu Baba, Osamu Tabata Novel Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip Fabricated by Synchrotron Radiation and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules in Microchannels Novel Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip Fabricated by Synchrotron Radiation and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules in Microchannels Novel Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip Fabricated by Synchrotron Radiation and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules in Microchannels Proc. of the μTAS'98 Workshop, 331-334 Proc. of the μTAS'98 Workshop, 331-334 Proc. of the μTAS'98 Workshop, 331-334 1998 English Disclose to all
上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process Tech. Dig. 16th Sensor Symposium, 189-194 Tech. Dig. 16th Sensor Symposium, 189-194 Tech. Dig. 16th Sensor Symposium, 189-194 1998 English Disclose to all
八嶋学, 田畑修 八嶋学, 田畑修 八嶋学, 田畑修 シリコン結晶異方性エッチング ―異方性エッチングレートの予測手法― シリコン結晶異方性エッチング ―異方性エッチングレートの予測手法― シリコン結晶異方性エッチング ―異方性エッチングレートの予測手法― マイクロマシニングプロセス研究会, 0 マイクロマシニングプロセス研究会, 0 マイクロマシニングプロセス研究会, 0 1998 Japanese Disclose to all
上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 SiCメンブレンを用いたLIGAプロセス用X線マスクの製作 SiCメンブレンを用いたLIGAプロセス用X線マスクの製作 SiCメンブレンを用いたLIGAプロセス用X線マスクの製作 電気学会全国大会, 0 電気学会全国大会, 0 電気学会全国大会, 0 1998 Japanese Disclose to all
田畑修, 平澤洋 田畑修, 平澤洋 田畑修, 平澤洋 非線形振動子における秩序形成を利用したセンシング―塩水振動子を用いた実験とシミュレーション― 非線形振動子における秩序形成を利用したセンシング―塩水振動子を用いた実験とシミュレーション― 非線形振動子における秩序形成を利用したセンシング―塩水振動子を用いた実験とシミュレーション― 電気学会計測研究会, 7-13 電気学会計測研究会, 7-13 電気学会計測研究会, 7-13 1998 Japanese Disclose to all
田畑修, 山本毅, 岩根正憲 田畑修, 山本毅, 岩根正憲 田畑修, 山本毅, 岩根正憲 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 17-20 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 17-20 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 17-20 1998 Japanese Disclose to all
川中智司, 中村敏和, 白石晴樹, 松田十四夫, 池田重良, 田畑修, 藤江孝行 川中智司, 中村敏和, 白石晴樹, 松田十四夫, 池田重良, 田畑修, 藤江孝行 川中智司, 中村敏和, 白石晴樹, 松田十四夫, 池田重良, 田畑修, 藤江孝行 エポキシ樹脂をレジストに用いて作成したマイクロチャネル電気泳動基板の分析化学的応用 エポキシ樹脂をレジストに用いて作成したマイクロチャネル電気泳動基板の分析化学的応用 エポキシ樹脂をレジストに用いて作成したマイクロチャネル電気泳動基板の分析化学的応用 日本分析化学会第47年会, 0 日本分析化学会第47年会, 0 日本分析化学会第47年会, 0 1998 Japanese Disclose to all
O. Tabata O. Tabata O. Tabata Anisotropy and selectivity control of TMAH Anisotropy and selectivity control of TMAH Anisotropy and selectivity control of TMAH Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 229-233 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 229-233 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 229-233 1998 Refereed English Disclose to all
Osamu Tabata; Takeshi Yamamoto Osamu Tabata; Takeshi Yamamoto Osamu Tabata; Takeshi Yamamoto 2-Axis detection resonant accelerometer based on rigidity change 2-Axis detection resonant accelerometer based on rigidity change 2-Axis detection resonant accelerometer based on rigidity change Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3514, 210-216 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3514, 210-216 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3514, 210-216 1998 Refereed English Disclose to all
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 1997 English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Silicon Anisotropic Etching -Effect of Etching Products and Diffusion- Silicon Anisotropic Etching -Effect of Etching Products and Diffusion- Silicon Anisotropic Etching -Effect of Etching Products and Diffusion- CAD for MEMS Workshop,, 21 CAD for MEMS Workshop,, 21 CAD for MEMS Workshop,, 21 1997 English Disclose to all
Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentaro Mizuno, Kazuo Otsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentaro Mizuno, Kazuo Otsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentaro Mizuno, Kazuo Otsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1237-1240 The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1237-1240 The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1237-1240 1997 English Disclose to all
Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Y. Zhang, Osamu Tabata, Satoshi Konishi, Susumu Sugiyama Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Y. Zhang, Osamu Tabata, Satoshi Konishi, Susumu Sugiyama Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Y. Zhang, Osamu Tabata, Satoshi Konishi, Susumu Sugiyama Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts using the LIGA Process Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts using the LIGA Process Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts using the LIGA Process International Symposium on Micro Mechatronics and Human Science,, 49-54 International Symposium on Micro Mechatronics and Human Science,, 49-54 International Symposium on Micro Mechatronics and Human Science,, 49-54 1997 English Disclose to all
Yoshiteru Omura; Yutaka Nonomura; Osamu Tabata Yoshiteru Omura; Yutaka Nonomura; Osamu Tabata Yoshiteru Omura; Yutaka Nonomura; Osamu Tabata New resonant accelerometer based on rigidity change New resonant accelerometer based on rigidity change New resonant accelerometer based on rigidity change International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Proceedings, 2, 855-858 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Proceedings, 2, 855-858 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Proceedings, 2, 855-858 1997 Refereed English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Silicon Micromachining Technology and Its Application to Microsensors Silicon Micromachining Technology and Its Application to Microsensors Silicon Micromachining Technology and Its Application to Microsensors International Aerospace Symposium '96, 0 International Aerospace Symposium '96, 0 International Aerospace Symposium '96, 0 1996 English Disclose to all
Shoji Kawahito, Akira Yamasawa, Shji Koga, Yoshiaki Tadokoro, Kentaro Mizuno, Osamu Tabata Shoji Kawahito, Akira Yamasawa, Shji Koga, Yoshiaki Tadokoro, Kentaro Mizuno, Osamu Tabata Shoji Kawahito, Akira Yamasawa, Shji Koga, Yoshiaki Tadokoro, Kentaro Mizuno, Osamu Tabata Digital Interface Circuits using Sigma-Delta Modulation for Integrated Micro-Fluxgate Magnetic Sensors Digital Interface Circuits using Sigma-Delta Modulation for Integrated Micro-Fluxgate Magnetic Sensors Digital Interface Circuits using Sigma-Delta Modulation for Integrated Micro-Fluxgate Magnetic Sensors Proc. IEEE Int. Symposium on Circuits and Systems, 4, 340-343 Proc. IEEE Int. Symposium on Circuits and Systems, 4, 340-343 Proc. IEEE Int. Symposium on Circuits and Systems, 4, 340-343 1996 English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 83-86 The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 83-86 The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 83-86 1995 English Disclose to all
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata MEMS activities in Toyota and Japan MEMS activities in Toyota and Japan MEMS activities in Toyota and Japan SENSOR EXPO, 0 SENSOR EXPO, 0 SENSOR EXPO, 0 1995 English Disclose to all
Osamu Tabata, Hidehisa Murase, Osamu Banno, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hidehisa Murase, Osamu Banno, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hidehisa Murase, Osamu Banno, Hideo Yamada Measurement of Transient Low Pressure on a Flat Plate Caused by an Impinging Vortex Ring Measurement of Transient Low Pressure on a Flat Plate Caused by an Impinging Vortex Ring Measurement of Transient Low Pressure on a Flat Plate Caused by an Impinging Vortex Ring Proc. of the 2nd Int. Conf. on Fluid Dynamic Measurement and Its Applications, 518-521 Proc. of the 2nd Int. Conf. on Fluid Dynamic Measurement and Its Applications, 518-521 Proc. of the 2nd Int. Conf. on Fluid Dynamic Measurement and Its Applications, 518-521 1994 English Disclose to all
Susumu Sugiyama, Osamu Tabata, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi Susumu Sugiyama, Osamu Tabata, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi Susumu Sugiyama, Osamu Tabata, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi Micromachined Sensors Realized with IC Process Technology Micromachined Sensors Realized with IC Process Technology Micromachined Sensors Realized with IC Process Technology IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), 127-130 IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), 127-130 IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), 127-130 1994 English Disclose to all
Hideo Yamada, Noriaki Hayashi, Osamu Tabata, Hideyasu Hiramatsu, Takeshi Naitoh Hideo Yamada, Noriaki Hayashi, Osamu Tabata, Hideyasu Hiramatsu, Takeshi Naitoh Hideo Yamada, Noriaki Hayashi, Osamu Tabata, Hideyasu Hiramatsu, Takeshi Naitoh Flow Past A Rectangular Cylinder with A Rectangular Cavity Flow Past A Rectangular Cylinder with A Rectangular Cavity Flow Past A Rectangular Cylinder with A Rectangular Cavity 3rd Asia Symposium on Visualization, 92-95 3rd Asia Symposium on Visualization, 92-95 3rd Asia Symposium on Visualization, 92-95 1994 English Disclose to all
Keiichi Shimaoka, Osamu Tabata, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Keiichi Shimaoka, Osamu Tabata, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Keiichi Shimaoka, Osamu Tabata, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Micro-Diaphragm Pressure Sensor Using Polysilicon Sacrificial Layer Etch-Stop Technique Micro-Diaphragm Pressure Sensor Using Polysilicon Sacrificial Layer Etch-Stop Technique Micro-Diaphragm Pressure Sensor Using Polysilicon Sacrificial Layer Etch-Stop Technique The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 632-635 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 632-635 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 632-635 1993 English Disclose to all
Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Norio Fujitsuka, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Norio Fujitsuka, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Norio Fujitsuka, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Electrostatic Driven Optical Chopper Using SOI Wafer Electrostatic Driven Optical Chopper Using SOI Wafer Electrostatic Driven Optical Chopper Using SOI Wafer The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 124-127 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 124-127 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 124-127 1993 English Disclose to all
Ryouji Asahi; Jiro Sakata; Osamu Tabata Ryouji Asahi; Jiro Sakata; Osamu Tabata Ryouji Asahi; Jiro Sakata; Osamu Tabata Integrated pyroelectric infrared sensor using PVDF thin film deposited by electro-spray method Integrated pyroelectric infrared sensor using PVDF thin film deposited by electro-spray method Integrated pyroelectric infrared sensor using PVDF thin film deposited by electro-spray method Materials Research Society Symposium - Proceedings, 310, 79-84 Materials Research Society Symposium - Proceedings, 310, 79-84 Materials Research Society Symposium - Proceedings, 310, 79-84 1993 Refereed English Disclose to all
Osamu Tabata, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi, Susumu Sugiyama Surface Micromachining Using Polysilicon Sacrificial Layer Surface Micromachining Using Polysilicon Sacrificial Layer Surface Micromachining Using Polysilicon Sacrificial Layer 2nd Int. Symp. on Micro Machine and Human Science, 163-172 2nd Int. Symp. on Micro Machine and Human Science, 163-172 2nd Int. Symp. on Micro Machine and Human Science, 163-172 1991 English Disclose to all
Tomio Nagata, Hiroaki Terabe, Sirou Kuwahara, Sizuki Sakurai, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Masayoshi Esashi Tomio Nagata, Hiroaki Terabe, Sirou Kuwahara, Sizuki Sakurai, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Masayoshi Esashi Tomio Nagata, Hiroaki Terabe, Sirou Kuwahara, Sizuki Sakurai, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Masayoshi Esashi Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 308-311 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 308-311 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 308-311 1991 English Disclose to all
Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Susumu Sugiyama Anisotropic Etching of Silicon in (CH3)4NOH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in (CH3)4NOH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in (CH3)4NOH Solutions The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 811-814 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 811-814 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 811-814 1991 English Disclose to all
Osamu Tabata; Keiichi Shimaoka; Susumu Sugiyama Osamu Tabata; Keiichi Shimaoka; Susumu Sugiyama Osamu Tabata; Keiichi Shimaoka; Susumu Sugiyama In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro mechanical systems In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro mechanical systems In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro mechanical systems Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 99-102 Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 99-102 Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 99-102 1991 Refereed English Disclose to all
Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array The 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 3-4 The 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 3-4 The 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 3-4 1989 English Disclose to all
Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane IEEE Micro Electro Mechanical Workshop, 152-156 IEEE Micro Electro Mechanical Workshop, 152-156 IEEE Micro Electro Mechanical Workshop, 152-156 1989 English Disclose to all
Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Monolithic Pressure-Flow Sensor with a Thermal Isolation Structure Monolithic Pressure-Flow Sensor with a Thermal Isolation Structure Monolithic Pressure-Flow Sensor with a Thermal Isolation Structure The 4th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 340-343 The 4th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 340-343 The 4th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 340-343 1987 English Disclose to all
Junji Toyama, Osamu Tabata, Mitsuharu Okajima, Kazuo Yamada Junji Toyama, Osamu Tabata, Mitsuharu Okajima, Kazuo Yamada Junji Toyama, Osamu Tabata, Mitsuharu Okajima, Kazuo Yamada Microcomputer Processing System for Body Surface Isopotential Map and Epicardial Isochron-Map Microcomputer Processing System for Body Surface Isopotential Map and Epicardial Isochron-Map Microcomputer Processing System for Body Surface Isopotential Map and Epicardial Isochron-Map MEDINFO 80, 259-263 MEDINFO 80, 259-263 MEDINFO 80, 259-263 1980 English Disclose to all

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Conference Activities & Talks
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DNA as an Engineering Material to Bridge MEMS and Nanomedicine[Invited] DNA as an Engineering Material to Bridge MEMS and Nanomedicine [Invited] DNA as an Engineering Material to Bridge MEMS and Nanomedicine [Invited] The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2013) The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2013) The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2013) 2013/11/10 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
DNA as an Engineering Material to Bridge MEMS and Nanotechnology[Invited] DNA as an Engineering Material to Bridge MEMS and Nanotechnology [Invited] DNA as an Engineering Material to Bridge MEMS and Nanotechnology [Invited] The 17th Nanotechnology and Micro Electromechanical System Symposium(十七屆奈米工程暨微系統技術研討會) The 17th Nanotechnology and Micro Electromechanical System Symposium(十七屆奈米工程暨微系統技術研討會) The 17th Nanotechnology and Micro Electromechanical System Symposium(十七屆奈米工程暨微系統技術研討會) 2013/10/22 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
DNA Nanotechnology as a Bridge between Nanomaterial and Nanosystem[Invited] DNA Nanotechnology as a Bridge between Nanomaterial and Nanosystem [Invited] DNA Nanotechnology as a Bridge between Nanomaterial and Nanosystem [Invited] Challenges in Soft Matter Research: From Modeling to Structure and Applications Challenges in Soft Matter Research: From Modeling to Structure and Applications Challenges in Soft Matter Research: From Modeling to Structure and Applications 2013/10/07 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
DNA as an engineering material[Invited] DNA as an engineering material [Invited] DNA as an engineering material [Invited] The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012) The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012) The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012) 2012/07/08 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
DNA nanotechnology to bridge MEMS and nanomaterial[Invited] DNA nanotechnology to bridge MEMS and nanomaterial [Invited] DNA nanotechnology to bridge MEMS and nanomaterial [Invited] The 2nd Int. Guardian Angels Workshop: Sensors, Interfaces and Systems The 2nd Int. Guardian Angels Workshop: Sensors, Interfaces and Systems The 2nd Int. Guardian Angels Workshop: Sensors, Interfaces and Systems 2012/02/03 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Integration of Nanostructure with MEMS[Invited] Integration of Nanostructure with MEMS [Invited] Integration of Nanostructure with MEMS [Invited] The Arab Forum-2011 on Industrial Applications of Nanotechnolgoy The Arab Forum-2011 on Industrial Applications of Nanotechnolgoy The Arab Forum-2011 on Industrial Applications of Nanotechnolgoy 2011/12/27 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
DNA Nanotechnology as a Bridge Between Nanomaterial and Nanosystem[Invited] DNA Nanotechnology as a Bridge Between Nanomaterial and Nanosystem [Invited] DNA Nanotechnology as a Bridge Between Nanomaterial and Nanosystem [Invited] Japan-Taiwan joint workshop on Bioelectronics Japan-Taiwan joint workshop on Bioelectronics Japan-Taiwan joint workshop on Bioelectronics 2011/01/18 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Fabrication Platform for Configurable Nanosystem[Invited] Fabrication Platform for Configurable Nanosystem [Invited] Fabrication Platform for Configurable Nanosystem [Invited] The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009) 2009/10 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Project Based Education on MEMS/Microsystem with International Collaboration[Invited] Project Based Education on MEMS/Microsystem with International Collaboration [Invited] Project Based Education on MEMS/Microsystem with International Collaboration [Invited] 1st Symposium on E-JUST, Curricula Development, Research and Innovation Directions 1st Symposium on E-JUST, Curricula Development, Research and Innovation Directions 1st Symposium on E-JUST, Curricula Development, Research and Innovation Directions 2008/11/25 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
DNA as an Intelligent Adhesive for Self Assembly of Micro/Nano Components[Invited] DNA as an Intelligent Adhesive for Self Assembly of Micro/Nano Components [Invited] DNA as an Intelligent Adhesive for Self Assembly of Micro/Nano Components [Invited] 2nd IEEE Int. Conf. on Nano/Molecular Medicine and Engineering 2nd IEEE Int. Conf. on Nano/Molecular Medicine and Engineering 2nd IEEE Int. Conf. on Nano/Molecular Medicine and Engineering 2008/11/06 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
ナノバイオ材料の自己組織化によるナノ・マイクロシステム構築[Invited] ナノバイオ材料の自己組織化によるナノ・マイクロシステム構築 [Invited] ナノバイオ材料の自己組織化によるナノ・マイクロシステム構築 [Invited] 第4回オルガテクノ2008,オルガテクノビジネステクニカルセミナー 第4回オルガテクノ2008,オルガテクノビジネステクニカルセミナー 2008/10/29 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Micro/Nano assembly as a key to SENS (Synthetic Engineering for Nano Systems)[Invited] Micro/Nano assembly as a key to SENS (Synthetic Engineering for Nano Systems) [Invited] Micro/Nano assembly as a key to SENS (Synthetic Engineering for Nano Systems) [Invited] Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science (PRiME2008) Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science (PRiME2008) Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science (PRiME2008) 2008/10/13 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
MEMSとナノテクノロジーのシームレス融合技術 -実装技術への期待と可能性-[Invited] MEMSとナノテクノロジーのシームレス融合技術 -実装技術への期待と可能性- [Invited] MEMSとナノテクノロジーのシームレス融合技術 -実装技術への期待と可能性- [Invited] エレクトロニクス実装学会MES2008基調講演 エレクトロニクス実装学会MES2008基調講演 エレクトロニクス実装学会MES2008基調講演 2008/09/18 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
MEMS/MS and Assembly as Key Components and Technology for Advanced System[Invited] MEMS/MS and Assembly as Key Components and Technology for Advanced System [Invited] MEMS/MS and Assembly as Key Components and Technology for Advanced System [Invited] The First Japan-Egypt International Symposium on Science and Technology (EJICST 2008) The First Japan-Egypt International Symposium on Science and Technology (EJICST 2008) The First Japan-Egypt International Symposium on Science and Technology (EJICST 2008) 2008/06/08 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Micro/Nano assembly as a key to realize NEMS(2008)[Invited] Micro/Nano assembly as a key to realize NEMS(2008) [Invited] Micro/Nano assembly as a key to realize NEMS(2008) [Invited] FNANO2008 FNANO2008 FNANO2008 2008/04/22 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Particle Assembly as a Key Approach to Realize NEMS[Invited] Particle Assembly as a Key Approach to Realize NEMS [Invited] Particle Assembly as a Key Approach to Realize NEMS [Invited] 17th APHS Seminar 17th APHS Seminar 17th APHS Seminar 2008/04/12 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
MEMS技術の研究開発動向と京都大学におけるMEMS研究・教育[Invited] MEMS技術の研究開発動向と京都大学におけるMEMS研究・教育 [Invited] MEMS技術の研究開発動向と京都大学におけるMEMS研究・教育 [Invited] 兵庫県工業技術センターセミナー 兵庫県工業技術センターセミナー 2008/03/21 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Expectation and Role of International Collaboration[Invited] Expectation and Role of International Collaboration [Invited] Expectation and Role of International Collaboration [Invited] Seminar “Growing innovation: Belgium has a fertile ground soil for fruitful collaboration between academic and industrial worlds.” Seminar “Growing innovation: Belgium has a fertile ground soil for fruitful collaboration between academic and industrial worlds.” Seminar “Growing innovation: Belgium has a fertile ground soil for fruitful collaboration between academic and industrial worlds.” 2008/02/14 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
MEMS技術の最新動向とアセンブル技術[Invited] MEMS技術の最新動向とアセンブル技術 [Invited] MEMS技術の最新動向とアセンブル技術 [Invited] 「半導体テクノロジーセミナーII: 半導体加工とMEMS技術」~高度実装から見るMEMS技術~ 「半導体テクノロジーセミナーII: 半導体加工とMEMS技術」~高度実装から見るMEMS技術~ 2008/01/24 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Micro/Nano assembly as a key technology for NEMS[Invited] Micro/Nano assembly as a key technology for NEMS [Invited] Micro/Nano assembly as a key technology for NEMS [Invited] The 3rd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2008) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2008) The 3rd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2008) Hainan, China Hainan, China 2008/01/07 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Introduction of MEMS Activity at Nano/Micro System Engineering Lab@Kyoto Univ.[Invited] Introduction of MEMS Activity at Nano/Micro System Engineering Lab@Kyoto Univ. [Invited] Introduction of MEMS Activity at Nano/Micro System Engineering Lab@Kyoto Univ. [Invited] BSAC京都シンポジウム2007 BSAC京都シンポジウム2007 2007/12/04 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
MEMS技術の研究開発動向と京都大学におけるMEMS研究・教育[Invited] MEMS技術の研究開発動向と京都大学におけるMEMS研究・教育 [Invited] MEMS技術の研究開発動向と京都大学におけるMEMS研究・教育 [Invited] IEP関西支部見学会・技術講演会 IEP関西支部見学会・技術講演会 IEP関西支部見学会・技術講演会 2007/11/28 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
塵埃の世界 -マイクロエンジニアリングへの誘い-[Invited] 塵埃の世界 -マイクロエンジニアリングへの誘い- [Invited] 塵埃の世界 -マイクロエンジニアリングへの誘い- [Invited] 日本粉体工業技術協会 日本粉体工業技術協会 2007/11/21 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
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Role of University Research for Open Innovations in MNT[Invited] Role of University Research for Open Innovations in MNT [Invited] Role of University Research for Open Innovations in MNT [Invited] The 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2007) The 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2007) The 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2007) 2007/01/16 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Exploiting University Research for Open Innovations in MNT[Invited] Exploiting University Research for Open Innovations in MNT [Invited] Exploiting University Research for Open Innovations in MNT [Invited] GETI Emerging Technology Executive Seminar GETI Emerging Technology Executive Seminar GETI Emerging Technology Executive Seminar 2006/12/07 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
見る・観る・視る・診る・看る -マイクロ・ナノシステムが拓く世界-[Invited] 見る・観る・視る・診る・看る -マイクロ・ナノシステムが拓く世界- [Invited] 見る・観る・視る・診る・看る -マイクロ・ナノシステムが拓く世界- [Invited] 建設技術展2006近畿 建設技術展2006近畿 2006/11/30 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
次世代MEMSのキーテクノロジー[Invited] 次世代MEMSのキーテクノロジー [Invited] 次世代MEMSのキーテクノロジー [Invited] Semiconductor International 日本版 第9 回テクニカルセミナー Semiconductor International 日本版 第9 回テクニカルセミナー Semiconductor International 日本版 第9 回テクニカルセミナー 2006/11/28 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
-ナノ・マイクロシステム工学研究室-ナノシステム実現に向けた統合工学(SENS:Synthetic Engineering for Nano System)の確立を目指して[Invited] -ナノ・マイクロシステム工学研究室-ナノシステム実現に向けた統合工学(SENS:Synthetic Engineering for Nano System)の確立を目指して [Invited] -ナノ・マイクロシステム工学研究室-ナノシステム実現に向けた統合工学(SENS:Synthetic Engineering for Nano System)の確立を目指して [Invited] 2006/10/27 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Computational Three-Dimensional Process Design for MEMS[Invited] Computational Three-Dimensional Process Design for MEMS [Invited] Computational Three-Dimensional Process Design for MEMS [Invited] International Conference on MEMS and Semiconductor Nanotechnology, International Conference on MEMS and Semiconductor Nanotechnology, International Conference on MEMS and Semiconductor Nanotechnology, Kharagpur, India Kharagpur, India 2005/12/20 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Computational 3-D Microfabrication for MEMS and MEMS Research activities at Micro-Nano System Lab.[Invited] Computational 3-D Microfabrication for MEMS and MEMS Research activities at Micro-Nano System Lab. [Invited] Computational 3-D Microfabrication for MEMS and MEMS Research activities at Micro-Nano System Lab. [Invited] Tamkang University 2005 International Nano and MEMES Workshop Tamkang University 2005 International Nano and MEMES Workshop Tamkang University 2005 International Nano and MEMES Workshop 2005/11/23 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
プラスチック製マイクロチップの3次元微細加工技術と今後の課題[Invited] プラスチック製マイクロチップの3次元微細加工技術と今後の課題 [Invited] プラスチック製マイクロチップの3次元微細加工技術と今後の課題 [Invited] プラスチック成型加工学会,第87回講演会 プラスチック成型加工学会,第87回講演会 プラスチック成型加工学会,第87回講演会 2005/10/26 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
X線リソグラフィーマイクロ加工とμTASへの応用[Invited] X線リソグラフィーマイクロ加工とμTASへの応用 [Invited] X線リソグラフィーマイクロ加工とμTASへの応用 [Invited] 日本機械学会2005年度年次大会 日本機械学会2005年度年次大会 日本機械学会2005年度年次大会 2005/09/20 Japanese Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Computational MEMS Process Design and Process Development(2005)[Invited] Computational MEMS Process Design and Process Development(2005) [Invited] Computational MEMS Process Design and Process Development(2005) [Invited] 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials 2005/09/13 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
Computational MEMS Process Design and Development[Invited] Computational MEMS Process Design and Development [Invited] Computational MEMS Process Design and Development [Invited] 15th International Sensors Conference (ISC'04) 15th International Sensors Conference (ISC'04) 15th International Sensors Conference (ISC'04) 2004/11/12 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
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Moving Mask Deep X-ray Lithography for Three Dimensional Microfabrication[Invited] Moving Mask Deep X-ray Lithography for Three Dimensional Microfabrication [Invited] Moving Mask Deep X-ray Lithography for Three Dimensional Microfabrication [Invited] The 5th Asian Synchrotron Radiation Forum The 5th Asian Synchrotron Radiation Forum The 5th Asian Synchrotron Radiation Forum 2004/03/16 English Oral presentation(invited, special) Disclose to all
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Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Self-dependent Equivalent Circuit Modeling of Electrostatic Comb Transducers for Integrated MEMS Self-dependent Equivalent Circuit Modeling of Electrostatic Comb Transducers for Integrated MEMS Self-dependent Equivalent Circuit Modeling of Electrostatic Comb Transducers for Integrated MEMS Springer Springer Springer 2012 English Disclose to all
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Volker Saile, Ulrike Wallrabe, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Volker Saile, Ulrike Wallrabe, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, LIGA and its Applications Advanced Micro and Nanosystems, LIGA and its Applications Advanced Micro and Nanosystems, LIGA and its Applications John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2007/06 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 シンクロトロン放射X線を用いた3次元微細加工とシミュレーション シンクロトロン放射X線を用いた3次元微細加工とシミュレーション シンクロトロン放射X線を用いた3次元微細加工とシミュレーション PLASTICS AGE ENCYCLOPEDIA PLASTICS AGE ENCYCLOPEDIA PLASTICS AGE ENCYCLOPEDIA 2007 Disclose to all
Norbert Kockmann, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Norbert Kockmann, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Norbert Kockmann, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, And ApplicationsAdvanced Micro and Nanosystemand Advanced Micro and Nanosystems, Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, And ApplicationsAdvanced Micro and Nanosystemand Advanced Micro and Nanosystems, Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, And ApplicationsAdvanced Micro and Nanosystemand John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2006/02 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 ナノテク・バイオMEMS時代の分離・計測技術  ナノテク・バイオMEMS時代の分離・計測技術  ナノテク・バイオMEMS時代の分離・計測技術  シーエムシー出版 シーエムシー出版 シーエムシー出版 2006 Contributor Disclose to all
Detlef Lohe, Jurgen Haufselt, Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Detlef Lohe, Jurgen Haufselt, Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Detlef Lohe, Jurgen Haufselt, Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, Microengineering of Metals And Ceramics: Design, Tooling and Injection Molding Advanced Micro and Nanosystems, Microengineering of Metals And Ceramics: Design, Tooling and Injection Molding Advanced Micro and Nanosystems, Microengineering of Metals And Ceramics: Design, Tooling and Injection Molding John Wiley & Sons Inc, John Wiley & Sons Inc, John Wiley & Sons Inc, 2005/10 Disclose to all
Detlef Lohe, Jurgen Haufselt, Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Detlef Lohe, Jurgen Haufselt, Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Detlef Lohe, Jurgen Haufselt, Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, Microengineering of Metals And Ceramics: Special Replication Techniques, Automation And Properties Advanced Micro and Nanosystems, Microengineering of Metals And Ceramics: Special Replication Techniques, Automation And Properties Advanced Micro and Nanosystems, Microengineering of Metals And Ceramics: Special Replication Techniques, Automation And Properties John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2005/09 Disclose to all
Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, CMOS-MEMS, Advanced Micro and Nanosystems, CMOS-MEMS, Advanced Micro and Nanosystems, CMOS-MEMS, John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2005/02 Disclose to all
TABATA Osamu 田畑 修 TABATA Osamu Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data Springer Springer Springer 2005 Contributor Disclose to all
Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, Enabling Technology for Mems and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems, Enabling Technology for Mems and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems, Enabling Technology for Mems and Nanodevices John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2004/08 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 物理計測技術,マイクロ化学チップの技術と応用 物理計測技術,マイクロ化学チップの技術と応用 物理計測技術,マイクロ化学チップの技術と応用 丸善株式会社 丸善株式会社 丸善株式会社 2004 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロマシン技術と応用 マイクロマシン技術と応用 マイクロマシン技術と応用 シーエムシー出版 シーエムシー出版 シーエムシー出版 2003 Contributor Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 イオン工学ハンドブック イオン工学ハンドブック イオン工学ハンドブック 2003 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロマシンと薄膜の機械的物性,21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック マイクロマシンと薄膜の機械的物性,21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック マイクロマシンと薄膜の機械的物性,21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック エヌ・ティー・エス エヌ・ティー・エス エヌ・ティー・エス 2003 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 ナノテクノロジー大辞典 ナノテクノロジー大辞典 ナノテクノロジー大辞典 2003 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 図解ナノテクノロジーの全て 図解ナノテクノロジーの全て 図解ナノテクノロジーの全て 工業調査会 工業調査会 工業調査会 2002 Contributor Disclose to all
TABATA Osamu、SATO Kazuo TABATA Osamu、SATO Kazuo TABATA Osamu、SATO Kazuo Silicon Micromachining Silicon Micromachining Silicon Micromachining シュプリンガーフェアラーク シュプリンガーフェアラーク シュプリンガーフェアラーク 2001 Joint Translation Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 生産技術者のためのキーワード100 機械と工具10月号別冊 生産技術者のためのキーワード100 機械と工具10月号別冊 生産技術者のためのキーワード100 機械と工具10月号別冊 日本工業出版 日本工業出版 日本工業出版 1999 Contributor Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 半導体用語大辞典 半導体用語大辞典 半導体用語大辞典 日刊工業新聞社 日刊工業新聞社 日刊工業新聞社 1999 Contributor Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロオプトメカトロニクスハンドブック マイクロオプトメカトロニクスハンドブック マイクロオプトメカトロニクスハンドブック 朝倉書店 朝倉書店 朝倉書店 1995 Contributor Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 計測制御技術事典 計測制御技術事典 計測制御技術事典 計測自動制御学会 計測自動制御学会 計測自動制御学会 1995 Contributor Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 新・薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック 新・薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック 新・薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック 株式会社エヌ・ティー・エス 株式会社エヌ・ティー・エス 株式会社エヌ・ティー・エス 1994 Contributor Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 先端材料事典,センサー用半導体材料 先端材料事典,センサー用半導体材料 先端材料事典,センサー用半導体材料 産業調査会 産業調査会 産業調査会 1994 Contributor Disclose to all

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Industrial Property Rights (Patent)
Inventor(s) Inventor(s) (Japanese) Inventor(s) (English) Title Title(Japanese) Title(English) Stage Patent number Date Disclose
田畑修,平井義和,辻本和也,藩和宏,水谷夏彦 田畑修,平井義和,辻本和也,藩和宏,水谷夏彦 田畑修,平井義和,辻本和也,藩和宏,水谷夏彦 夏彦,アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル 夏彦,アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル 夏彦,アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル 特許出願 特願2013-039634 2013/02/28 Disclose to all
中嶋和浩,各務克己,田畑修,土屋智由 中嶋和浩,各務克己,田畑修,土屋智由 中嶋和浩,各務克己,田畑修,土屋智由 光スキャナ 光スキャナ 光スキャナ 特許出願 特願2009-04348 2009/09/04 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 塩基配列を用いた部品の組み立て装置及び組み立て方法 塩基配列を用いた部品の組み立て装置及び組み立て方法 塩基配列を用いた部品の組み立て装置及び組み立て方法 特許出願 特願2008-253183 2008/09/30 Disclose to all
各務克己,中村博親,田畑修,土屋智由 各務克己,中村博親,田畑修,土屋智由 各務克己,中村博親,田畑修,土屋智由 光スキャナ 光スキャナ 光スキャナ 特許出願 特願2007-02474 2008/03/06 Disclose to all
長永健一,田畑修 長永健一,田畑修 長永健一,田畑修 弾性波トランスデューサ,弾性波トランスデューサアレイ,超音波探触子,超音波撮像装置 弾性波トランスデューサ,弾性波トランスデューサアレイ,超音波探触子,超音波撮像装置 弾性波トランスデューサ,弾性波トランスデューサアレイ,超音波探触子,超音波撮像装置 特許出願 特願2008-21332 2008 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 光誘起誘電泳動装置 光誘起誘電泳動装置 光誘起誘電泳動装置 特許出願 特願2007-162824 2007/06/20 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 紫外線露光方法,紫外線露光装置,微細構造体の製造方法,及びこれによって製造された微細構造体 紫外線露光方法,紫外線露光装置,微細構造体の製造方法,及びこれによって製造された微細構造体 紫外線露光方法,紫外線露光装置,微細構造体の製造方法,及びこれによって製造された微細構造体 特許出願 特願2005-142859 2005/05/16 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 微粒子アセンブル構造体とそのアセンブル方法 微粒子アセンブル構造体とそのアセンブル方法 微粒子アセンブル構造体とそのアセンブル方法 特許出願 特願2005-114795 2005/04/12 Disclose to all
田村隆正,梅谷誠,田畑修 田村隆正,梅谷誠,田畑修 田村隆正,梅谷誠,田畑修 無反射構造を有する光学素子の製造方法 無反射構造を有する光学素子の製造方法 無反射構造を有する光学素子の製造方法 特許出願 特願2005-8292 2005/01/14 Disclose to all
田村隆正,梅谷誠,田畑修 田村隆正,梅谷誠,田畑修 田村隆正,梅谷誠,田畑修 無反射構造及び無反射構造を有する光学素子,ならびにその製造方法及びその製造方法に用いるマスク 無反射構造及び無反射構造を有する光学素子,ならびにその製造方法及びその製造方法に用いるマスク 無反射構造及び無反射構造を有する光学素子,ならびにその製造方法及びその製造方法に用いるマスク 特許出願 特願2004-361855 2004/12/14 Disclose to all
藤井泰久, 市村直也, 安田徳元, 田畑修 藤井泰久, 市村直也, 安田徳元, 田畑修 藤井泰久, 市村直也, 安田徳元, 田畑修 微生物スクリーニング装置および微生物のスクリーニング方法 微生物スクリーニング装置および微生物のスクリーニング方法 微生物スクリーニング装置および微生物のスクリーニング方法 特許出願 特願2003-378238 2003 Disclose to all
Jun Minakuti, Osamu Tabata and Koji Yamamoto Jun Minakuti, Osamu Tabata and Koji Yamamoto Processing Device and Method of Processing Material with Ultraviolet Light or Light of Shorter Wavelength than Ultraviolet Light Processing Device and Method of Processing Material with Ultraviolet Light or Light of Shorter Wavelength than Ultraviolet Light Processing Device and Method of Processing Material with Ultraviolet Light or Light of Shorter Wavelength than Ultraviolet Light 特許出願 特願USP6694503 Disclose to all
田畑修,中村雄志,藤井泰久,在間弘朗 田畑修,中村雄志,藤井泰久,在間弘朗 田畑修,中村雄志,藤井泰久,在間弘朗 フィルターおよびその製造方法,ならびに該フィルターを有するエマルジョン生成装置 フィルターおよびその製造方法,ならびに該フィルターを有するエマルジョン生成装置 フィルターおよびその製造方法,ならびに該フィルターを有するエマルジョン生成装置 特許出願 特願2004-92417 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 特許出願 特願2004-055700 Disclose to all
柳生裕聖,林茂彦,田畑修 柳生裕聖,林茂彦,田畑修 柳生裕聖,林茂彦,田畑修 パウダーブラスト用積層物及び該積層物を用いたパウダーブラスト加工物の製造方法 パウダーブラスト用積層物及び該積層物を用いたパウダーブラスト加工物の製造方法 パウダーブラスト用積層物及び該積層物を用いたパウダーブラスト加工物の製造方法 特許公開 特開2004-314287 Disclose to all
柳生裕聖,林茂彦,田畑修 柳生裕聖,林茂彦,田畑修 柳生裕聖,林茂彦,田畑修 パウダーブラスト加工物の製造方法 パウダーブラスト加工物の製造方法 パウダーブラスト加工物の製造方法 特許登録 特許2004-299005 Disclose to all
田畑修, 松塚直樹 田畑修, 松塚直樹 田畑修, 松塚直樹 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 特許登録 特許3521205 Disclose to all
田畑修, 白石晴樹,向井嘉奈子,出村民 田畑修, 白石晴樹,向井嘉奈子,出村民 田畑修, 白石晴樹,向井嘉奈子,出村民 微細金属構造体の製造方法 微細金属構造体の製造方法 微細金属構造体の製造方法 特許公開 特開2004-270021 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 X線照射を用いた材料の加工方法および加工装置 X線照射を用いた材料の加工方法および加工装置 X線照射を用いた材料の加工方法および加工装置 特許登録 特許3380878 Disclose to all
大村義輝, 田畑修 大村義輝, 田畑修 大村義輝, 田畑修 振動式加速度センサ 振動式加速度センサ 振動式加速度センサ 特許出願 特願平8-71930 Disclose to all
川村貞夫,田畑修,小西聡 川村貞夫,田畑修,小西聡 川村貞夫,田畑修,小西聡 運動拘束具、及び擬似体験装置 運動拘束具、及び擬似体験装置 運動拘束具、及び擬似体験装置 特許公開 特開2002-186683 Disclose to all
田畑 修 田畑 修 田畑 修 紫外線又は紫外線より波長の短い光を用いた材料の表面加工方法及び表面加工装置、並びにそれらを用いた高分子化合物からなる製品の製造方法及び製造装置 紫外線又は紫外線より波長の短い光を用いた材料の表面加工方法及び表面加工装置、並びにそれらを用いた高分子化合物からなる製品の製造方法及び製造装置 紫外線又は紫外線より波長の短い光を用いた材料の表面加工方法及び表面加工装置、並びにそれらを用いた高分子化合物からなる製品の製造方法及び製造装置 特許登録 特許3697508 Disclose to all
Jun Minakuchi,Koji Yamamoto,Osamu Tabata Jun Minakuchi,Koji Yamamoto,Osamu Tabata Processing Device And Method Of Processing Material With Ultraviolet Light Or Light Of Shorter Wavelength Than Ultraviolet Light Processing Device And Method Of Processing Material With Ultraviolet Light Or Light Of Shorter Wavelength Than Ultraviolet Light Processing Device And Method Of Processing Material With Ultraviolet Light Or Light Of Shorter Wavelength Than Ultraviolet Light 特許出願 特願09/773909 Disclose to all
浮田宏生,田畑修,大上芳文,小西聡 浮田宏生,田畑修,大上芳文,小西聡 浮田宏生,田畑修,大上芳文,小西聡 マイクロ分析チップ,及びその製造方法 マイクロ分析チップ,及びその製造方法 マイクロ分析チップ,及びその製造方法 特許公開 特開2001-252897 Disclose to all
田畑 修,水口 淳 田畑 修,水口 淳 田畑 修,水口 淳 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 特許公開 特開2001-212795 Disclose to all
叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 微小3次元構造を有する構造体の製造方法 微小3次元構造を有する構造体の製造方法 微小3次元構造を有する構造体の製造方法 特許公開 特開2001-38738 Disclose to all
叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 樹脂製部材の接合方法および樹脂製構造体 樹脂製部材の接合方法および樹脂製構造体 樹脂製部材の接合方法および樹脂製構造体 特許公開 特開2001-38811 Disclose to all
田畑修、水口淳、山元廣治 田畑修、水口淳、山元廣治 田畑修、水口淳、山元廣治 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 特許公開 特開2001-215720 Disclose to all

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Title language:
Awards
Title(Japanese) Title(English) Organization name(Japanese) Organization name(English) Date
100 Most Technologically Significant New Products of the YearR&D 100 Award from R&D Magazine for research 1993
社団法人日本ME学会科学新聞・研究奨励賞受賞Science News Award from Biomedical Engineering Society of Japan 1988
社団法人電気学会論文発表賞Presentation Paper Award from the Institute of Electrical Engineers of J 1988
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム最優秀ポスタ賞 2002
立命館大学渡辺三彦発明賞渡辺三彦賞 2004
最優秀論文発表賞 Best Presentation Award 日本電気学会 Institute of Electrical Engineer Japan for research 2014/10/21
100 Most Technologically Significant New Products of the Year, R&D 100 Award from R&D Magazine for research R&D Magazine 1998
External funds: competitive funds and Grants-in-Aid for Scientific Research (Kakenhi)
Type Position Title(Japanese) Title(English) Period
特別研究員奨励費 Representative 新規なMEMSデバイスの創生とその医工学分野への応用に関する研究 -
基盤研究(B) MEMS用シーケンシャル・セルフ・アセンブリ技術の構築 2007-2009
基盤研究(B) プログラマブル・セルフ・アセンブルを用いたMEMSとナノ構造の融合プロセス 2010-2012
基盤研究(B) Representative MEMSとDNA融合プロセスによる光電気複合型ナノポアセンサデバイスの基盤構築 (平成28年度分) 2016/04/01-2017/03/31
External funds: other than those above
System Main person Title(Japanese) Title(English) Period
独立行政法人科学技術振興機構 理事長 沖村憲樹 高性能液体クロマトグラフィー用マイクロ カラムデバイスの開発 -
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ京都 館長 松波弘之 分離機能を傾斜させたHPLC用中空型マイクロカラムの開発 -
(独)科学技術振興機構 戦略的創造事業本部長 分任契約担当者 理事  北澤 宏一 ナノチップ・マイクロチャネル加工に関する研究 -
マイクロ・ナノ加工技術 Fabrication Technology for Micro/Nano System 1996-
マイクロ・ナノシステムの評価・解析技術 Meaurement and Analysis Technology for Micro/Nano System 1996-
マイクロ・ナノシステム統合技術 Synthesis Engineering for Macro/Nano System 1996-
文部科学省 科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業 田畑 修 ナノテクキャリアアップアライアンス (平成26年度分) 2014/04/01-2015/03/31
文部科学省 科学技術人材育成費補助金 田畑 修 ナノテクキャリアアップアライアンス (平成27年度分) 2015/04/01-2016/03/31
二国間交流事業共同研究・セミナー 田畑 修 数値解析とAFM機械物性評価による汎用的DNAナノ構造設計手法の構築 (平成27年度分) 2015/04/01-2016/03/31
二国間交流事業共同研究・セミナー 田畑 修 数値解析とAFM機械物性評価による汎用的DNAナノ構造設計手法の構築 (平成28年度分) 2016/04/01-2017/03/31
科学技術人材育成費補助金 田畑 修 ナノテクキャリアアップアライアンス (平成28年度分) 2016/04/01-2017/03/31

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Teaching subject(s)
Name(Japanese) Name(English) Term Department Period
計測工学 Instrumentation -
マイクロ材料・プロセス工学 Micro Material and Process -
マイクロシステム工学 Micro System Engineering -
微小電気機械創製工学 Implementation of Micro Electro Mechanical System -
インターンシップM(機械工学群) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
マイクロシステム工学 後期 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップDS(機械工学群) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップDL(機械工学群) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
微小電気機械システム創製学 後期 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップM(応用力学) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップDS(応用力学) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップDL(応用力学) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップM(生命・医工) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップD(生命・医工) 通年 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップDS(機械工学群) 前期 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップDS(機械工学群) 後期 工学研究科 2011/04-2012/03
小さな機械(マイクロマシン)の世界を探る Explore the World of Micro Machine 前期 全学共通科目 2011/04-2012/03
マイクロ加工学(機エネ) 前期 工学部 2011/04-2012/03
マイクロプロセス・材料工学 前期 工学研究科 2011/04-2012/03
インターンシップ(機) 後期集中 工学部 2011/04-2012/03
計測学(機エネ原:学番偶数) 前期 工学部 2011/04-2012/03
計測学(機エネ原:学番奇数) 前期 工学部 2011/04-2012/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 前期 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 後期 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2012/04-2013/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップM(生命・医工) Bio-Medical Engineering Internship M 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2012/04-2013/03
小さな機械(マイクロマシン)の世界を探る Explore the World of Micro Machine 前期 全学共通科目 2012/04-2013/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2012/04-2013/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2012/04-2013/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2012/04-2013/03
インターンシップD(生命・医工) Bio-Medical Engineering Internship D 通年 工学研究科 2012/04-2013/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2012/04-2013/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2013/04-2014/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2013/04-2014/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2013/04-2014/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 後期 工学研究科 2013/04-2014/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 後期 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2013/04-2014/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
圧電マイクロデバイス工学 Piezoelectric Microdevice Engineering 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
マイクロ・ナノフォトニクス材料工学 Micro/Nano Photonics Material Engineering 前期 工学研究科 2013/04-2014/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2014/04-2015/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2014/04-2015/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2014/04-2015/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2014/04-2015/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリングセミナーA Seminar on Micro Engineering A 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリングセミナーB Seminar on Micro Engineering B 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング基礎セミナーA Basic Seminar on Micro Engineering A 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング基礎セミナーB Basic Seminar on Micro Engineering B 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第一 Experiments on Micro Engineering, Adv. I 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第一 Experiments on Micro Engineering, Adv. I 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第二 Experiments on Micro Engineering, Adv. II 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第二 Experiments on Micro Engineering, Adv. II 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
研究論文 Master's Thesis 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習A Advanced Exercise in Micro Engineering A 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習B Advanced Exercise in Micro Engineering B 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習C Advanced Exercise in Micro Engineering C 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習D Advanced Exercise in Micro Engineering D 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習E Advanced Exercise in Micro Engineering E 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習F Advanced Exercise in Micro Engineering F 後期 工学研究科 2014/04-2015/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
マイクロ・ナノフォトニクス材料工学 Micro/Nano Photonics Material Engineering 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
機能材料応用デバイス工学 Functional Materials Application Device Engineering 前期 工学研究科 2014/04-2015/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2015/04-2016/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2015/04-2016/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2015/04-2016/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2015/04-2016/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2015/04-2016/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2015/04-2016/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2015/04-2016/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2015/04-2016/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2015/04-2016/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2015/04-2016/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2015/04-2016/03
マイクロ・ナノフォトニクス材料工学 Micro/Nano Photonics Material Engineering 前期 工学研究科 2015/04-2016/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2015/04-2016/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2015/04-2016/03
機能材料応用デバイス工学 Functional Materials Application Device Engineering 前期 工学研究科 2015/04-2016/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2015/04-2016/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2016/04-2017/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学セミナーA Seminar on Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学セミナーB Seminar on Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別実験及び演習第一 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics I 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別実験及び演習第二 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics II 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別演習A Advanced Exercise in Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別演習B Advanced Exercise in Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別演習C Advanced Exercise in Applied Mechanics C 前期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別演習D Advanced Exercise in Applied Mechanics D 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別演習E Advanced Exercise in Applied Mechanics E 前期 工学研究科 2016/04-2017/03
応用力学特別演習F Advanced Exercise in Applied Mechanics F 後期 工学研究科 2016/04-2017/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2016/04-2017/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2016/04-2017/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2016/04-2017/03
研究論文(修士) Master's Thesis 通年 工学研究科 2016/04-2017/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2016/04-2017/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2017/04-2018/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学セミナーA Seminar on Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学セミナーB Seminar on Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別実験及び演習第一 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics I 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別実験及び演習第二 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics II 通年 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別演習A Advanced Exercise in Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別演習B Advanced Exercise in Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別演習C Advanced Exercise in Applied Mechanics C 前期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別演習D Advanced Exercise in Applied Mechanics D 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別演習E Advanced Exercise in Applied Mechanics E 前期 工学研究科 2017/04-2018/03
応用力学特別演習F Advanced Exercise in Applied Mechanics F 後期 工学研究科 2017/04-2018/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 後期集中 工学部 2017/04-2018/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2017/04-2018/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2017/04-2018/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2017/04-2018/03

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School management (title, position)
Title Period
発明評価委員会(ソフトウェア・コンテンツ分野拠点) 委員 2008/04/01-2010/03/31
発明評価委員会(メディカル・バイオ分野拠点) 委員 2010/04/01-2011/03/31
Faculty management (title, position)
Title Period
マイクロエンジニアリング専攻長 2014/04/01-2015/03/31
工学研究科点検・評価委員会 委員 2014/04/01-2015/03/31
工学研究科教育制度委員会 委員 2016/04/01-2018/03/31
Academic organizaions (other)
Organization name(Japanese) Organization name(English) Misc(Japanese) Misc(English) Period
電気学会 「CPD部会」委員 2012/08/10-2015/08/09
一般社団法人 電気学会 技術者教育委員会委員 2012/09/04-2013/09/03
Other activities (public organizations)
Committee(Japanese) Committee(English) Title Organization name Period
研究成果最適展開支援事業 専門委員 独立行政法人科学技術振興機構 2010/06/07-2012/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会 委員 独立行政法人国際協力機構 2011/04/01-2012/03/31
専門調査員 文部科学省 科学技術政策研究所 2011/04/01-2012/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独)国際協力機構 2011/04/01-2012/03/31
特任教員選考部会 委員 国立大学法人名古屋工業大学 2012/01/10-2012/03/30
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会 委員 独立行政法人国際協力機構 2012/04/01-2013/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独)国際協力機構 2012/04/01-2013/03/31
研究成果最適展開支援プログラム 専門委員 独立行政法人科学技術振興機構 2012/04/02-2014/03/31
専門調査員 文部科学省 科学技術政策研究所 2012/05/25-2013/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独立行政法人国際協力機構 2013/04/01-2013/10/12
専門調査員 文部科学省 科学技術政策研究所 2013/04/01-2014/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独立行政法人国際協力機構 2013/10/13-2015/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会 委員 独立行政法人 国際協力機構 2013/10/13-2015/03/31
科学研究費委員会 専門委員 独立行政法人 日本学術振興会 2013/12/01-2014/11/30
研究成果最適展開支援プログラム 専門委員 独立行政法人科学技術振興機構 2014/04/09-2016/03/31
科学研究費委員会 専門委員(基盤研究等第1段審査委員) 独立行政法人 日本学術振興会 2014/12/01-2015/11/30
エジプト日本科学技術大学(E-JUST)プロジェクトフェーズ2国内支援委員会 独立行政法人国際協力機構 2015/04/01-2016/03/31
エジプト日本科学技術大学プロジェクトフェーズ2国内支援委員会・専門部会 独立行政法人国際協力機構 2015/04/01-2016/03/31

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Other activities (private companies, NPOs, etc.)
Company name Activity Period
財団法人 マイクロマシンセンター 評議員 2010/04/01-2012/03/31
財団法人マイクロマシンセンター 調査研究事業委員会委員 2010/05/25-2012/03/31
社団法人新化学技術推進協会 技術顧問(技術指導) 2011/06/28-2012/03/31
公益社団法人新化学技術推進協会 技術顧問(技術指導) 2012/04/01-2013/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 調査研究事業委員会委員 2012/07/02-2014/03/31
公益社団法人新化学技術推進協会 電子情報技術部会 MEMS分科会 技術顧問 2014/04/01-2015/06/30
技術アドバイザー 2015/05/01-2018/04/30