中嶋 薫

最終更新日時: 2015/10/31 22:10:26

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氏名(漢字/フリガナ/アルファベット表記)
中嶋 薫/ナカジマ カオル/Nakajima, Kaoru
所属部署・職名(部局/所属/講座等/職名)
工学研究科/マイクロエンジニアリング専攻ナノサイエンス講座/准教授
学部兼担
部局 所属 講座等 職名
工学部
所属学会(国内)
学会名(日本語) 学会名(英語)
日本物理学会 The Physical Society of Japan
応用物理学会 The Japan Society of Applied Physics
日本表面科学会 The Surface Science Society of Japan
日本真空学会 The Vacuum Society of Japan
原子衝突学会 The Atomic Collision Society of Japan
取得学位
学位名(日本語) 学位名(英語) 大学(日本語) 大学(英語) 取得区分
修士(工学) 京都大学
博士(工学) 京都大学
研究テーマ
(日本語)
高速イオンと表面の相互作用の研究、イオンビームを利用した表面分析法の開発
研究概要
(日本語)
高速イオンが固体に衝突したときに起こる様々な現象を観測することによって、イオンと固体間の相互作用について調べています。また、それらの応用として高分解能RBSを開発するともに、それを用いた材料の分析、開発に取り組んでいます。
研究分野(科研費分類コード)
科研費分類コード
薄膜・表面界面物性
応用物理学一般
論文 > 論文
(文系研究者の一般的な論文集への寄稿や単行本の分担執筆などは「著書等」を参照してください)
著者名 タイトル 書誌情報等 年月 査読の有無 言語
Masataka Nikko, Kaoru Nakajima, Kenji Kimura A compact high-resolution elastic recoil detection system for lithium depth profiling Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,354,240-243 2015/07 英語
T. Kitayama, Y. Morita, K. Nakajima, K. Narumi, Y. Saitoh, M. Matsuda, M. Sataka, M. Tsujimoto, S. Isoda, M. Toulemonde, K. Kimura Formation of ion tracks in amorphous silicon nitride films with MeV C<inf>60</inf> ions Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,356-357,22-27 2015/04 英語
K. Nakajima; M. Miyashita; M. Suzuki; K. Kimura Surface sensitivity of secondary ion mass spectroscopy in the electronic sputtering regime Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2014 英語
K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Highly localized photothermal conversion in two-dimensional Au nanoparticle arrays Journal of Applied Physics,114,7 2013/08/21 英語
K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Photoacoustic emission from Au nanoparticles arrayed on thermal insulation layer Optics Express,21,7,8689-8700 2013/04/08 英語
Y. Morita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; N. Ishikawa; K. Hojou; M. Tsujimoto; S. Isoda; K. Kimura Surface effect on ion track formation in amorphous Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> films Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2013 英語
K. Nakajima; H. Hashimoto; K. Kimura Improvement of sensitivity in high-resolution rutherford backscattering spectroscopy Journal of the Vacuum Society of Japan,56,9,355-359 2013 英語
M. Suzuki; H. Minamitake; R. Kita; K. Hamachi; H. Hara; K. Nakajima; K. Kimura; C.-W. Hsu; L.-J. Chou Growth of nanowires by high-temperature glancing angle deposition Japanese Journal of Applied Physics,52,11 PART 1 2013 英語
K. Nakajima; M. Miyashita; M. Suzuki; K. Kimura Surface structures of binary mixtures of imidazolium-based ionic liquids using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy and time of flight secondary ion mass spectroscopy Journal of Chemical Physics,139,22 2013 英語
M. Suzuki; Y. Kaneko; K. Nakajima; K. Kimura Fabrication of periodic arrays of silicide nanopillars by using self-assembled polystyrene nanosphere template and oblique deposition technique Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics,10,12,1866-1869 2013 英語
K. Nakajima; Y. Morita; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; N. Ishikawa; K. Hojou; M. Tsujimoto; S. Isoda; K. Kimura Direct observation of fine structure in ion tracks in amorphous Si <sub>3</sub>N <sub>4</sub> by TEM Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,291,12-16 2012/11/15 英語
K. Nakajima; S. Oshima; M. Suzuki; K. Kimura Surface structures of equimolar mixtures of imidazolium-based ionic liquids using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Surface Science,606,21-22,1693-1699 2012/11 英語
H. Hashimoto; S. Fujita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Sasakawa; K. Kimura Improvement of sensitivity in high-resolution ERDA Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,273,241-244 2012/02/15 英語
K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Photoacoustic emission from local plasmon resonators nanostructured by glancing angle deposition ECS Transactions,50,6,95-101 2012 英語
Y. Kaneko; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Bottom-up process to fabricate periodic arrays of β-fesi2 nanopillars for photonic applications ECS Transactions,50,6,11-16 2012 英語
K. Sasakawa; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Effect of multiple scattering on high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,285,1-5 2012 英語
K. Sasakawa; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Depth profiling of boron in silicon by high-resolution medium energy elastic recoil detection analysis e-Journal of Surface Science and Nanotechnology,10,655-660 2012 英語
M. Suzuki; K. Hamachi; H. Hara; K. Nakajima; K. Kimura; C.-W. Hsu; L.-J. Chou Vapor-liquid-solid growth of Ge nanowhiskers enhanced by high-temperature glancing angle deposition Applied Physics Letters,99,22 2011/11/28 英語
Y. Morita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; W. Vandervorst; K. Kimura Cluster effect on projected range of 30 keV C <sub>60</sub><sup>+</sup> in silicon Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,269,19,2080-2083 2011/10/01 英語
K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Heat-generating property of a local plasmon resonator under illumination Optics Letters,36,18,3533-3535 2011/09/15 英語
H. Hashimoto; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Sasakawa; K. Kimura Improvement of sensitivity in high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Review of Scientific Instruments,82,6 2011/06 英語
M. Sakata; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Grazing scattering of 1-2 MeV HeH<sup>+</sup> ions from KCl(0 0 1): Effect of surface track potential Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,269,9,795-798 2011/05/01 英語
M. Py; J.-P. Barnes; R. Boujamaa; M. Gros-Jean; K. Nakajima; K. Kimura; C. Roukoss; B. Pelissier; N. Gambacorti Quantitative depth profiling of ultrathin high-k stacks with full spectrum time of flight-secondary ion mass spectrometry Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures,29,3 2011/05 英語
Y. Kaneko; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura; K. Akiyama; K. Harutsugu; H. Wakabayashi; T. Makino Antireflection coatings with FeSi<sub>2</sub> layer: Application to spectrally selective infrared emitter Physics Procedia,11,71-74 2011 英語
K. Nakajima; M. Sakata; M. Suzuki; K. Kimura Direct evidence of the surface track potential Physical Review A - Atomic, Molecular, and Optical Physics,82,2 2010/08/03 英語
K. Nakajima; A. Ohno; H. Hashimoto; M. Suzuki; K. Kimura Observation of surface structure of 1-alkyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethanesulfonyl)imide using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Journal of Chemical Physics,133,4 2010/07/28 英語
K. Kimura; K. Nakajima; T. Conard; W. Vandervorst; A. Bergmaier; G. Dollinger Precise nitrogen depth profiling by high-resolution RBS in combination with angle-resolved XPS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,268,11-12,1960-1963 2010/06 英語
H. Hashimoto; A. Ohno; K. Nakajima; M. Suzuki; H. Tsuji; K. Kimura Surface characterization of imidazolium ionic liquids by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy Surface Science,604,3-4,464-469 2010/02/15 英語
K. Kimura; K. Nakajima; T. Conard; W. Vandervorst; A. Bergmaier; G. Dollinger Analysis of ultra-Thin HfO<sub>2</sub>/SiON/Si(001): Comparison of three different techniques Analytical Sciences,26,2,223-226 2010/02 英語
M. Suzuki; R. Kita; H. Hara; K. Hamachi; K. Nagai; K. Nakajima; K. Kimura Growth of metal nanowhiskers on patterned substrate by high temperature glancing angle deposition Journal of the Electrochemical Society,157,2,K34-K38 2010 英語
M. Suzuki; K. Hamachi; K. Nagai; R. Kita; K. Nakajima; K. Kimura Growth of nanowhiskers of Al, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cu, Ag, and Au by high-temperature glancing angle deposition ECS Transactions,33,9,41-48 2010 英語
K. Sasakawa; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Exit angle dependence of charge-state distribution of backscattered He ions Applied Surface Science,256,4,965-967 2009/11/30 英語
K. Kimura; T. Matsushita; K. Nakajima; M. Suzuki Energy loss and fragmentation of 3 keV C<sub>60</sub><sup>+</sup> ions at grazing scattering from a KCl(0 0 1) Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,267,16,2638-2642 2009/08/15 英語
A. Ohno; H. Hashimoto; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Observation of surface structure of 1-butyl-3-methylimidazolium hexafluorophosphate using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Journal of Chemical Physics,130,20 2009/05/28 英語
K. Nakajima; A. Ohno; M. Suzuki; K. Kimura Surface structure of an ionic liquid with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,267,4,605-609 2009/02 英語
Suzuki, Motofumi; Imai, Yoshikatsu; Tokunaga, Hiroki; Nakajima, Kaoru; Kimura, Kenji; Fukuoka, Takao; Mori, Yasushige Tailoring coupling of light to local plasmons by using Ag nanorods/structured dielectric/mirror sandwiches JOURNAL OF NANOPHOTONICS,3 2009 英語
M. Suzuki; H. Hara; R. Kita; K. Hamachi; K. Nagai; K. Nakajima; K. Kimura Growth of metal nanowhiskers on patterned substrate by high-temperature glancing angle deposition ECS Transactions,25,10,29-39 2009 英語
M. Suzuki; W. Maekita; Y. Wada; K. Nagai; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori Ag nanorod arrays tailored for surface-enhanced Raman imaging in the near-infrared region Nanotechnology,19,26 2008/07/02 英語
K. Nakajima; A. Ohno; M. Suzuki; K. Kimura Observation of molecular ordering at the surface of trimethylpropylammonium bis(trifluoromethanesulfonyl)imide using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Langmuir,24,9,4482-4484 2008/05/06 英語
K. Kimura; K. Nakajima; M. Zhao; H. Nohira; T. Hattori; M. Kobata; E. Ikenaga; J.J. Kim; K. Kobayashi; T. Conard; W. Vandervorst Combination of high-resolution RBS and angle-resolved XPS: Accurate depth profiling of chemical states Surface and Interface Analysis,40,3-4,423-426 2008/03 英語
A. Ohno; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Surface structure of 1-hexyl-3-methyl-imidazolium bis(trifluoromethanesulfonyl)-imide observed by high-resolution rutherford backscattering spectroscopy ECS Transactions,16,49,61-68 2008 英語
K. Nakajima; A. Fujiyoshi; Z. Ming; M. Suzuki; K. Kimura In situ observation of oxygen gettering by titanium overlayer on Hf O2 Si O<sub>2</sub> Si using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Journal of Applied Physics,102,6 2007/09/15 英語
K. Kimura; K. Nakajima; T. Conard; W. Vandervorst Influence of elastic scattering of photoelectrons on angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy Applied Physics Letters,91,10 2007/09/03 英語
T. Matsushita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Energy loss of slow C60 + ions during grazing scattering from a KCl(001) surface Physical Review A - Atomic, Molecular, and Optical Physics,76,3 2007/09 英語
H. Harada; S. Jomori; M. Suzuki; K. Kinoshita; K. Nakajima; K. Kimura Effect of oblique-angle deposition on early stage of Fe-Si growth Thin Solid Films,515,22,8277-8280 2007/08/15 英語
M. Suzuki; K. Kinoshita; S. Jomori; H. Harada; K. Nakajima; K. Kimura Subsurface structures in initial stage of FeSi<sub>2</sub> growth studied by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Thin Solid Films,515,22,8281-8284 2007/08/15 英語
M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori Au nanorod arrays tailored for surface-enhanced raman spectroscopy Analytical Sciences,23,7,829-833 2007/07 英語
M. Suzuki; K. Nagai; S. Kinoshita; K. Nakajima; K. Kimura; T. Okano; K. Sasakawa Morphological evolution of Al whiskers grown by high temperature glancing angle deposition Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films,25,4,1098-1102 2007/07 英語
M. Zhao; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; M. Uematsu; K. Torii; S. Kamiyama; Y. Nara; H. Watanabe; K. Shiraishi; T. Chikyow; K. Yamada Isotopic labeling study of the oxygen diffusion in HfO<sub>2</sub>/SiO <sub>2</sub>/Si Applied Physics Letters,90,13 2007/03/26 英語
S. Tamehiro; T. Matsushita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Neutralization of slow C<sub>60</sub><sup>+</sup> ions in front of KCl(0 0 1) surface Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,256,1,16-20 2007/03 英語
K. Nakajima; S. Yamasaki; M. Suzuki; K. Kimura Secondary ion emission from a KCl(0 0 1) surface by grazing-angle incidence of swift heavy ions Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,256,1,524-527 2007/03 英語
Z. Ming; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; M. Uematsu; K. Torii; S. Kamiyama; Y. Nara; H. Watanabe; K. Shiraishi; T. Chikyow; K. Yamada Interface reaction of high-k gate stack structures observed by high-resolution RBS ECS Transactions,11,4,103-115 2007 英語
M. Suzuki; K. Nagai; S. Kinoshita; K. Nakajima; K. Kimura; T. Okano; K. Sasakawa Vapor phase growth of AI whiskers induced by glancing angle deposition at high temperature Applied Physics Letters,89,13 2006/09/25 英語
W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; B. Brijs Observation of the interfacial layer in HfO<sub>2</sub>(10 nm)/Si by high-resolution RBS in combination with grazing angle sputtering Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,249,238-241 2006/08 英語
S. Hosoi; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Shimizu; S. Fukatsu; K.M. Itoh; M. Uematsu; H. Kageshima; K. Shiraishi Observation of Si emission during thermal oxidation of Si(0 0 1) with high-resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,249,390-393 2006/08 英語
K. Nakajima; R. Imaizumi; M. Suzuki; K. Kimura Accumulation of hydrogen near the interface between ultrathin SiO<sub>2</sub> and Si(0 0 1) under ion irradiation in high-resolution elastic recoil detection Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,249,425-428 2006/08 英語
T. Matsushita; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; A. Agarwal; H.-J. Gossmann; M. Ameen; H. Harima Measurement of the strain in strained-Si/Si<sub>0.79</sub>Ge<sub>0.21</sub> with HRBS/channeling Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,249,432-435 2006/08 英語
B. Brijs; T. Sajavaara; S. Giangrandi; T. Janssens; T. Conard; K. Arstila; K. Nakajima; K. Kimura; A. Bergmaier; G. Dollinger; A. Vantomme; W. Vandervorst The analysis of a thin SiO<sub>2</sub>/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>/SiO<sub>2</sub> stack: A comparative study of low-energy heavy ion elastic recoil detection, high-resolution Rutherford backscattering and secondary ion mass spectrometry Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,249,847-850 2006/08 英語
K. Nakajima; A. Nakamoto; M. Suzuki; K. Kimura Convoy electrons emitted by 2-MeV He<sup>+</sup> ions at grazing incidence on KCl(0 0 1) Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,248,1,21-24 2006/07 英語
M. Suzuki; W. Maekita; Y. Wada; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori In-line aligned and bottom-up Ag nanorods for surface-enhanced Raman spectroscopy Applied Physics Letters,88,20 2006/05/15 英語
Z. Ming; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; M. Uematsu; K. Torii; S. Kamiyama; Y. Nara; K. Yamada Si emission from the SiO<sub>2</sub>/Si interface during the growth of SiO<sub>2</sub> in the HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si structure Applied Physics Letters,88,15 2006/04/10 英語
K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; M. Yamamoto; A. Teramoto; T. Ohmi; T. Hattori Lattice distortion at SiO<sub>2</sub>/Si(001) interface studied with high-resolution rutherford backscattering spectroscopy/channeling Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers,45,4A,2467-2469 2006/04 英語
H. Nohira; T. Yoshida; H. Okamoto; S. Shinagawa; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; N.J. Aun; Y. Kobayashi; S. Ohmi; H. Iwai; E. Ikenaga; Y. Takata; K. Kobayashi; T. Hattori Thermal stability of Gd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Si(100) interfacial transition layer Journal De Physique. IV : JP,132,273-277 2006/03 英語
T. Hattori; H. Nohira; K. Azuma; K.W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Sugita; E. Ikenaga; K. Kobayashi; Y. Takata; H. Kondo; S. Zaima Study of the gate insulator/silicon interface utilizing soft and hard X-ray photoelectron spectroscopy at Spring-8 International Journal of High Speed Electronics and Systems,16,1,353-364 2006 英語
H. Tsuji; N. Arai; H. Nakatsuka; N. Gotoh; T. Minotani; K. Kojima; K. Kimura; K. Nakajima; T. Okumine; K. Adachi; H. Kotaki; Y. Gotoh; J. Ishikawa Diffusion measurement of silver atoms implanted into thermally grown oxide thin film on silicon substrate by high-resolution RBS and mono-layered silver nanoparticle formation by using diffusion barrier Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan,49,6,386-389 2006 日本語
T. Hattori; K. Kakushima; K. Nakajima; H. Nohira; K. Kimura; H. Iwai Angle-resolved photoelectron spectroscopy study on gate insulators ECS Transactions,2,1,275-286 2006 英語
T. Matsushita; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; A. Agarwal; H.-J. Gossmann; M. Ameen Radiation damage induced by 5 keV Si<sup>+</sup> ion implantation in strained-Si/Si<sub>0.8</sub>Ge<sub>0.2</sub> Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,230,230-233 2005/04 英語
T. Tsujioka; S. Tanaka; A. Nakamoto; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Neutralization rate for slow Ar<sup>+</sup> ions in front of KCl(0 0 1) Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,230,369-372 2005/04 英語
M. Suzuki; W. Maekita; K. Kishimoto; S. Teramura; K. Nakajima; K. Kimura; Y. Taga Direct formation of arrays of prolate Ag nanoparticles by dynamic oblique deposition Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters,44,1-7,L193-L195 2005 英語
M. Suzuki; Y. Wada; W. Maekita; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori Physically self-assembled Ag nanorod arrays for tunable plasmonic sensors e-Journal of Surface Science and Nanotechnology,3 2005 英語
S. Joumori; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Nishikawa; D. Matsushita; T. Yamaguchi; N. Satou Structure of ultrathin epitaxial CeO<sub>2</sub> films grown on Si(111) Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers,43,11B,7881-7883 2004/11 英語
H. Nohira; T. Kuroiwa; M. Nakamura; Y. Hirose; J. Mitsui; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; K. Sawano; K. Nakagawa; Y. Shiraki; T. Hattori Quality of SiO<sub>2</sub> and of SiGe formed by oxidation of Si/Si <sub>0.7</sub>Ge<sub>0.3</sub> heterostructure using atomic oxygen at 400 °C Applied Surface Science,237,1-4,134-138 2004/10/15 英語
K. Nakajima; S. Joumori; M. Suzuki; K. Kimura; T. Osipowicz; K.L. Tok; J.Z. Zheng; A. See; B.C. Zhang Characterization of HfO<sub>2</sub>/Si(0 0 1) interface with high-resolution rutherford backscattering spectroscopy Applied Surface Science,237,1-4,416-420 2004/10/15 英語
K. Kinoshita; R. Imaizumi; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Formation of iron silicide on Si(001) studied by high resolution Rutherford backscattering spectroscopy Thin Solid Films,461,1,131-135 2004/08/02 英語
K. Kimura; T. Tsujioka; S. Tanaka; A. Nakamoto; K. Nakajima; M. Suzuki Auger neutralization rate for slow Ar<sup>+</sup> ions in front of KCl(001) Physical Review A - Atomic, Molecular, and Optical Physics,70,2 2004/08 英語
H. Nohira; T. Shiraishi; K. Takahashi; T. Hattori; I. Kashiwagi; C. Ohshima; S. Ohmi; H. Iwai; S. Joumori; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Atomic-scale depth profiling of composition, chemical structure and electronic band structure of La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Si(1 0 0) interfacial transition layer Applied Surface Science,234,1-4,493-496 2004/07/15 英語
K. Kimura; S. Joumori; Y. Oota; K. Nakajima; M. Suzuki High-resolution RBS: A powerful tool for atomic level characterization Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,219,351-357 2004/06 英語
W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Use of grazing angle sputtering for improving depth resolution in high resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,219,369-372 2004/06 英語
K. Nakajima; Y. Okura; M. Suzuki; K. Kimura Charge-state distribution of 400 keV He ions scattered from solid surfaces Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,219,514-518 2004/06 英語
T. Hattori; T. Yoshida; T. Shiraishi; K. Takahashi; H. Nohira; S. Joumori; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; I. Kashiwagi; C. Ohshima; S. Ohmi; H. Iwai Composition, chemical structure, and electronic band structure of rare earth oxide/Si(1 0 0) interfacial transition layer Microelectronic Engineering,72,1-4,283-287 2004/04 英語
K. Kimura; S. Usui; T. Tsujioka; S. Tanaka; K. Nakajima; M. Suzuki Effects of surface track potential on secondary electron emission and surface stopping power Vacuum,73,1,59-63 2004/03/08 英語
K. Kimura; Y. Oota; K. Nakajima; M. Suzuki; T. Aoki; J. Matsuo; A. Agarwal; B. Freer; A. Stevenson; M. Ameen Molecular effect on projected range in ultralow-energy ion implantation Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,211,2,206-210 2003/10 英語
K. Nakajima; S. Joumori; M. Suzuki; K. Kimura; T. Osipowicz; K.L. Tok; J.Z. Zheng; A. See; B.C. Zhang Strain profiling of HfO<sub>2</sub>/Si(001) interface with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Applied Physics Letters,83,2,296-298 2003/07/14 英語
K. Kimura; K. Nakajima Compositional transition layer in SiO<sub>2</sub>/Si interface observed by high-resolution RBS Applied Surface Science,216,1-4,283-286 2003/06/30 英語
K. Nakajima; M. Nakamura; T. Tsujioka; K. Kimura Energy loss of 15-keV Ar<sup>q+</sup> (q = 1-3) ions reflected from a KCl(0 0 1) surface Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,205,705-708 2003/05 英語
K. Kimura; Y. Oota; K. Nakajima; T.H. Büyüklimanli High-resolution depth profiling of ultrashallow boron implants in silicon using high-resolution RBS Current Applied Physics,3,1,9-11 2003/02 英語
K. Kimura; K. Nakajima; H. Kobayashi; S. Miwa; K. Satori SIMS and high-resolution RBS analysis of ultrathin SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub> films Applied Surface Science,203,418-422 2003/01/15 英語
K. Kimura; S. Usui; K. Maeda; K. Nakajima Ion scattering on crystalline surfaces: Effects of surface track potential on secondary electron emission Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,193,661-666 2002/06 英語
K. Kimura; K. Nakajima; H. Kobayashi; S. Miwa; K. Satori Release of nitrogen from SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub> films during RBS measurement Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,190,423-427 2002/05 英語
B. Brijs; C. Huyghebaert; S. Nauwelaerts; M. Caymax; W. Vandervorst; K. Nakajima; K. Kimura; A. Bergmaier; G. Döllinger; W.N. Lennard; G. Terwagne; A. Vantomme Advanced characterization of high-k materials: A nuclear approach Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,190,505-509 2002/05 英語
K. Nakajima; N. Hosaka; T. Hattori; K. Kimura Surface segregation of Ge during Si growth on Ge/Si(0 0 1) at low temperature observed by high-resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,190,587-591 2002/05 英語
K. Kimura; K. Nakajima; S. Yamanaka; M. Hasegawa; H. Okushi Hydrogen analysis of CVD homoepitaxial diamond films by high-resolution elastic recoil detection Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,190,689-692 2002/05 英語
K. Kimura; K. Nakajima; Y. Okazaki Oxidation of Si(0 0 1) observed by high-resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,183,1-2,166-170 2001/07 英語
K. Nakajima; K. Kimura; A. Kurokawa; S. Ichimura; H. Fukuda Nitrogen profile in SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub> prepared by thermal nitridation of ozone oxide Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers,40,6A,4011-4012 2001/06 英語
K. Nakajima; H. Toyofuku; K. Kimura Anomalous surface amorphization of Si(001) induced by 3-5 keV Ar<sup>+</sup> ion bombardment Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers,40,4A,2119-2122 2001/04 英語
K. Kimura; K. Nakajima; S. Yamanaka; M. Hasegawa; H. Okushi Hydrogen depth-profiling in chemical-vapor-deposited diamond films by high-resolution elastic recoil detection Applied Physics Letters,78,12,1679-1681 2001/03/19 英語
Nakajima, K; Okazaki, Y; Kimura, K Initial oxidation process on Si(001) studied by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy PHYSICAL REVIEW B,63,11 2001/03/15 英語
K. Nakajima; Y. Okazaki; K. Kimura Initial oxidation process on Si(001) studied by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics,63,11,1133141-1133144 2001 英語
Kimura, K; Usui, S; Nakajima, K Secondary-electron emission by 0.5-MeV/u H, He, and Li ions specularly reflected from a SnTe(001) surface: Possibility of the surface track potential reducing the secondary-electron yield at a semiconductor surface PHYSICAL REVIEW A,62,6 2000/12 英語
K. Nakajima; Y. Okazaki; K. Kimura Oxidation of Si(001) surfaces studied by high-resolution rutherford backscattering spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers,39,7B,4481-4482 2000/07 英語
K. Kimura; K. Nakajima; Y. Okazaki; H. Kobayashi; S. Miwa; K. Satori Nitrogen depth profiling in ultrathin silicon oxynitride films with high-resolution rutherford backscattering spectroscopy Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers,39,7B,4663-4665 2000/07 英語
K. Nakajima; S. Sonobe; K. Kimura Stopping power of a KCl(0 0 1) surface for low energy Ne atoms Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,164,553-558 2000/04 英語
K. Kimura; G. Andou; K. Nakajima Surface-plasmon-assisted secondary-electron emission from an atomically flat LiF(001) surface Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,164,933-937 2000/04 英語
B. Brijs; J. Deleu; T. Conard; H. De Witte; W. Vandervorst; K. Nakajima; K. Kimura; I. Genchev; A. Bergmaier; L. Goergens; P. Neumaier; G. Dollinger; M. Döbeli Characterization of ultra thin oxynitrides: a general approach Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,161,429-434 2000/03 英語
K. Nakajima; A. Konishi; K. Kimura Intermixing at Ge/Si(0 0 1) interfaces studied by high-resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,161,452-456 2000/03 英語
G. Andou; K. Nakajima; K. Kimura Secondary electron emission from surface channeled protons at a KCl(0 0 1) surface Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,160,1,16-20 2000/01 英語
Kimura, K; Ooki, S; Andou, G; Nakajima, K Secondary-electron emission by MeV He ions reflected from a SnTe(001) surface: Separation of above- and below-surface processes PHYSICAL REVIEW A,61,1,art. no.-012901 2000/01 英語
K. Kimura; S. Usui; K. Nakajima Secondary-electron emission by 0.5-MeV/u H, He, and Li ions specularly reflected from a SnTe(001) surface: Possibility of the surface track potential reducing the secondary-electron yield at a semiconductor surface Physical Review A - Atomic, Molecular, and Optical Physics,62,6,062902-062901 2000 英語
K. Nakajima; A. Konishi; K. Kimura Direct observation of intermixing at Ge/Si(001) interfaces by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Physical Review Letters,83,9,1802-1805 1999 英語
K. Kimura; A. Agarwal; H. Toyofuku; K. Nakajima; H.-J. Gossmann Amorphization of Si(0 0 1) by ultra low energy (0.5-5 keV) ion implantation observed with high-resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,148,1-4,284-288 1999 英語
K. Kimura; A. Fukui; K. Nakajima; M.-H. Mannami Preparation of smooth Si(0 0 1) surfaces by glancing angle sputtering Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,148,1-4,149-153 1999 英語
K. Nakajima; Y. Fukusumi; K. Kimura; M.-H. Mannami; M. Yamamoto; S. Naito Position-dependent stopping power of low velocity rare gas atoms at a SnTe(0 0 1) surface Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,149,1-2,31-37 1999 英語
K. Kimura; S. Ooki; G. Andou; K. Nakajima; M.-H. Mannami Secondary-electron emission from specularly reflected MeV protons Physical Review A - Atomic, Molecular, and Optical Physics,58,2,1282-1286 1998 英語
A. Ohtake; L.-H. Kuo; K. Kimura; S. Miwa; T. Yasuda; C. Jin; T. Yao; K. Nakajima; K. Kimura Defect generation in layer-by-layer-grown ZnSe films on Te-terminated GaAs(001) surfaces Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics,57,3,1410-1413 1998 英語
K. Kimura; K. Nakajima; M.-H. Mannami Some applications of high-resolution RBS and ERD using a magnetic spectrometer Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,136-138,1196-1202 1998 英語
K. Kimura; K. Nakajima; H. Imura Hydrogen depth profiling with sub-nm resolution in high-resolution ERD Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,140,3-4,397-401 1998 英語
K. Narumi; K. Nakajima; K. Kimura; M.-H. Mannami; Y. Saitoh; S. Yamamoto; Y. Aoki; H. Naramoto Energy losses of MeV B clusters in solids Materials Chemistry and Physics,54,1-3,229-233 1998 英語
K. Narumi; K. Nakajima; K. Kimura; M.-H. Mannami; Y. Saitoh; S. Yamamoto; Y. Aoki; H. Naramoto Energy losses of B clusters transmitted through carbon foils Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,135,1-4,77-81 1998 英語
K. Nakajima; K. Kimura; M. Mannami The (111) surface of PbTe observed by high-resolution RBS Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,135,1-4,350-354 1998 英語
K. Kimura; G. Andou; K. Nakajima Enhancement of the secondary-electron production process in front of insulator surfaces Physical Review Letters,81,24,5438-5441 1998 英語
T. Yao; F. Lu; M.W. Cho; K.W. Koh; Z. Zhu; L.H. Kuo; T. Yasuda; A. Ohtake; S. Miwa; K. Kimura; K. Nakajima; K. Kimura Heterovalent ZnSe/GaAs interfaces Physica Status Solidi (B) Basic Research,202,2,657-668 1997 英語
A. Ohtake; L.H. Kuo; T. Yasuda; K. Kimura; S. Miwa; T. Yao; K. Nakajima; K. Kimura Growth mode and defect generation in ZnSe heteroepitaxy on Te-terminated GaAs(001) surfaces Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures,15,4,1254-1259 1997 英語
K. Kimura; K. Ohshima; K. Nakajima; Y. Fujii; M. Mannami; H.-J. Gossmann Monolayer resolution in Rutherford backscattering spectroscopy Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B,99,1-4,472-475 1995 英語
K. Kimura; K. Nakajima; Y. Fujii; M.-h. Mannami Observation of the PbSe(111) surface using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy Surface Science,318,3,363-367 1994 英語
Y. Fujii; K. Nakajima; K. Narumi; K. Kimura; M. Mannami Layer-by-layer growth of PbSe studied by glancing angle scattering of 500-keV protons Surface Science,318,3,L1225-L1229 1994 英語

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論文 > 国内学会
(文系研究者の一般的な論文集への寄稿や単行本の分担執筆などは「著書等」を参照してください)
著者名 タイトル 書誌情報等 年月 査読の有無 言語
中嶋 薫, 趙 明, 鈴木 基史, 木村 健二, 植松 真司, 鳥居 和功, 神山 聡, 奈良 安雄, 山田 啓作, 舘 喜一, 角嶋 邦之, 岩井 洋 シリコンとhigh-kゲート絶縁膜の界面の高分解能RBS/ERD分析(<特集>シリコン関連材料の作製と評価) 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス,106,417,31-36 2006/12 日本語
趙 明, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 植松 真司, 鳥居 和功, 神山 聡, 奈良 安雄, 山田 啓作 酸素雰囲気アニール中のHfO_2/SiO_2/Si(001)界面反応の高分解能RBS観察(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術) 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス,106,108,99-102 2006/06 日本語
中嶋 薫, 羽野 仁彦, 鈴木 基史, 木村 健二 高分解能RBS/channelingを用いたSiO_2/Si(001)の界面分析(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術) 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス,103,149,19-23 2003/06 日本語
野平 博司, 白石 貴義, 高橋 健介, 柏木 郁未, 大島 千鶴, 大見 俊一郎, 岩井 洋, 城森 慎司, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 服部 健雄 極薄希土類酸化膜/Si(100)界面構造(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術) 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス,103,149,25-29 2003/06 日本語

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学会発表等 > 学会発表等
(文系研究者の一般的な学会報告の業績は「講演等」を参照してください)
著者名 タイトル 書誌情報等 年月 査読の有無 言語
Y. Kaneko; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Manipulations of thermal emission by β-FeSi<sub>2</sub> thin films and nanostructures Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,8465 2012 英語
KANEKO Yasuyuki;SUZUKI Motofumi;NAKAJIMA Kaoru;KIMURA Kenji Manipulations of thermal emission by .BETA.-FeSi2 thin films and nanostructures Proc SPIE,8465,846516.1-846516.6 2012 英語
Namura, Kyoko; Suzuki, Motofumi; Nakajima, Kaoru; Kimura, Kenji Spatiotemporal-photothermal and photoacoustic conversions with local plasmon resonators NANOSTRUCTURED THIN FILMS IV,8104, pp. 810406-810406 2011 英語
K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Spatiotemporal-photothermal and photoacoustic conversions with local plasmon resonators Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,8104 2011 英語
K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura Secondary ion emission from a KCl(001) surface by grazing-angle incidence of swift ions Journal of Physics: Conference Series,163 2009 英語
K. Hamachi; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Effect of the surface nanomorphology on the growth of Al whiskers formed by glancing angle deposition on a high temperature substrate Materials Research Society Symposium Proceedings,1059,101-106 2008 英語
M. Suzuki; K. Hamachi; R. Kita; K. Nagai; K. Nakajima; K. Kimura Metal nanowhiskers synthesized by high-temperature glancing angle deposition Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,7041 2008 英語
M. Suzuki; Y. Imai; H. Tokunaga; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori Tailoring coupling of light to local plasmons by using Ag nanorods/dielectric layer/mirror sandwich structures Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,7041 2008 英語
M. Suzuki; W. Maekita; Y. Wada; S. Li; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori Plasmonic nanocoatings tailored for surface-enhanced Raman imaging in near-infrared region Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,6647 2007 英語
S. Li; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori An approach to self-cleaning SERS sensors by arraying Au nanorods on TiO<sub>2</sub> layer Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,6647 2007 英語
M. Zhao; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; M. Uematsu; K. Torii; S. Kamiyama; Y. Nara; H. Watanabe; K. Shiraishi; T. Chikyow; K. Yamada Oxidation process of HfO <sub>2</sub>/SiO <sub>2</sub>/Si structures observed by high-resolution RBS ICSICT-2006: 2006 8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Proceedings,392-396 2007 英語
K. Kimura; Z. Ming; K. Nakajima; M. Suzuki High-resolution rutherford backscattering spectroscopy for Nano-CMOS applications 2006 International Workshop on Nano CMOS - Proceedings, IWNC,89-109 2006 英語
M. Suzuki; W. Maekita; Y. Wada; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori Surface enhanced raman scattering on physically self-assembled Ag nanorod arrays Materials Research Society Symposium Proceedings,900,217-222 2005 英語
S. Jomori; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura Suppression of reaction between Si substrate and obliquely deposited Fe atoms Materials Research Society Symposium Proceedings,849,127-132 2005 英語
W. Maekita; M. Suzuki; K. Kishimoto; K. Nakajima; K. Kimura Dichroism of thin films containing aligned Ag nanoparticles prepared by multi-source dynamic oblique deposition Materials Research Society Symposium Proceedings,849,167-172 2005 英語
M. Suzuki; K. Kishimoto; W. Maekita; K. Nakajima; K. Kimura Photocatalysis of columnar TiO<sub>2</sub> thin films Materials Research Society Symposium Proceedings,849,121-126 2005 英語
B. Brijs; H. Bender; C. Huyghebaert; T. Janssens; W. Vandervorst; K. Nakajima; K. Kimura; A. Bergmaier; G. Dollinger; J.A. Van den Berg Recent developments in nuclear methods in support of semiconductor characterization Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,5133,50-62 2003 英語
Matty Caymax; Roger Loo; Bert Brijs; Wilfried Vandervorst; David J. Howard; Kenji Kimura; Kaoru Nakajima Comparative growth kinetics of SiGe in a commercial reduced pressure chemical vapour deposition EPI reactor and anomalies during growth of thin Si layers on SiGe Materials Research Society Symposium - Proceedings,533,339-344 1998 英語

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学会発表等 > 国内学会
(文系研究者の一般的な学会報告の業績は「講演等」を参照してください)
著者名 タイトル 書誌情報等 年月 査読の有無 言語
伊東孝将, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 雰囲気ガスによる表面拡散の制御法の開発と明瞭なAgナノコラム形成への応用 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),62nd,ROMBUNNO.11P-D9-3 2015/02 日本語
柴山茂久, 柴山茂久, 中嶋薫, 坂下満男, 中塚理, 木村健二, 財満鎭明, 財満鎭明 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Ge構造に対する熱酸化にともなうGe表面からのGe原子放出過程 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),62nd,ROMBUNNO.14A-A24-5 2015/02 日本語
西浦健介, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 半導体ナノコラム膜の太陽光選択吸収特性に対する形態効果 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,58th,468-469 2014/10 日本語
名村今日子, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 金ナノ粒子の光熱変換によるマイクロ流体駆動 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,58th,454 2014/10 日本語
伊東孝将, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 斜め蒸着による金属ナノコラムの成長に与える雰囲気ガスの影響 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,58th,228-229 2014/10 日本語
中嶋 薫, 丸毛 智矢, 永野 賢悟, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一 7pAZ-3 高速C_<60^+>イオン透過によるSiN薄膜上のアミノ酸の前方二次イオン放出II(7pAZ 放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線)) 日本物理学会講演概要集,69,2 2014/08 日本語
北山 巧, 森田 陽亮, 中嶋 薫, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一, 松田 誠, 左高 正雄, 木村 健二 7pAZ-6 C_<60>イオン照射による非晶質SiNのスパッタリング(7pAZ 放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線)) 日本物理学会講演概要集,69,2 2014/08 日本語
菅沼真太, 兼子泰幸, 名村今日子, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 周期的な非稠密円柱配列構造のボトムアップ形成 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),61st,ROMBUNNO.19P-D6-12 2014/03 日本語
栗山頌平, 高垣宗寛, 名村今日子, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 斜め蒸着膜により高感度化された光導波路センサー 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),61st,ROMBUNNO.19P-E17-11 2014/03 日本語
北山 巧, 森田 陽亮, 中嶋 薫, 鈴木 基文, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一, 松田 誠, 左高 正雄, 辻本 将彦, 磯田 正二 28aCH-6 540keV C_<60>^<2+>照射による非晶質SiNのスパッタリング(28aCH 放射線物理(放射線計測・2次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線)) 日本物理学会講演概要集,69,1 2014/03 日本語
永野 賢悟, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一 28aCH-5 高速C_<60>^+イオン透過によるSiN薄膜上のアミノ酸の前方二次イオン放出(28aCH 放射線物理(放射線計測・2次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線)) 日本物理学会講演概要集,69,1 2014/03 日本語
菅沼真太, 兼子泰幸, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 斜め蒸着による周期的な非稠密円柱配列の作製 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,57th,37-38 2013/11 日本語
栗山頌平, 高垣宗寛, 中嶋薫, 木村健二, 鈴木基史 斜め蒸着膜を用いた光導波路センサーの開発 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,57th,48-49 2013/11 日本語
名村今日子, LI Shu‐Yi, GRANQVIST Claes G., 斉藤光, 倉田博基, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 SiO<sub>2</sub>コラム上のバナジウム酸化物ナノワイヤの成長 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),74th,ROMBUNNO.18P-C11-14 2013/08 日本語
永野 賢悟, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一 26aBC-3 MeV領域のCu^<4+>とC_<60>+イオンの透過によるSiN薄膜上のアミノ酸の前方2次イオン放出(放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,68,2 2013/08 日本語
土田 秀次, 中嶋 薫, 横江 潤也, 杉山 元彦, 太田 優史, 間嶋 拓也, 柴田 裕実, 冨田 成夫, 笹 公和, 平田 浩一, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一, 千葉 敦也, 山田 圭介, 的場 史郎, 木村 健二, 伊藤 秋男 26pBC-4 高速分子イオンのナノキャピラリー透過におけるウェイク効果(融合セッション(原子・分子・キャピラリー),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,68,2 2013/08 日本語
中嶋 薫, 森田 陽亮, 北山 巧, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一, 辻本 将彦, 磯田 正二 26aBC-8 C_<60>イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性(放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,68,2 2013/08 日本語
森田 陽亮, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一, 辻本 政彦, 磯田 正二 27pEG-5 非晶質Si_3N_4薄膜中のイオントラックのHAADF-STEM観察(27pEG 放射線物理(放射線損傷・阻止能・二次電子放出・クラスター),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,68,1 2013/03 日本語
宮下基希, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 イオン液体混合物の表面組成分析 真空に関する連合講演会講演予稿集,53rd,36 2012/11 日本語
南竹春彦, 鈴木基史, 原英貴, 中嶋薫, 木村健二, HSU Chia‐Wei, CHOU Li‐Jen 高温斜め蒸着法によるGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ナノワイヤの成長 真空に関する連合講演会講演予稿集,53rd,112 2012/11 日本語
南竹春彦, 鈴木基史, 原英貴, 中嶋薫, 木村健二, HSU C.‐W., CHOU L.‐J. 高温斜め蒸着法によるGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ナノワイヤの成長におけるO<sub>2</sub>分子流の影響 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,56th,343-344 2012/10 日本語
高垣宗寛, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 斜め蒸着膜を用いた高感度導波路センサ 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,56th,378-379 2012/10 日本語
鳴海 一雅, 楢本 洋, 山田 圭介, 千葉 敦也, 斎藤 勇一, 森田 陽亮, 中嶋 薫, 木村 健二, 前田 佳均 24aAB-6 10-540 keV C_<60>イオンを照射したSi中の照射損傷に対するクラスター効果(24aAB 放射線物理(クラスター・微粒子),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,67,1 2012/03 日本語
森田 陽亮, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 斎藤 勇一, 辻本 政彦, 磯田 正二 24aAB-7 数百keV C_<60>イオン照射によって形成された非晶質Si_3N_4薄膜中のイオントラックのTEM観察(24aAB 放射線物理(クラスター・微粒子),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,67,1 2012/03 日本語
兼子泰幸, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 ふく射制御のためのFeSi<sub>2</sub>コラム周期配列のボトムアップ形成―II 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),59th,ROMBUNNO.16P-E1-1 2012/02 日本語
名村今日子, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 金ナノ粒子からの光音響放出の干渉による制御 真空に関する連合講演会講演予稿集,52nd,120 2011/11 日本語
兼子泰幸, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 ポリスチレンナノ球への斜め堆積による円柱配列の作製 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,55th,335-336 2011/10 日本語
名村今日子, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 自己組織的に配列した金ナノ粒子からの高効率光音響放出 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,55th,327-328 2011/10 日本語
南竹春彦, 鈴木基文, 原英貴, 中嶋薫, 木村健二, CHOU L.‐J. 高温斜め蒸着法によるGa‐Oナノワイヤの成長 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,55th,329-330 2011/10 日本語
兼子泰幸, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 ふく射制御のためのFeSi<sub>2</sub>コラム周期配列のボトムアップ形成 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM),72nd,ROMBUNNO.1P-W-10 2011/08 日本語
橋元弘貴, 藤田頌, 中嶋薫, 鈴木基史, 笹川薫, 木村健二 高分解能RBS/ERDAにおける検出感度の向上 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM),72nd,ROMBUNNO.1A-A-9 2011/08 日本語
藤田頌, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, KOELLING Sebastian, VANDERVORST Wilfried シリコンにプラズマドープしたホウ素の深さ分布の測定:アトムプローブと高分解能RBS法の比較 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM),72nd,ROMBUNNO.1P-J-2 2011/08 日本語
鈴木基史, 喜多僚, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着によるナノウィスカ成長のモンテカルロシミュレーション 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM),72nd,ROMBUNNO.30P-D-10 2011/08 日本語
大島 伸一, 宮下 基希, 大野 敦史, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 24aGD-8 高分解能RBSによるイオン液体2元混合物の表面組成分析(24aGD 液体金属,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波)) 日本物理学会講演概要集,66,2 2011/08 日本語
森田 陽亮, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 齋藤 勇一 21pEB-10 30keVC_<60^+>イオンのSi中での振る舞いに対するクラスター効果(21pEB 放射線物理(クラスター・微粒子),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,66,2 2011/08 日本語
笹川薫, 牟礼祥一, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能反跳散乱分析法による極浅イオン注入ボロンの分析 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),58th,ROMBUNNO.25A-KX-8 2011/03 日本語
鈴木基史, 喜多僚, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着による金属ナノウィスカの成長モデリング 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),58th,ROMBUNNO.26P-BA-14 2011/03 日本語
橋元弘貴, 藤田頌, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBS/ERDAの検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),58th,ROMBUNNO.25A-KX-5 2011/03 日本語
森田 陽亮, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 鳴海 一雅, 齋藤 勇一 25pRA-12 30keVC_<60^+>イオンのSi中の飛程に対するクラスター効果(25pRA 放射線物理(固体との相互作用・クラスター),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,66,1 2011/03 日本語
森若大貴, 鈴木基史, 白井友也, 中嶋薫, 木村健二 斜め蒸着‐イオンビームエッチングによる薄膜のナノ形態制御 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,54th,295-296 2010/10 日本語
原英貴, 鈴木基史, 浜地健次, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着によるGeナノウィスカの成長 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,54th,297-298 2010/10 日本語
名村今日子, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 コンビナトリアル局所プラズモン共振器の作製と光による発熱特性 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集,54th,308-309 2010/10 日本語
中嶋薫 絶縁体表面における高速イオン・分子イオンの斜入射散乱 原子衝突研究協会年会講演概要集,35th,37-40 2010/08 日本語
名村今日子, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 局所プラズモン共振器の光による発熱特性 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM),71st,ROMBUNNO.14P-NF-6 2010/08 日本語
兼子泰幸, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二, 春次良彦, 若林英信, 牧野俊郎, 秋山賢輔 β‐FeSi<sub>2</sub>薄膜を用いた分光選択赤外線源の開発 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM),71st,ROMBUNNO.17A-NH-9 2010/08 日本語
鈴木 俊朗, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 24aRD-9 イオン性結晶の表面軸チャネリングイオンに対する相互作用ポテンシャル(24aRD 放射線物理・原子分子放射線融合(表面・イオン照射),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,65,2 2010/08 日本語
前川 真吾, 高木 慎平, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 24aRD-7 KCI(001)表面で鏡面散乱したC_<60^+>イオンのC_2放出(24aRD 放射線物理・原子分子放射線融合(表面・イオン照射),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,65,2 2010/08 日本語
森若大貴, 鈴木基史, 白井友也, 中嶋薫, 木村健二 斜め蒸着‐イオンビームエッチング法による薄膜のナノ形態制御 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),57th,ROMBUNNO.20P-TJ-5 2010/03 日本語
橋元弘貴, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBS法の検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),57th,ROMBUNNO.19P-ZA-9 2010/03 日本語
笹川薫, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 中エネルギーイオン散乱スペクトルの多重散乱補正 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),57th,ROMBUNNO.19P-ZA-6 2010/03 日本語
喜多僚, 鈴木基史, 木下定, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着における原子の付着率と金属ウィスカ成長の関係 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM),57th,ROMBUNNO.20P-TJ-6 2010/03 日本語
大島 伸一, 大野 敦史, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 高分解能RBSによるイオン液体混合物の表面分析 表面科学学術講演会要旨集,30,0,99-99 2010 日本語
中嶋 薫, 大野 敦史, 鈴木 基史, 木村 健二 高分解能RBS法による[C<SUB>n</SUB>MIM][TFSI]表面の分析 表面科学学術講演会要旨集,30,0,100-100 2010 日本語
大野敦史, 橋元弘貴, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBSによる[C<sub>n</sub>MIM][TFSI]の表面構造の研究 応用物理学会学術講演会講演予稿集,70th,3,1142 2009/09 日本語
原英貴, 鈴木基史, 浜地健次, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着によるGeウィスカの成長 応用物理学会学術講演会講演予稿集,70th,3,1273 2009/09 日本語
浜地健次, 鈴木基史, 木下定, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着による二元金属ウィスカの創製 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,56th,2,666 2009/03 日本語
笹川薫, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si(001)のSi基板表面近傍における変位Si原子の評価 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,56th,2,847 2009/03 日本語
脇 祐介, 中嶋 薫, 鈴木 俊朗, 鈴木 基史, 木村 健二 27pRA-12 斜入射高速イオンによるイオン液体表面からの2次イオン放出(27pRA 放射線物理(クラスター・二次粒子放出),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,64,1 2009/03 日本語
松下 知義, 高木 慎平, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 28pSD-4 KCl(001)表面におけるC_<60>^+イオンの斜入射散乱(28pSD 領域1シンポジウム:エキゾチックな粒子ビームと固体・表面との相互作用,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,64,1 2009/03 日本語
鈴木 俊朗, 脇 祐介, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 27pRA-13 鏡面反射イオンによりKCl(001)表面から放出される2次電子数と2次イオン収率の相関(27pRA 放射線物理(クラスター・二次粒子放出),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,64,1 2009/03 日本語
浜地健次, 鈴木基史, 木下定, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着による金属ウィスカの成長 真空に関する連合講演会講演予稿集,49th,90 2008/10 日本語
浜地健次, 鈴木基史, 木下定, 中嶋薫, 木村健二 高温斜め蒸着による金属ウィスカの成長 応用物理学会学術講演会講演予稿集,69th,2,551 2008/09 日本語
今井義勝, 鈴木基史, 徳永博樹, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫, 森康維 近赤外局所プラズモン共振器の開発と表面増強ラマン分光への応用 応用物理学会学術講演会講演予稿集,69th,3,904 2008/09 日本語
大野敦史, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBSによるイオン液体表面構造の研究 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,55th,3,1286 2008/03 日本語
永井孝治, 鈴木基史, 木下定, 木村健二, 中嶋薫 高温斜め蒸着によるFeウィスカの成長 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,55th,2,642 2008/03 日本語
喜多僚, 鈴木基史, 浜地健次, 木下定, 中嶋薫, 木村健二 トレンチ基板への高温斜め蒸着によるAlウィスカの成長 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,55th,2,642 2008/03 日本語
入谷健元, 錦織雅弘, 木村健二, 中嶋薫, 鈴木基史 高分解能RBSによる歪みSi(001)の酸化初期過程の観察 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,55th,2,834 2008/03 日本語
松下 知義, 爲廣 信也, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 23pRB-4 KCl(001)表面で鏡面反射した低速C_<60>^+イオンのエネルギー損失(放射線物理(衝突に伴うエネルギー付与),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,63,1 2008/02 日本語
脇 祐介, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 23aRB-1 斜入射高速イオンのイオン液体表面での散乱(放射線物理(散乱素過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,63,1 2008/02 日本語
永井孝治, 鈴木基史, 木下定, 木村健二, 中嶋薫 加熱基板上への斜め蒸着によるFeウィスカの形成 真空に関する連合講演会講演予稿集,48th,123 2007/11 日本語
福岡隆夫, 鈴木基史, 和田吉典, 中嶋薫, 木村健二, 森康維, 尾崎幸洋 貴金属ナノロッドアレイを用いた神経ガスVX加水分解物の表面増強ラマン散乱 応用物理学会学術講演会講演予稿集,68th,3,1297 2007/09 日本語
錦織雅弘, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBSによる歪Si(001)上のGe成長初期過程の観察 応用物理学会学術講演会講演予稿集,68th,1,405 2007/09 日本語
中嶋 薫, 阪田 正和, 千葉 元気, 鈴木 基史, 木村 健二 21pRE-3 KCl(001)で鏡面反射したHeH^+分子イオンの解離片に対する表面トラックポテンシャルの影響(放射線物理(エネルギー付与過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,62,2 2007/08 日本語
為広 信也, 高木 慎平, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 21aRF-6 KCl(001)表面における低速グリシンイオンの散乱(放射線・原子分子融合(イオン・表面相互作用),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,62,2 2007/08 日本語
浜地健次, 鈴木基史, 永井孝治, 木下定, 中嶋薫, 木村健二 制御されたナノ形態を有する表面での高温斜め蒸着によるAlウィスカの成長 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,54th,2,706 2007/03 日本語
永井孝治, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二 反応斜め蒸着によるFe‐Siウィスカの形成 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,54th,2,706 2007/03 日本語
和田吉典, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫, 森康維 Agナノロッドアレイによる官能基で修飾したポリスチレンビーズの表面増強ラマン散乱 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,54th,3,1092 2007/03 日本語
中嶋 薫, 千葉 元気, 鈴木 基史, 木村 健二 18aXK-5 斜入射高速イオンによるKC1(00l)表面からの2次イオン放出II(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,62,1 2007/02 日本語
為広 信也, 高木 慎平, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 18aXK-1 ECRイオン源を用いたグリシンイオンの生成(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,62,1 2007/02 日本語
阪田 正和, 千葉 元気, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 18aXK-2 KC1(001)結晶表面で鏡面反射したHeH^+分子イオンの解離過程II(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理) 日本物理学会講演概要集,62,1 2007/02 日本語
藤吉旭, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBSによるTi/HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si(001)の界面反応の観察 応用物理学会学術講演会講演予稿集,67th,2,708 2006/08 日本語
ZHAO Ming, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, 植松真司, 鳥居和功, 神山聡, 奈良安雄, 山田啓作 HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si(001)界面反応の高分解能RBS観察 応用物理学会学術講演会講演予稿集,67th,0,72 2006/08 日本語
永井孝治, 鈴木基史, 木村健二, 中嶋薫, 木下定, 岡野智規, 笹川薫 高温基板への斜め蒸着によるアルミニウムナノワイヤーの形成 応用物理学会学術講演会講演予稿集,67th,1,214 2006/08 日本語
阪田 正和, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 26aWD-3 KCl(001)結晶表面で鏡面反射した1〜2MeV HeH^+分子イオンの解離過程(26aWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,61,2 2006/08 日本語
為広 信也, 松下 知義, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 26aWD-2 低速C_<60>^+イオンのKCl(001)表面における中性化(26aWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,61,2 2006/08 日本語
鈴木基史, 和田吉典, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫, 森康維 動的斜め蒸着Agナノロッドアレイの異方性表面増強ラマン散乱 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,53rd,3,1439 2006/03 日本語
中嶋薫, 木村健二, 舘喜一, 角嶋邦之, 岩井洋 高分解能ERD法を用いたLa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Si(001)中の水素分析 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,53rd,2,834 2006/03 日本語
松下 知義, 為広 信也, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 28aTA-1 低速C_<60+>のKCl(001)表面における鏡面反射(28aTA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,61,1 2006/03 日本語
鈴木基史, 和田吉典, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫, 森康維 動的斜め蒸着法による高密度金ナノロッドアレイの形成と表面増強ラマン散乱基板への応用 真空に関する連合講演会講演予稿集,47th,2 2006 日本語
趙 明, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二, 植松 真司, 鳥居 和功, 神山 聡, 奈良 安雄, 渡部 平司, 白石 賢二, 知京 豊祐, 山田 啓作 高分解能RBSによるHfO2/SiO2/Siの酸化過程の観察 表面科学講演大会講演要旨集,26,0,294-294 2006 その他外国語
鈴木 基史, 永井 孝治, 木下 定, 中嶋 薫, 木村 健二, 岡野 智規, 笹川 薫 高温斜め蒸着による金属ウィスカの気相成長 表面科学講演大会講演要旨集,26,0,65-65 2006 その他外国語
後藤直行, 辻博司, 洗暢俊, 上野和也, 箕谷崇, 木村健二, 中嶋薫, 奥峰徹也, 足立浩一郎, 小滝浩, 後藤康仁, 石川順三 銀負イオン注入したSiO<sub>2</sub>薄膜の熱処理と高分解能RBSによる深さ分析 応用物理学会学術講演会講演予稿集,66th,2,619 2005/09 日本語
鈴木基史, 和田吉典, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫, 森康雄 動的斜め蒸着Agナノ粒子アレイにおける局所電場増強 応用物理学会学術講演会講演予稿集,66th,3,896 2005/09 日本語
鈴木基史, 和田吉典, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫, 森康維 動的斜め蒸着Agナノ粒子アレイの近赤外表面増強ラマン散乱基板への応用 応用物理学会学術講演会講演予稿集,66th,3,1188 2005/09 日本語
中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, 山本雅士, 寺本章伸, 大見忠弘, 服部健雄 SiO<sub>2</sub>/Si(001)界面ひずみの酸化プロセス依存性 応用物理学会学術講演会講演予稿集,66th,2,664 2005/09 日本語
細井重孝, 中嶋薫, 鈴木基史, 清水康雄, 深津茂人, 伊藤公平, 植松真司, 影島博之, 白石賢二 Siの同位体を用いた熱酸化に伴う酸化膜中へのSi放出の観測 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,52nd,2,881 2005/03 日本語
城森慎司, 鈴木基史, 木下恒平, 中嶋薫, 木村健二 Fe‐Si成長初期過程における斜め蒸着効果 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,52nd,3,1545 2005/03 日本語
鈴木基史, 前北渉, 和田吉典, 岸本一昭, 中嶋薫, 木村健二 金属ナノ粒子アレイの物理的自己組織化 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,52nd,2,748 2005/03 日本語
松下知義, 酒井渉, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, AGARWAL A., GOSSMANN H‐J. 高分解能RBS/channelingによる歪みSi/Si<sub>0.8</sub>Ge<sub>0.2</sub>中の歪みの評価 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,52nd,1,437 2005/03 日本語
前北渉, 鈴木基史, 中嶋薫, 木村健二, 福岡隆夫 動的斜め蒸着法により作製したAgナノ粒子アレイの局所プラズモン共鳴特性 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,52nd,3,1166 2005/03 日本語
中嶋 薫, 山崎 成晴, 鈴木 基史, 木村 健二 25aYJ-7 斜入射高速イオンによるKC1(001)表面からの2次イオン放出(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 日本物理学会講演概要集,60,1 2005/03 日本語
辻博司, 洗暢俊, 中塚博之, 後藤直行, 箕谷崇, 小嶋研史, 木村健二, 中嶋薫, 奥峰徹也, 足立浩一郎, 小滝浩, 後藤康仁, 石川順三 銀負イオン注入熱酸化薄膜における銀の熱拡散とナノ粒子形成 真空に関する連合講演会講演予稿集,46th,148 2005 日本語
吉田徹史, 岡本英介, 酒井渉, 中嶋薫, 吉田丈治, 大見俊一郎, 岩井洋, 池永英司, 小林啓介 GdO<sub>x</sub>/Si界面組成遷移層の化学結合状態の深さ方向分布の熱処理依存性 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,2,688 2004/09 日本語
野平博司, 吉田徹史, 酒井渉, 中嶋薫, NG J A, 小林洋一, 大見俊一郎, 池永英司, 小林啓介 LaO<sub>x</sub>/Si界面組成遷移層の化学結合状態の熱処理依存性 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,2,688 2004/09 日本語
細井重孝, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBS法によるAg/Si(111)の界面格子ひずみの測定 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,2,668 2004/09 日本語
前北渉, 鈴木基史, 岸本一昭, 中嶋薫, 木村健二 動的斜め蒸着法によるAg‐SiO<sub>2</sub>偏光膜の作製 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,3,888 2004/09 日本語
城森慎司, 木下恒平, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBSによるFe‐Si薄膜成長初期過程の観察―III 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,3,1218 2004/09 日本語
鈴木基史, 木下恒平, 城森慎司, 中嶋薫, 木村健二 高分解能RBSによるFe‐Si薄膜成長初期過程の観察―II 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,3,1218 2004/09 日本語
松下知義, 酒井渉, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, AGARWAL A, GOSSMANN H‐J 5keV Si<sup>+</sup>注入により歪みSi/Si<sub>0.8</sub>Ge<sub>0.2</sub>に生じた欠陥の熱処理による回復 応用物理学会学術講演会講演予稿集,65th,1,322 2004/09 日本語
中嶋 薫, 辻岡 照泰, 田中 晋介, 中本 篤, 鈴木 基史, 木村 健二 13aTG-3 低速 Ar^+ イオンの KC1(001) 表面における中性化 II(放射線物理, 領域 1) 日本物理学会講演概要集,59,2 2004/08 日本語
木下恒平, 鈴木基史, 今泉亮, 中嶋薫, 木村健二 高分解能RBSによるFe‐Si薄膜成長初期過程の観察 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,51st,3,1521 2004/03 日本語
城森慎司, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, 西川幸江, 松下大介, 山口豪, 佐藤暢高 Si(111)上にエピタキシャル成長した極薄CeO<sub>2</sub>薄膜の構造 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,51st,2,872 2004/03 日本語
松下知義, 酒井渉, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, AGARWAL A, GOSSMANN H‐J 歪みSi/Si<sub>0.7</sub>Ge<sub>0.3</sub>への5keV Si<sup>+</sup>イオン注入による照射損傷 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,51st,1,415 2004/03 日本語
鈴木基史, 岸本一昭, 前北渉, 中嶋薫, 木村健二 TiO<sub>2</sub>動的斜め蒸着膜の光触媒特性の膜厚依存 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,51st,2,686 2004/03 日本語
中本 篤, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 27aXP-5 KCl(001)表面に斜入射した2MeV He^+イオンによるコンボイ電子の放出(放射線物理)(領域1) 日本物理学会講演概要集,59,1 2004/03 日本語
木下恒平, 今泉亮, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二, 末益崇, 長谷川文夫 RDE法によって作製したFe‐Si薄膜の高分解能RBS分析 応用物理学会学術講演会講演予稿集,64th,3,1237 2003/08 日本語
酒井渉, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 斜入射スパッタリングを用いた高分解能RBSの深さ分解能の向上 応用物理学会学術講演会講演予稿集,64th,2,666 2003/08 日本語
鈴木基史, KAMINSKA K, ROBBIE K, 木村健二, 中嶋薫, 多賀康訓 ナノ形態制御薄膜の屈折率制御―II 応用物理学会学術講演会講演予稿集,64th,3,883 2003/08 日本語
黒岩諭人, 広瀬佳久, 酒井渉, 中嶋薫, 鈴木基史, 沢野憲太郎, 中川清和, 白木靖寛, 服部健雄 酸化によるSi/Si<sub>0.7</sub>Ge<sub>0.3</sub>の深さ方向組成変化 応用物理学会学術講演会講演予稿集,64th,1,341 2003/08 日本語
田中 晋介, 辻岡 照泰, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 20aTD-6 低速 Ar^+ イオンの KCI(001) 表面における中性化 日本物理学会講演概要集,58,2 2003/08 日本語
中嶋薫, 城森慎司, 鈴木基史, 木村健二, 大見俊一郎, 岩井洋 La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>,Gd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>およびLu<sub>2</sub>O<sub>3</sub>極薄膜の高分解能RBSによる分析 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,50th,2,869 2003/03 日本語
鈴木基史, 中嶋薫, ROBBIE K, KAMINSKA K, 多賀康訓 ナノ形態制御薄膜による屈折率制御―Monte Carlo simulationによるアプローチ 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,50th,3,1057 2003/03 日本語
中嶋 薫, 羽野 仁彦, 鈴木 基史, 木村 健二 31aWD-1 高分解能 RBS による Si(001)(2×1) 清浄表面近傍の格子ひずみ測定 日本物理学会講演概要集,58,1 2003/03 日本語
前田 謙一郎, 辻岡 照泰, 中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 28pXD-5 表面トラックポテンシャルの阻止能への影響 日本物理学会講演概要集,58,1 2003/03 日本語
羽野仁彦, 中嶋薫, 鈴木基史, 木村健二 高分解能RBS/channelingを用いたSiO<sub>2</sub>/Si(001)の界面分析 応用物理学会学術講演会講演予稿集,63rd,2,708 2002/09 日本語
中嶋 薫, 木村 健二 6pWE-2 RBS測定によるエネルギーストラグリングの評価(放射線物理,領域1) 日本物理学会講演概要集,57,2 2002/08 日本語
太田行俊, 中嶋薫, 木村健二 極低エネルギーでイオン注入したホウ素の深さ分布の高分解能RBSによる測定 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,49th,2,775 2002/03 日本語
中嶋薫, 城森慎司, 木村健二, 小林一, 三輪司郎, 佐鳥浩太郎 極薄シリコン酸窒化膜中の窒素分布の測定 高分解能RBSとSIMSの比較 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,49th,2,798 2002/03 日本語
太田 行俊, 中嶋 薫, 木村 健二 25aZA-2 イオン照射によるSi(111)表面のクレータ状損傷の形成(25aZA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理分野)) 日本物理学会講演概要集,57,1 2002/03 日本語
中嶋 薫, 羽野 仁彦, 木下 恒平, 木村 健二 27pYF-3 Ge/Si(001)酸化初期過程の高分解能RBSによる観察(27pYF 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長分野)) 日本物理学会講演概要集,57,1 2002/03 日本語
木村健二, 中嶋薫, IMEC Bert Brijs 高分解能RBSによるZrO<sub>2</sub>(2nm)/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(1nm)/Si中の元素の深さ分布の測定 応用物理学会学術講演会講演予稿集,62nd,2,642 2001/09 日本語
前田 謙一郎, 中嶋 薫, 木村 健二 18pTD-5 2次電子放出に対する表面粗さの効果 日本物理学会講演概要集,56,2 2001/09 日本語
中嶋 薫, 木村 健二 20aTF-6 高分解能RBSによるSi(111)酸化初期過程 日本物理学会講演概要集,56,2 2001/09 日本語
木村 健二, 中嶋 薫 F02-(1) イオンビームを用いた1原子層ごとの元素分析(ナノへの挑戦)(材料力学部門企画) 年次大会講演資料集,0,1,64-65 2001/08 日本語
中嶋薫, 木村健二, 小林一, 三輪司郎, 佐鳥浩太郎 He<sup>+</sup>イオン照射によるシリコン酸窒化膜からの窒素の脱離 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,48th,2,843 2001/03 日本語
中嶋薫, 木村健二, 山中貞則, 長谷川雅考, 大串秀世 CVDホモエピタキシャルダイヤモンドの高分解能ERDによる水素分析 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,48th,2,586 2001/03 日本語
前田 謙一郎, 中嶋 薫, 木村 健二 28pZE-6 鏡面反射イオンのエネルギー損失と二次電子放出の同時計測 日本物理学会講演概要集,56,1 2001/03 日本語
中嶋 薫, 岡崎 康敬, 保坂 憲之, 木村 健二 22aWB-11 Si(001)酸化初期過程の高分解能RBSによる観察 日本物理学会講演概要集,55,2 2000/09 日本語
臼井 悟史, 中嶋 薫, 木村 健二 23pYN-2 2次電子放出に対するKCl(001)表面の局所帯電効果 日本物理学会講演概要集,55,2 2000/09 日本語
中嶋薫, 保坂憲之, 岡崎康敬, 木村健二, 小林一, 三輪司郎, 佐鳥浩太郎 高分解能RBSによる酸窒化シリコン薄膜の窒素分布測定 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,47th,2,822 2000/03 日本語
岡崎康敬, 中嶋薫, 木村健二 高分解能RBSを用いたシリコン(001)表面の酸化初期過程の研究 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,47th,2,803 2000/03 日本語
中嶋 薫, 園部 真也, 木村 健二 27aB-5 低速希ガス原子に対するKCI(001)表面の阻止能 日本物理学会講演概要集,54,2 1999/09 日本語
中嶋 薫, 小西 厚史, 木村 健二 28p-S-6 高分解能RBS法で観察したGe/Si(001)界面の相互拡散 日本物理学会講演概要集,54,1 1999/03 日本語
安堂 豪, 中嶋 薫, 木村 健二 28a-XK-11 表面チャネリングイオンの2次電子放出 日本物理学会講演概要集,54,1 1999/03 日本語
豊福久巳, 中嶋薫, 木村健二, AGARWAL A, GOSSMANN H‐J 高分解能RBSによる極低エネルギーイオン注入Si(100)の非晶質化の研究 応用物理学会学術講演会講演予稿集,59th,2,773 1998/09 日本語
中嶋 薫, 福住 幸大, 木村 健二, 万波 通彦 25p-J-2 低速希ガス原子に対するSnTe(001) 表面の阻止能 日本物理学会講演概要集,53,2 1998/09 日本語
安堂 豪, 中嶋 薫, 木村 健二 25p-J-1 鏡面反射水素イオンによるKCl(001) 表面からの2次電子放出 日本物理学会講演概要集,53,2 1998/09 日本語
福井彰, 中嶋薫, 木村健二, 万波通彦 斜入射スパタリングによる表面の平滑化 応用物理学関係連合講演会講演予稿集,45th,2,647 1998/03 日本語
中嶋 薫, 井村 英樹, 木村 健二, 万波 通彦 2p-YF-12 高分解能ERDAシステムの開発 日本物理学会講演概要集,53,1 1998/03 日本語
大木 俊, 安藤 豪, 中嶋 薫, 木村 健二, 万波 通彦 30p-K-1 鏡面反射Heイオンの2次電子放出 日本物理学会講演概要集,53,1 1998/03 日本語
中嶋 薫, 井村 英樹, 木村 健二, 万波 通彦 5a-YC-12 磁場型エネルギー分析器を用いた高分解能ERDA 日本物理学会講演概要集,52,2 1997/09 日本語
大木 俊, 安堂 豪, 中嶋 薫, 木村 健二, 万波 通彦 5a-YC-9 鏡面反射イオンの二次電子放出 日本物理学会講演概要集,52,2 1997/09 日本語
鳴海 一雅, 中嶋 薫, 木村 健二, 万波 通彦, 斎藤 勇一, 山本 春也, 青木 康, 楢本 洋 5a-YC-5 炭素薄膜を透過したMeV Bクラスターイオンのエネルギー損失 日本物理学会講演概要集,52,2 1997/09 日本語
大竹 晃浩, 郭 立信, 安田 哲二, 木村 康三, 三輪 司郎, 木村 健二, 中嶋 薫, 八百 隆文 28a-T-4 Te終端GaAs(001)表面上におけるZnSeの成長形態と欠陥生成 日本物理学会講演概要集,52,1 1997/03 日本語
中嶋 薫, 木村 健二, 万波 通彦 29a-YD-7 高分解能RBS法による表面原子の熱振動の観察 日本物理学会講演概要集,52,1 1997/03 日本語
中嶋 薫, 藤居 義和, 木村 健二, 万波 通彦 28a-S-9 PbSe(111)ホモエピタキシャル成長中の鏡面反射イオンの強度振動 日本物理学会講演概要集. 秋の分科会,1995,4 1995/09 日本語
中嶋 薫, 藤居 義和, 長枝 浩, 木村 健二, 万波 通彦 2a-Q-6 PbSe(111)(√<3>×√<3>)R30°の高分解能RBSによる観察 日本物理学会講演概要集. 秋の分科会,1994,2 1994/08 日本語
中嶋 薫, 藤居 義和, 鳴海 一雅, 木村 健二, 万波 通彦 28a-WB-2 鏡面反射イオン分光によるlayer-by-layer成長表面のその場観察 日本物理学会講演概要集. 年会,49,2 1994/03 日本語

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学会発表等 > その他
(文系研究者の一般的な学会報告の業績は「講演等」を参照してください)
著者名 タイトル 書誌情報等 年月 査読の有無 言語
中嶋 薫, 木村 健二 高分解能RBSを用いた表面・界面の評価 表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan,59,12,882-886 2008/12 日本語
木村 健二, 中嶋 薫 高分解能ラザフォード後方散乱法による表面分析 真空,51,9,613-617 2008/09 日本語
木村 健二, 中嶋 薫 高分解能RBS法の原理と分析精度 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan,28,11,626-632 2007/11 日本語
野平 博司, 中嶋 薫, 木村 健二, 服部 健雄 角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan,28,11,620-625 2007/11 日本語
木村 健二, 中嶋 薫 高分解能RBS法の原理と分析精度 表面科学,28,11,626-632 2007 日本語
野平 博司, 中嶋 薫, 木村 健二, 服部 健雄 角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み 表面科学,28,11,620-625 2007 日本語
中嶋 薫, 鈴木 基史, 木村 健二 高分解能ラザフォード後方散乱分光法(高分解能RBS)を用いた界面近傍の格子ひずみ測定 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN,49,5,286-289 2006/05 日本語
中嶋 薫, 木村 健二 表面トラックポテンシャル : イオンの通過により生じる絶縁体表面のミクロな帯電(最近の研究から) 日本物理學會誌,61,2,98-102 2006/02 日本語
木村 健二, 中嶋 薫 高分解能ラザフォード後方散乱法によるサブnmレベルの分析 (特集 放射線を利用した計測・評価技術) 放射線と産業,112,20-25 2006 日本語
木村 健二, 大田 行俊, 中嶋 薫, 鈴木 基史 高分解能ラザフォード後法散乱法を用いた極浅ドーパントの深さプロファイル分析 真空,46,11,767-771 2003/11 日本語
木村 健二, 中嶋 薫 高分解能 RBS 装置の開発 表面科学,22,7,431-437 2001/07 日本語

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講演等 > 一般講演
(文系研究者の一般的な学会報告はこの項に収録されております)
タイトル 会合名 開催主体 年月 言語
表面・界面分析の基礎と応用 イオン散乱分光法 表面科学基礎講座 2014/06/04 日本語
イオン散乱分光法 表面科学基礎講座 2013/10/16 日本語
イオン散乱分光法 表面科学基礎講座 2013/07/09 日本語
イオン散乱分光法 表面科学基礎講座 2012/10/16 日本語
イオン散乱分光法 表面科学基礎講座 2012/07/10 日本語
イオン散乱分光法 表面科学基礎講座 2011/09/14 日本語
イオン散乱分析の基礎と高分解能ラザフォード後方散乱 表面科学基礎講座 2009/11/25 日本語

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著書等 > 著書
著者名 タイトル 出版社等 年月 言語
中嶋 薫 Advances in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms(jointly worked) Elsevier Science B. V., 1997 英語

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学術賞等
賞の名称(日本語) 賞の名称(英語) 授与組織名(日本語) 授与組織名(英語) 年月
表面科学技術賞 SSSJ Technique Award 日本表面科学会 The Surface Science Society of Japan 2002
外部資金:競争的資金・科学研究費補助金
種別 代表/分担 テーマ(日本語) テーマ(英語) 期間
基盤研究(C) 代表 シリコン中ドーパントの超高分解能深さ分布測定法の開発 2012〜2014
若手研究(B) 代表 飛行時間ERDによるシリコン酸化膜・high-k酸化膜中の水素プロファイル測定 Hydrogen profiling in silicon oxides and high-k oxides by TOF-ERD 2007〜2008
若手研究(B) 代表 ディレイラインディテクターを用いた飛行時間RBS、飛行時間ERDの開発 2005〜2006
若手研究(B) 代表 低速イオンビームエッチングと高分解能RBSによる固体内部の高分解能組成分析 2003〜2004
若手研究(B) 代表 シリコン(111)表面の酸化初期生成物の構造および反応性に関する研究 2001〜2002
担当科目
講義名(日本語) 講義名(英語) 開講期 学部/研究科 年度
機械システム工学実験3
機械製作実習
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2012/04〜2013/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2012/04〜2013/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2013/04〜2014/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2013/04〜2014/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2014/04〜2015/03
固体物性学 Physics of Solids 前期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2015/04〜2016/03
機械設計演習1 Exercise of Machine Design 1 前期 工学部 2015/04〜2016/03
物性物理学1 Solid State Physics 1 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
量子物性物理学 Quantum Condensed Matter Physics 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03

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部局運営(役職等)
役職名 期間
工学研究科・工学部図書委員会 委員 2015/04/01〜2016/03/31