田畑 修

最終更新日時: 2017/07/06 18:34:59

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氏名(漢字/フリガナ/アルファベット表記)
田畑 修/タバタ オサム/Tabata, Osamu
所属部署・職名(部局/所属/講座等/職名)
工学研究科/マイクロエンジニアリング専攻ナノシステム創成工学講座/教授
学部兼担
部局 所属 講座等 職名
工学部
学内兼務
部局 所属 講座等 職名
学際融合教育研究推進センター  日本-エジプト連携教育研究ユニット 日本-エジプト連携教育研究ユニット長
学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点ユニット ナノテクノロジーハブ拠点ユニット長
連絡先住所
種別 住所(日本語) 住所(英語)
職場 〒615-8540 京都市西京区京都大学桂C3棟 Kyotodaigaku-Katsura C3, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan
連絡先電話番号
種別 番号
職場 075-383-3690
電子メールアドレス
メールアドレス
tabata @ me.kyoto-u.ac.jp
所属学会(国内)
学会名(日本語) 学会名(英語)
機械学会 The Japan Society of Mechanical Engineers
電気学会 The Institute of Electrical Engineers of Japan
(社)エレクトロニクス実装学会 Japanese Institute of Electroncis Packaging
取得学位
学位名(日本語) 学位名(英語) 大学(日本語) 大学(英語) 取得区分
工学修士 名古屋工業大学
博士(工学) 名古屋工業大学
出身大学院・研究科等
大学名(日本語) 大学名(英語) 研究科名(日本語) 研究科名(英語) 専攻名(日本語) 専攻名(英語) 修了区分
名古屋工業大学 大学院工学研究科修士課程計測工学専攻 修了
名古屋工業大学 大学院工学研究科博士後期課程生産システム工学専攻 修了
出身学校・専攻等
大学名(日本語) 大学名(英語) 学部名(日本語) 学部名(英語) 学科名(日本語) 学科名(英語) 卒業区分
名古屋工業大学 工学部第一部計測工学科 卒業
職歴
期間 組織名(日本語) 組織名(英語) 職名(日本語) 職名(英語)
1981/04/01〜1996/03/31 株式会社豊田中央研究所入社 Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc., Aichi, Japan. 研究員 Researcher
1996/04/01〜2000/03/31 立命館大学理工学部機械工学科 助教授 Department of Mechanical Engineering, School of Science and Engineering, Ritsumeikan University 助教授 Associate Professor
2000/04/01〜2003/09/25 立命館大学理工学部機械工学科 教授 Department of Mechanical Engineering, School of Science and Engineering, Ritsumeikan University 教授 Professor
2000/10/01〜2000/12/31 ドイツ,フライブルク大学マイクロシステム Freiburg University 客員教授 Visiting Professor
2001/01/01〜2001/03/31 スイス,連邦工科大学客員 教授 Swiss Federal Institute of Technology 客員教授 Visiting Professor
2003/09/26〜2004/03/31 京都大学理大学院工学研究科機械工学専攻  Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University 教授 Professor
2004/04/01〜 京都大学理大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 教授 Department of Microengineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University 教授 Professor
2010/05/01〜2013/10/31 フライブルク高等研究所 Freiburg Institute for Advanced Studies 上席研究員 senior research fellow
2010/05/01〜2013/06/30 華中科技大学 Huazong University of Science and Technology 客員教授 Guest Professor
プロフィール
(英語)
After he moved to Kyoto University in 2003, he continued to provide his enthusiastic support to the MEMS industries for the development of MEMS sensors and microfabrication technologies. Additionally, he started new research to realize a unique and novel nanosystem by assembling various functional components such as a microchip, a particle, a microcapsule, DNA origami, a cell, etc., with sizes ranging from the nanometer to micrometer scale on a few mm square MEMS substrate. The research on this direction is termed SENS (synthetic engineering for nano systems), and experimental and theoretical research on the establishment of SENS is pursued. To address this target, an approach using deoxyribonucleic acid (DNA) as intelligent adhesive which can be engineered to activate adhesiveness to a specific site at an arbitrary timing was propose. This idea was termed as Programmable Oriented Self-Assembly on MEMS (P-OSAM) and he succeeded to prove the feasibility of this idea. This idea can open a new possibility to realize new types of nano/bio sensors which has huge potential market in the world. He is now actively pursuing this research and establishment of the fundamental technologies.
researchmap URL
https://researchmap.jp/read0164650
研究分野(キーワード)
キーワード(日本語) キーワード(英語)
マイクロマシン,マイクシステム,MEMS,ナノシステム,ナノマシン,微細加工,アセンブル Micromachine, Microsystem, MEMS, Nanosystem, Nanomachine, Ultra fine machining, assembly
論文
著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 書誌情報等 書誌情報等(日本語) 書誌情報等(英語) 出版年月 査読の有無 記述言語 掲載種別 公開
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 2016/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
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上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 日本機械学会論文集A編, 79, 804 日本機械学会論文集A編, 79, 804 , 79, 804 2013/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.P. El-Bab, O. Tabata, A. Abd El- Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.P. El-Bab, O. Tabata, A. Abd El- Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.P. El-Bab, O. Tabata, A. Abd El- Moneim Simulation of graphene piesoresistivity based on density functional calculations Simulation of graphene piesoresistivity based on density functional calculations Simulation of graphene piesoresistivity based on density functional calculations Modeling and Numerical Simulation of Material Science, 3 Modeling and Numerical Simulation of Material Science, 3 Modeling and Numerical Simulation of Material Science, 3 2013 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 2012/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics POLYMER, 53, 21 POLYMER, 53, 21 POLYMER, 53, 21 2012/09 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 , 132, 5 2012/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 , 132, 7 2012/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 , 132, 9 2012/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators PHYSICS LETTERS A, 375, 32 PHYSICS LETTERS A, 375, 32 PHYSICS LETTERS A, 375, 32 2011/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu Tabata Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu Tabata Masashi Sato, Shogo Tsuda, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Osamu Tabata Development of piezoelectric MEMS deformable mirror Development of piezoelectric MEMS deformable mirror Development of piezoelectric MEMS deformable mirror MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 17, 5-7 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 17, 5-7 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 17, 5-7 2011/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Mi Li, Lianqing Liu, Ning Xi, Yuechao Wang, Zaili Dong, Osamu Tabata, Xiubin Xiao, Weijing Zhang Mi Li, Lianqing Liu, Ning Xi, Yuechao Wang, Zaili Dong, Osamu Tabata, Xiubin Xiao, Weijing Zhang Mi Li, Lianqing Liu, Ning Xi, Yuechao Wang, Zaili Dong, Osamu Tabata, Xiubin Xiao, Weijing Zhang Imaging and measuring the rituximab-induced changes of mechanical properties in B-lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the rituximab-induced changes of mechanical properties in B-lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the rituximab-induced changes of mechanical properties in B-lymphoma cells using atomic force microscopy BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, 404, 2 BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, 404, 2 BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, 404, 2 2011/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 , 131, 7 2011/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 2011 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 2010/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata A Closer Look at DNA Nanotechnology - A bridge between nanomaterials and a nanosystem A Closer Look at DNA Nanotechnology - A bridge between nanomaterials and a nanosystem A Closer Look at DNA Nanotechnology - A bridge between nanomaterials and a nanosystem IEEE Nanotechnology Magazine IEEE Nanotechnology Magazine IEEE Nanotechnology Magazine 2010/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
山田 崇恭, 泉井 一浩, 西脇 眞二, 佐藤 政司, 田畑 修 山田 崇恭, 泉井 一浩, 西脇 眞二, 佐藤 政司, 田畑 修 静電容量型超音波トランスデューサの最適構造設計法(レベルセット法に基づく等断面形状制約付きトポロジー最適化) 静電容量型超音波トランスデューサの最適構造設計法(レベルセット法に基づく等断面形状制約付きトポロジー最適化) 日本機械学会論文集A編, 76, 771 日本機械学会論文集A編, 76, 771 , 76, 771 2010/11 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 2010/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 , 130, 9 2010/09 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 , 130, 7 2010/07 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 2010/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment EXPERIMENTAL MECHANICS, 50, 4 EXPERIMENTAL MECHANICS, 50, 4 EXPERIMENTAL MECHANICS, 50, 4 2010/04 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 2010 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 2009/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata Free-standing C_{60} nanowire fabricated using XeF_2 sacrificial dry etching Free-standing C_{60} nanowire fabricated using XeF_2 sacrificial dry etching Free-standing C_{60} nanowire fabricated using XeF_2 sacrificial dry etching JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8, 1 JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8, 1 JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8, 1 2009/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata The effect of polymer matrix on laser microfabrication of Au nanoparticles dispersed polymer resists The effect of polymer matrix on laser microfabrication of Au nanoparticles dispersed polymer resists The effect of polymer matrix on laser microfabrication of Au nanoparticles dispersed polymer resists APPLIED SURFACE SCIENCE, 255, 5 APPLIED SURFACE SCIENCE, 255, 5 APPLIED SURFACE SCIENCE, 255, 5 2008/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
土屋 智由, 宮本 憲治, 菅野 公二, 田畑 修 土屋 智由, 宮本 憲治, 菅野 公二, 田畑 修 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 日本機械学会2008年度年次大会, 8 日本機械学会2008年度年次大会, 8 , 8 2008/08 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5 , 128, 5 2008/05 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 2008/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Three-dimensional simulation of powder blasting with a polymer mask using a cellular automaton Three-dimensional simulation of powder blasting with a polymer mask using a cellular automaton Three-dimensional simulation of powder blasting with a polymer mask using a cellular automaton JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 5 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 5 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 5 2008/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3, 3 2008/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル 粉体工学会, 45 粉体工学会, 45 , 45 2008 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Micro/Nano Assembly as a Key to SENS (Synthetic Engineering for Nano Systems) Micro/Nano Assembly as a Key to SENS (Synthetic Engineering for Nano Systems) Micro/Nano Assembly as a Key to SENS (Synthetic Engineering for Nano Systems) ECS Transactions, 16, 15 ECS Transactions, 16, 15 ECS Transactions, 16, 15 2008 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
吉川 弥, 篠部 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 石田 章, 田畑 修 吉川 弥, 篠部 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 石田 章, 田畑 修 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 128-E 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 128-E , 128-E 2008 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 2008 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 2007/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Osamu Tabata Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion Cellular automaton simulation of micropowder blasting with mask erosion IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2, 3 2007/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 2007/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
A Ishida, M Sato, W Yoshikawa, O Tabata A Ishida, M Sato, W Yoshikawa, O Tabata A Ishida, M Sato, W Yoshikawa, O Tabata Graphical design for thin-film SMA microactuators Graphical design for thin-film SMA microactuators Graphical design for thin-film SMA microactuators Smart Materials and Structures, 16, 5 Smart Materials and Structures, 16, 5 Smart Materials and Structures, 16, 5 2007 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ahmed M. R. Fath El-Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Osamu Tabata Ahmed M. R. Fath El-Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Osamu Tabata Ahmed M. R. Fath El-Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Osamu Tabata Tactile sensor for compliance detection Tactile sensor for compliance detection Tactile sensor for compliance detection SENSORS AND MATERIALS, 19, 3 SENSORS AND MATERIALS, 19, 3 SENSORS AND MATERIALS, 19, 3 2007 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E , 127-E 2007 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Y Hirai, S Hafizovic, N Matsuzuka, JG Korvink, O Tabata Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15, 1 2006/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Dang Fuquan, Kakehi Kazuaki, Cheng Jingjun, Osamu Tabata, Kurokawa Masaya, Nakajima Kazuki, Ishikawa Mitsuru, Baba Yoshinobu Dang Fuquan, Kakehi Kazuaki, Cheng Jingjun, Osamu Tabata, Kurokawa Masaya, Nakajima Kazuki, Ishikawa Mitsuru, Baba Yoshinobu Dang Fuquan, Kakehi Kazuaki, Cheng Jingjun, Osamu Tabata, Kurokawa Masaya, Nakajima Kazuki, Ishikawa Mitsuru, Baba Yoshinobu Hybrid Dynamic Coating with n-Dodecyl b-D-Maltoside and Methyl Cellulose for High-Performance Carbohydrate Analysis on Poly(methyl methacrylate) Chips Hybrid Dynamic Coating with n-Dodecyl b-D-Maltoside and Methyl Cellulose for High-Performance Carbohydrate Analysis on Poly(methyl methacrylate) Chips Hybrid Dynamic Coating with n-Dodecyl b-D-Maltoside and Methyl Cellulose for High-Performance Carbohydrate Analysis on Poly(methyl methacrylate) Chips Anal. Chem, 2006, 78 Anal. Chem, 2006, 78 Anal. Chem, 2006, 78 2006 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yagyu Hiromasa, Hayashi Shigehiko, Osamu Tabata Yagyu Hiromasa, Hayashi Shigehiko, Osamu Tabata Yagyu Hiromasa, Hayashi Shigehiko, Osamu Tabata Fabrication of Plastic Micro Tip Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Micro Tip Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Micro Tip Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 1 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 1 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 1 2006 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 7 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 7 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 126, 7 2006 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata N Matsuzuka, Y Hirai, O Tabata A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography ((DXRL)-X-2) JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 11 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 11 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 11 2005/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
A Ishida, M Sato, O Tabata, W Yoshikawa A Ishida, M Sato, O Tabata, W Yoshikawa A Ishida, M Sato, O Tabata, W Yoshikawa Shape memory thin films formed with carrousel-type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel-type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel-type magnetron sputtering apparatus SMART MATERIALS & STRUCTURES, 14, 5 SMART MATERIALS & STRUCTURES, 14, 5 SMART MATERIALS & STRUCTURES, 14, 5 2005/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15, 6 2005/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
FQ Dang, O Tabata, M Kurokawa, AA Ewis, LH Zhang, Y Yamaoka, S Shinohara, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba FQ Dang, O Tabata, M Kurokawa, AA Ewis, LH Zhang, Y Yamaoka, S Shinohara, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba FQ Dang, O Tabata, M Kurokawa, AA Ewis, LH Zhang, Y Yamaoka, S Shinohara, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba High-performance genetic analysis on microfabricated capillary array electrophoresis plastic chips fabricated by injection molding High-performance genetic analysis on microfabricated capillary array electrophoresis plastic chips fabricated by injection molding High-performance genetic analysis on microfabricated capillary array electrophoresis plastic chips fabricated by injection molding ANALYTICAL CHEMISTRY, 77, 7 ANALYTICAL CHEMISTRY, 77, 7 ANALYTICAL CHEMISTRY, 77, 7 2005/04 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Algorithm to Derive Optimal Mask and Movement Patterns in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm to Derive Optimal Mask and Movement Patterns in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm to Derive Optimal Mask and Movement Patterns in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) IEEJ Trans. SM, 125, 5 IEEJ Trans. SM, 125, 5 IEEJ Trans. SM, 125, 5 2005 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
F Dang, S Shinohara, O Tabata, Y Yamaoka, M Kurokawa, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba F Dang, S Shinohara, O Tabata, Y Yamaoka, M Kurokawa, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba F Dang, S Shinohara, O Tabata, Y Yamaoka, M Kurokawa, Y Shinohara, M Ishikawa, Y Baba Replica multichannel polymer chips with a network of sacrificial channels sealed by adhesive printing method Replica multichannel polymer chips with a network of sacrificial channels sealed by adhesive printing method Replica multichannel polymer chips with a network of sacrificial channels sealed by adhesive printing method LAB ON A CHIP, 5, 4 LAB ON A CHIP, 5, 4 LAB ON A CHIP, 5, 4 2005 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
H Yagyu, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, S Hayashi, O Tabata H Yagyu, S Hayashi, O Tabata Application of nanoparticles dispersed polymer to micropowder blasting mask Application of nanoparticles dispersed polymer to micropowder blasting mask Application of nanoparticles dispersed polymer to micropowder blasting mask JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 13, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 13, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 13, 1 2004/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kakinaga Takamitsu, Osamu Tabata, Baba Noriaki, Isono Yoshitada, J.G.Korvink, K.H.Ehrmann Kakinaga Takamitsu, Osamu Tabata, Baba Noriaki, Isono Yoshitada, J.G.Korvink, K.H.Ehrmann Kakinaga Takamitsu, Osamu Tabata, Baba Noriaki, Isono Yoshitada, J.G.Korvink, K.H.Ehrmann Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 124, 1 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 124, 1 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン準部門誌), 124, 1 2004 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Nakamura Yushi, Osamu Tabata Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 2004 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Matsuzuka Naoki, Hirai Yoshikazu, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Hirai Yoshikazu, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Hirai Yoshikazu, Osamu Tabata 3-D Microfabrication Process by Double Exposure Method in Standard X-Ray Lithography 3-D Microfabrication Process by Double Exposure Method in Standard X-Ray Lithography 3-D Microfabrication Process by Double Exposure Method in Standard X-Ray Lithography Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 Memoirs of SR Center, 6 2004 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
You Hui, Shinohara Shoji, Enami Kennichi, Shibata Shinsuke, Osamu Tabata, Shiraishi Haruki, Ueda Masanori, Baba Yoshinobu You Hui, Shinohara Shoji, Enami Kennichi, Shibata Shinsuke, Osamu Tabata, Shiraishi Haruki, Ueda Masanori, Baba Yoshinobu You Hui, Shinohara Shoji, Enami Kennichi, Shibata Shinsuke, Osamu Tabata, Shiraishi Haruki, Ueda Masanori, Baba Yoshinobu Micro Capillary Array Electrophoresis Chip by Moving Mask LIGA Technology Micro Capillary Array Electrophoresis Chip by Moving Mask LIGA Technology Micro Capillary Array Electrophoresis Chip by Moving Mask LIGA Technology International Journal of Information Acquisition, 1, 1 International Journal of Information Acquisition, 1, 1 International Journal of Information Acquisition, 1, 1 2004 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
川村 貞夫, 山本 貴志, 石田 大二郎, 中山 雄一郎, 田畑 修 川村 貞夫, 山本 貴志, 石田 大二郎, 中山 雄一郎, 田畑 修 ウエアラブル可変剛性要素の開発 ウエアラブル可変剛性要素の開発 Development of Wearable Elements with Variable Stiffness 日本機械学会論文集, 69, 688-C 日本機械学会論文集, 69, 688-C , 69, 688-C 2003 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
平井 義和, Hafizovic Sadik, Jan G. Korvink, 田畑 修 平井 義和, Hafizovic Sadik, Jan G. Korvink, 田畑 修 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 Process Simulation System for 3D X-Ray Lithography and Development 電気学会論文誌 センサマイクロマシン準部門誌, 123, 9 電気学会論文誌 センサマイクロマシン準部門誌, 123, 9 , 123, 9 2003 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Matsuzuka Naoki, Osamu Tabata Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Memoirs of SR Center, 5 Memoirs of SR Center, 5 Memoirs of SR Center, 5 2003 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Osamu Tabata You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Osamu Tabata You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Osamu Tabata Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Journal of Micromechatronics, 2, 1 Journal of Micromechatronics, 2, 1 Journal of Micromechatronics, 2, 1 2003 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術 ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 123-E, 10 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 123-E, 10 , 123-E, 10 2003 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Uemura Suguru, Dama Issei Osamu Tabata, You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Uemura Suguru, Dama Issei Osamu Tabata, You Hui, Matsuzuka Naoki, Yamaji Tadahiro, Uemura Suguru, Dama Issei Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Microsystem Technologies, 8 Microsystem Technologies, 8 Microsystem Technologies, 8 2002 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Effect of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon Effect of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon Effect of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon Microsystem Technologies, 9, 1 Microsystem Technologies, 9, 1 Microsystem Technologies, 9, 1 2002 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2 Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2 Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12 2002 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Hirasawa Hiroshi, Aoki Shintaro, Yoshida Ryo, Kokufuta Etsuo Osamu Tabata, Hirasawa Hiroshi, Aoki Shintaro, Yoshida Ryo, Kokufuta Etsuo Osamu Tabata, Hirasawa Hiroshi, Aoki Shintaro, Yoshida Ryo, Kokufuta Etsuo Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Sensors and Actuators A, 95 Sensors and Actuators A, 95 Sensors and Actuators A, 95 2002 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure 電気学会E部門論文誌, 121-E, 12 電気学会E部門論文誌, 121-E, 12 電気学会E部門論文誌, 121-E, 12 2001/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solution Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solution Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solution Sensors and Materials, 13, 5 Sensors and Materials, 13, 5 Sensors and Materials, 13, 5 2001 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Cusin Pierre, Ito Yuichi, Kawai Fumie, Hirai Shinichi, Kawamura Sadao Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Cusin Pierre, Ito Yuichi, Kawai Fumie, Hirai Shinichi, Kawamura Sadao Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Cusin Pierre, Ito Yuichi, Kawai Fumie, Hirai Shinichi, Kawamura Sadao Micro Fabricated Tunable Bending Stifness Device Micro Fabricated Tunable Bending Stifness Device Micro Fabricated Tunable Bending Stifness Device Sensors and Actuators,, A89 Sensors and Actuators,, A89 Sensors and Actuators,, A89 2001 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ueda Masanori, Nakanishi Hiroaki, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Nakanishi Hiroaki, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Nakanishi Hiroaki, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Imaging of a Band for DNA Fragment Migrating in Microchannel on Integrated Microchip Imaging of a Band for DNA Fragment Migrating in Microchannel on Integrated Microchip Imaging of a Band for DNA Fragment Migrating in Microchannel on Integrated Microchip Material Science and Enginering, C 12 Material Science and Enginering, C 12 Material Science and Enginering, C 12 2000 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Terasoma Kouichi, Agawa Norihiro, Yamamoto Kouji Osamu Tabata, Terasoma Kouichi, Agawa Norihiro, Yamamoto Kouji Osamu Tabata, Terasoma Kouichi, Agawa Norihiro, Yamamoto Kouji 3-Dimensional Microstructure Fabrication Using Multiple Moving Mask Deep X-Ray Lithography Process 3-Dimensional Microstructure Fabrication Using Multiple Moving Mask Deep X-Ray Lithography Process 3-Dimensional Microstructure Fabrication Using Multiple Moving Mask Deep X-Ray Lithography Process 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 2000 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Yashima Manabu, Yoshioka Tetsuo, Sato Kazuo Osamu Tabata, Yashima Manabu, Yoshioka Tetsuo, Sato Kazuo Osamu Tabata, Yashima Manabu, Yoshioka Tetsuo, Sato Kazuo Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 電気学会E部門論文誌, 120-E, 7 2000 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, Hui You, 白石晴樹, 中西博昭, 西本尚弘, 山元廣治, 馬場嘉信 田畑 修, Hui You, 白石晴樹, 中西博昭, 西本尚弘, 山元廣治, 馬場嘉信 μ-CE Chip Fabricated by Moving Mask Deep X-ray Lithography Technology μ-CE Chip Fabricated by Moving Mask Deep X-ray Lithography Technology μ-CE Chip Fabricated by Moving Mask Deep X-ray Lithography Technology センサシンポジウム センサシンポジウム 2000 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
白石 晴樹, 川中 智司, 松田 十四夫, 田畑 修, 池田 重良 白石 晴樹, 川中 智司, 松田 十四夫, 田畑 修, 池田 重良 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャネルチップの作製 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャネルチップの作製 分析化学, 49, 12 分析化学, 49, 12 , 49, 12 2000 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ueda Masanori, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Ueda Masanori, Osamu Tabata, Baba Yoshinobu Development of Micorfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Micorfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Micorfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 1999 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
藤江 孝行, 寺杣 幸一, 田畑 修, 馬場 嘉信 藤江 孝行, 寺杣 幸一, 田畑 修, 馬場 嘉信 X線照射加工を用いたマイクロキャピラリアレイ用傾斜側壁の加工技術 X線照射加工を用いたマイクロキャピラリアレイ用傾斜側壁の加工技術 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 電気学会E部門論文誌, 119-E, 10 , 119-E, 10 1999 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ueno Hiroshi, Hosaka Makoto, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Sugiyama Susumu Ueno Hiroshi, Hosaka Makoto, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Sugiyama Susumu Ueno Hiroshi, Hosaka Makoto, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Sugiyama Susumu X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process 電気学会E部門論文誌, 119-E, 4 電気学会E部門論文誌, 119-E, 4 電気学会E部門論文誌, 119-E, 4 1999 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Yamamoto Takeshi Osamu Tabata, Yamamoto Takeshi Osamu Tabata, Yamamoto Takeshi Two-Axis Detection Resonant Acceleration Based on Rigidity Change Two-Axis Detection Resonant Acceleration Based on Rigidity Change Two-Axis Detection Resonant Acceleration Based on Rigidity Change Sensors and Actuators, 75 Sensors and Actuators, 75 Sensors and Actuators, 75 1999 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Journal of Micro ElectroMechinical Systems, 7, 1 Journal of Micro ElectroMechinical Systems, 7, 1 Journal of Micro ElectroMechinical Systems, 7, 1 1998/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata CAD for Silicon Anisotropic Etching -Efffects of Etching Products and Diffusion- CAD for Silicon Anisotropic Etching -Efffects of Etching Products and Diffusion- CAD for Silicon Anisotropic Etching -Efffects of Etching Products and Diffusion- Sensors and Materials, 10, 7 Sensors and Materials, 10, 7 Sensors and Materials, 10, 7 1998 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata SiO2 Etching Rate Control of TMAH SiO2 Etching Rate Control of TMAH SiO2 Etching Rate Control of TMAH 電気学会E部門論文誌, 118-E, 5 電気学会E部門論文誌, 118-E, 5 電気学会E部門論文誌, 118-E, 5 1998 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentarou Mizuno, Kazuo Ootsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentarou Mizuno, Kazuo Ootsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentarou Mizuno, Kazuo Ootsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Sensors and Actuators, A66 Sensors and Actuators, A66 Sensors and Actuators, A66 1998 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Sugiyama Susumu, Y. Zhang, Hosaka Makoto, Ueno Hiroshi, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Maeda Ryuutarou Sugiyama Susumu, Y. Zhang, Hosaka Makoto, Ueno Hiroshi, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Maeda Ryuutarou Sugiyama Susumu, Y. Zhang, Hosaka Makoto, Ueno Hiroshi, Osamu Tabata, Konishi Satoshi, Maeda Ryuutarou Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts using a Compact SR Beamline Microsystem Technologies, 4, 2 Microsystem Technologies, 4, 2 Microsystem Technologies, 4, 2 1998 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Omura Yoshiteru, Nonomura Yutaka, Osamu Tabata Omura Yoshiteru, Nonomura Yutaka, Osamu Tabata Omura Yoshiteru, Nonomura Yutaka, Osamu Tabata A Surface Micromachined Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change A Surface Micromachined Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change A Surface Micromachined Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change 電気学会E部門論文誌, 118-E, 9 電気学会E部門論文誌, 118-E, 9 電気学会E部門論文誌, 118-E, 9 1998 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koga Shuji, Yamasawa Akira, Kawahito Shoji, Tadokoro Yoshiaki, Mizuno Kentaro, Osamu Tabata Koga Shuji, Yamasawa Akira, Kawahito Shoji, Tadokoro Yoshiaki, Mizuno Kentaro, Osamu Tabata Koga Shuji, Yamasawa Akira, Kawahito Shoji, Tadokoro Yoshiaki, Mizuno Kentaro, Osamu Tabata Micro Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using ΔΣ Modulation Micro Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using ΔΣ Modulation Micro Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using ΔΣ Modulation 電気学会E部門論文誌, 117-E, 2 電気学会E部門論文誌, 117-E, 2 電気学会E部門論文誌, 117-E, 2 1997 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
内藤 隆, 山田 日出夫, 田畑 修, 村瀬 英寿 内藤 隆, 山田 日出夫, 田畑 修, 村瀬 英寿 平板に衝突する渦輪の実験(壁面に与える力の考察) 平板に衝突する渦輪の実験(壁面に与える力の考察) ながれ, 16, 1 ながれ, 16, 1 , 16, 1 1997 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Fujitsuka Norio, Sakata Jiro, Miyachi Yukio, Mizuno Kentarou, Ootsuka Kazuo, Taga Yasunori, Osamu Tabata Fujitsuka Norio, Sakata Jiro, Miyachi Yukio, Mizuno Kentarou, Ootsuka Kazuo, Taga Yasunori, Osamu Tabata Fujitsuka Norio, Sakata Jiro, Miyachi Yukio, Mizuno Kentarou, Ootsuka Kazuo, Taga Yasunori, Osamu Tabata Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film 電気学会E部門論文誌, 117-E, 12 電気学会E部門論文誌, 117-E, 12 電気学会E部門論文誌, 117-E, 12 1997 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, 島岡 敬一 田畑 修, 島岡 敬一 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析 電気学会E部門論文誌, 116-E, 4 電気学会E部門論文誌, 116-E, 4 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 4 1996/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Shimaoka Keiichi, Asahi Ryouji, Sugiyama Susumu Osamu Tabata, Shimaoka Keiichi, Asahi Ryouji, Sugiyama Susumu Osamu Tabata, Shimaoka Keiichi, Asahi Ryouji, Sugiyama Susumu Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology Sensors and Materials, 8, 1 Sensors and Materials, 8, 1 Sensors and Materials, 8, 1 1996 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining Sensors and Actuators, .A53 Sensors and Actuators, .A53 Sensors and Actuators, .A53 1996 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 1996 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 1996 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Asahi Ryouji, Sakata Jiro, Osamu Tabata, Mochizuki Midori, Sugiyama Susumu, Taga Yasunori Asahi Ryouji, Sakata Jiro, Osamu Tabata, Mochizuki Midori, Sugiyama Susumu, Taga Yasunori Asahi Ryouji, Sakata Jiro, Osamu Tabata, Mochizuki Midori, Sugiyama Susumu, Taga Yasunori Integrated Pyroelectric Infrared Sensor Using PVDF Thin Film Deposited by Electro-Spray Method Integrated Pyroelectric Infrared Sensor Using PVDF Thin Film Deposited by Electro-Spray Method Integrated Pyroelectric Infrared Sensor Using PVDF Thin Film Deposited by Electro-Spray Method Materials Research Society, 310 Materials Research Society, 310 Materials Research Society, 310 1994 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Sugiyama Susumu, Shimaoka Keiichi, Osamu Tabata Sugiyama Susumu, Shimaoka Keiichi, Osamu Tabata Sugiyama Susumu, Shimaoka Keiichi, Osamu Tabata Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors Sensors and Materials, 4, 5 Sensors and Materials, 4, 5 Sensors and Materials, 4, 5 1993 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Susumu Sugiyama Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in TMAH Solutions Sensors and Actuators, A34, 1 Sensors and Actuators, A34, 1 Sensors and Actuators, A34, 1 1992/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Akimasa Tanaka, Masayoshi Suzuki, Ryouji Asahi, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama Akimasa Tanaka, Masayoshi Suzuki, Ryouji Asahi, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama Akimasa Tanaka, Masayoshi Suzuki, Ryouji Asahi, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama Infrared Linear Image Sensor Using a Poly-Si pn Junction Diode Array Infrared Linear Image Sensor Using a Poly-Si pn Junction Diode Array Infrared Linear Image Sensor Using a Poly-Si pn Junction Diode Array Infrared Physics, 33, 4 Infrared Physics, 33, 4 Infrared Physics, 33, 4 1992/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Nagata Tomio, Terabe Hiroaki, Kuwahara Sirou, Sakurai Sizuki, Osamu Tabata, Sugiyama Susumu, Esashi Masayoshi Nagata Tomio, Terabe Hiroaki, Kuwahara Sirou, Sakurai Sizuki, Osamu Tabata, Sugiyama Susumu, Esashi Masayoshi Nagata Tomio, Terabe Hiroaki, Kuwahara Sirou, Sakurai Sizuki, Osamu Tabata, Sugiyama Susumu, Esashi Masayoshi Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Sensors and Actuators, A34 Sensors and Actuators, A34 Sensors and Actuators, A34 1992 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, 村瀬 英寿, 阪野 修, 山田 日出夫 田畑 修, 村瀬 英寿, 阪野 修, 山田 日出夫 過渡的な微小圧力変化の光干渉を用いた測定 過渡的な微小圧力変化の光干渉を用いた測定 ながれ, 11, 3 ながれ, 11, 3 , 11, 3 1992 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
島岡 敬一, 田畑 修, 木村 雅人, 杉山 進 島岡 敬一, 田畑 修, 木村 雅人, 杉山 進 サーフェスマイクロマシーニング技術を用いたマイクロ圧力センサ サーフェスマイクロマシーニング技術を用いたマイクロ圧力センサ 電気学会C部門論文誌, 112-C, 12 電気学会C部門論文誌, 112-C, 12 , 112-C, 12 1992 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Susumu Sugiyama, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Susumu Sugiyama, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Susumu Sugiyama, Hideo Yamada Characteristics of a Silicon Monolithic Pressure-Flow Sensor for Air Mass Flow Rate Measurements Characteristics of a Silicon Monolithic Pressure-Flow Sensor for Air Mass Flow Rate Measurements Characteristics of a Silicon Monolithic Pressure-Flow Sensor for Air Mass Flow Rate Measurements Heat Transfer Japanese Research, 21, 8 Heat Transfer Japanese Research, 21, 8 Heat Transfer Japanese Research, 21, 8 1992 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, 稲垣 大, 杉山 進, 山田日出夫 田畑 修, 稲垣 大, 杉山 進, 山田日出夫 シリコン圧力・流量複合センサの空気流量検出特性 シリコン圧力・流量複合センサの空気流量検出特性 電気学会C部門論文誌, 111-C, 12 電気学会C部門論文誌, 111-C, 12 , 111-C, 12 1991 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Mitsuharu Takigawa Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Mitsuharu Takigawa Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Mitsuharu Takigawa Control of Internal Stress and Young's Modulus of Si3N4 and Polycrystalline Silicon Thin Films Using the Ion Implantation Technique Control of Internal Stress and Young's Modulus of Si3N4 and Polycrystalline Silicon Thin Films Using the Ion Implantation Technique Control of Internal Stress and Young's Modulus of Si3N4 and Polycrystalline Silicon Thin Films Using the Ion Implantation Technique Applied Physics Letters, 56, 14 Applied Physics Letters, 56, 14 Applied Physics Letters, 56, 14 1990/04 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array Sensors and Actuators, B1 Sensors and Actuators, B1 Sensors and Actuators, B1 1990/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, 杉山 進, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美 田畑 修, 杉山 進, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美 イオン注入法による圧力センサ用窒化シリコン薄膜の機械的物性制御 イオン注入法による圧力センサ用窒化シリコン薄膜の機械的物性制御 電気学会C部門論文誌, 110-C, 4 電気学会C部門論文誌, 110-C, 4 , 110-C, 4 1990 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Sensors and Actuators, 20 Sensors and Actuators, 20 Sensors and Actuators, 20 1989/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Monolithic Pressure-Flow Sensor Monolithic Pressure-Flow Sensor Monolithic Pressure-Flow Sensor IEEE Transactions on Electron Devices, ED-34, 12 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-34, 12 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-34, 12 1987/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Fast-Response Silicon Flow Sensor with an On-Chip Fluid Temperature Sensing Element Fast-Response Silicon Flow Sensor with an On-Chip Fluid Temperature Sensing Element Fast-Response Silicon Flow Sensor with an On-Chip Fluid Temperature Sensing Element IEEE Transactions on Electron Devices, ED-33, 3 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-33, 3 IEEE Transactions on Electron Devices, ED-33, 3 1986/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Junji Toyama, Osamu Tabata Junji Toyama, Osamu Tabata Junji Toyama, Osamu Tabata Clinical Application of Body Surface Mapping Clinical Application of Body Surface Mapping Clinical Application of Body Surface Mapping Japanese Circulation Journal, 45, 10 Japanese Circulation Journal, 45, 10 Japanese Circulation Journal, 45, 10 1981/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, 小堀博道, 外山淳治, 内藤義英, 山田和生 田畑 修, 小堀博道, 外山淳治, 内藤義英, 山田和生 空間フィルタを用いた体表面心臓電位図からの臨床情報抽出 空間フィルタを用いた体表面心臓電位図からの臨床情報抽出 空間フィルタを用いた体表面心臓電位図からの臨床情報抽出 医用電子と生体工学, 19, 4 医用電子と生体工学, 19, 4 医用電子と生体工学, 19, 4 1981/08 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
田畑 修, 外山淳治, 小堀博道, 渡辺敏文, 大野三良, 太田寿城, 小栗 孟, 内藤義英, 山田和生 田畑 修, 外山淳治, 小堀博道, 渡辺敏文, 大野三良, 太田寿城, 小栗 孟, 内藤義英, 山田和生 電位図上での心室興奮breakthroughの認識と電極配置 電位図上での心室興奮breakthroughの認識と電極配置 医用電子と生体工学, 19, 2 医用電子と生体工学, 19, 2 , 19, 2 1981/04 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開

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著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 書誌情報等 書誌情報等(日本語) 書誌情報等(英語) 出版年月 査読の有無 記述言語 掲載種別 公開
Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 英語 公開
Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 英語 公開
Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 英語 公開
Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 2015/04 英語 公開
K. Ban, K. Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, A. Terao, N. Mizutani, T. Kobayashi, Osamu Tabata K. Ban, K. Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, A. Terao, N. Mizutani, T. Kobayashi, Osamu Tabata K. Ban, K. Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, A. Terao, N. Mizutani, T. Kobayashi, Osamu Tabata Alkali metal source tablet for vapor cells of atomic magnetometers Alkali metal source tablet for vapor cells of atomic magnetometers Alkali metal source tablet for vapor cells of atomic magnetometers The 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum (IFCF-EFTF 2015), 0 The 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum (IFCF-EFTF 2015), 0 The 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & European Frequency and Time Forum (IFCF-EFTF 2015), 0 2015/04 英語 公開
朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 2015/03 英語 公開
土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. , 12p-D15-4. 2015/03 日本語 公開
X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 2015/02 英語 公開
A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 2015/01 英語 公開
K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 2015/01 英語 公開
K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 2015/01 英語 公開
K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 2014/11 英語 公開
H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki H. Shimizu, M. Iwamoto, Y. Oota, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, S. Oiki The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 22 2014/11 英語 公開
外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性 第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 20pm1-C1 第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 20pm1-C1 , 20pm1-C1 2014/10 日本語 公開
上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移 第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 20pm3-PM005 第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 20pm3-PM005 , 20pm3-PM005 2014/10 日本語 公開
菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm1-B1 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm1-B1 , 20pm1-B1 2014/10 日本語 公開
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm3-PS023 2014/10 英語 公開
平井義和, 田畑修, 清水啓史 平井義和, 田畑修, 清水啓史 X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発 X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発 化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2P22 化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2P22 , 2P22 2014/10 日本語 公開
Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 2014/10 英語 公開
A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 2014/10 英語 公開
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 722 2014/10 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 2014/09 英語 公開
上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 , J2240303 2014/09 日本語 公開
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 , J2240206 2014/09 日本語 公開
土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 , J2240106 2014/09 日本語 公開
上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 , B205 2014/08 日本語 公開
土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 , 講演番号528 2014/08 日本語 公開
土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 , OS1513 2014/07 日本語 公開
Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 英語 公開
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 英語 公開
菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 , MSS-14-011 2014/05 日本語 公開
平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 , 85-90 2014/05 日本語 公開
M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.F. El-Bab, Osamu Tabata, A.A. El-Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.F. El-Bab, Osamu Tabata, A.A. El-Moneim M. Gamil, K. Nakamura, A.M.R.F. El-Bab, Osamu Tabata, A.A. El-Moneim First-principles simulation on orientation dependence of piezoresistivity in graphene nanoribbon First-principles simulation on orientation dependence of piezoresistivity in graphene nanoribbon First-principles simulation on orientation dependence of piezoresistivity in graphene nanoribbon The 2nd International Conference on Engineering and Technology (ICET 2014), 1-6 The 2nd International Conference on Engineering and Technology (ICET 2014), 1-6 The 2nd International Conference on Engineering and Technology (ICET 2014), 1-6 2014/04 英語 公開
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 , 84 2014/03 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 イノベーション創出に向けた知の創出・蓄積・応用・伝承拠点 (ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開 : ベンチャー、中小から大企業まで(第5回)) イノベーション創出に向けた知の創出・蓄積・応用・伝承拠点 (ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開 : ベンチャー、中小から大企業まで(第5回)) 工業材料, 62, 10, 73-75 工業材料, 62, 10, 73-75 , 62, 10, 73-75 2014/01 日本語 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 , 14, 265-267 2014/01 日本語 公開
T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 2014 英語 公開
Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 2014 英語 公開
L. Li, L. Liu, Osamu Tabata, W.J. Li L. Li, L. Liu, Osamu Tabata, W.J. Li L. Li, L. Liu, Osamu Tabata, W.J. Li Elasticity measurement of DNA origami nanotube in liquid with tapping mode AFM Elasticity measurement of DNA origami nanotube in liquid with tapping mode AFM Elasticity measurement of DNA origami nanotube in liquid with tapping mode AFM The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2014), 684-687 The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2014), 684-687 The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2014), 684-687 2014 英語 公開
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 , 3P01 2013/12 日本語 公開
成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 , 5PM3-PSS-117 2013/11 日本語 公開
D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 2013/11 英語 公開
中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6PM3-PSS-058 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6PM3-PSS-058 , 6PM3-PSS-058 2013/11 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会2 小さな機械が創る大きな機会2 広島県府中高等学校, 0 広島県府中高等学校, 0 , 0 2013/11 日本語 公開
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 , 5PM3-PSS-013 2013/11 日本語 公開
辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 , 6AM2-A-4 2013/11 日本語 公開
M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013/11 英語 公開
田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会1 小さな機械が創る大きな機会1 平成25年度駿台予備学校主催「京都大学 特別講演会」, 0 平成25年度駿台予備学校主催「京都大学 特別講演会」, 0 , 0 2013/10 日本語 公開
種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 , OS1211 2013/10 日本語 公開
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 , pp. S28-S29 2013/09 日本語 公開
藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, T114 , T114 2013/09 日本語 公開
外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 , J211024 2013/09 日本語 公開
鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 , J211017 2013/09 日本語 公開
上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 , J211013 2013/09 日本語 公開
谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 , 129-131 2013/08 日本語 公開
中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 , 講演番号549 2013/08 日本語 公開
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Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 2013/07 英語 公開
Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 2013/04 英語 公開
加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ 平成25年電気学会全国大会, 193-194 平成25年電気学会全国大会, 193-194 , 193-194 2013/03 日本語 公開
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辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 , 2013, S-28 2013/01 日本語 公開
谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 , 13, 129-131 2013/01 日本語 公開
中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p , 30, 5p 2013/01 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p , 30, 6p 2013/01 日本語 公開
小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p , 30, 5p 2013/01 日本語 公開
T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 2013 英語 公開
Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 2013 英語 公開
K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 2013 英語 公開
A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 2013 英語 公開
Li Longhai, Tian Xiaojun, Dong Zaili, Liu Lianqing, Osamu Tabata, W.J. Li Li Longhai, Tian Xiaojun, Dong Zaili, Liu Lianqing, Osamu Tabata, W.J. Li Li Longhai, Tian Xiaojun, Dong Zaili, Liu Lianqing, Osamu Tabata, W.J. Li Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM The 2013 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 109-112 The 2013 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 109-112 The 2013 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 109-112 2013 英語 公開
Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Fred van Keulen, Osamu Tabata Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Fred van Keulen, Osamu Tabata Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Fred van Keulen, Osamu Tabata Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1625-1628 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1625-1628 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1625-1628 2013 英語 公開
A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 2013 英語 公開
T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 2013 英語 公開
L. Li; X. Tian; Z. Dong; L. Liu; O. Tabata; W.J. Li L. Li; X. Tian; Z. Dong; L. Liu; O. Tabata; W.J. Li L. Li; X. Tian; Z. Dong; L. Liu; O. Tabata; W.J. Li Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM Manipulation of DNA origami nanotubes in liquid using a programmable tapping mode AFM 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2013, 56-59 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2013, 56-59 8th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE NEMS 2013, 56-59 2013 英語 公開
A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 英語 公開
K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 英語 公開
F.C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata F.C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata F.C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1625-1628 2013 英語 公開
田畑 修 田畑 修 小さな機械が創る大きな機会3 小さな機械が創る大きな機会3 「東京で学ぶ 京大の知」身近なナノテクノロジーの世界, 0 「東京で学ぶ 京大の知」身近なナノテクノロジーの世界, 0 , 0 2012/12 日本語 公開
Mohammed Gamil, Koichi Nakamura, Ahmed Fath El-Bab, Osamu Tabata, Mohamed Serry, Ahmed Abd El-Moneim Mohammed Gamil, Koichi Nakamura, Ahmed Fath El-Bab, Osamu Tabata, Mohamed Serry, Ahmed Abd El-Moneim Mohammed Gamil, Koichi Nakamura, Ahmed Fath El-Bab, Osamu Tabata, Mohamed Serry, Ahmed Abd El-Moneim Evaluation of Starin Gauge Factors of Graphene Ribbon Models Based on First-Principles Electronic- State Calculations Evaluation of Starin Gauge Factors of Graphene Ribbon Models Based on First-Principles Electronic- State Calculations Evaluation of Starin Gauge Factors of Graphene Ribbon Models Based on First-Principles Electronic- State Calculations 1st International Conference on Innovative Engineering Systems (IEEE-RAS ICIES2012), 0 1st International Conference on Innovative Engineering Systems (IEEE-RAS ICIES2012), 0 1st International Conference on Innovative Engineering Systems (IEEE-RAS ICIES2012), 0 2012/12 英語 公開
種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 , P-G2-1 2012/10 日本語 公開
鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 , OS7-3-5 2012/10 日本語 公開
K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, M. Yoshioka, L. Liu, M. Nakajima, Q. Yuan, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, M. Yoshioka, L. Liu, M. Nakajima, Q. Yuan, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, M. Yoshioka, L. Liu, M. Nakajima, Q. Yuan, Y. Chen, Osamu Tabata Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials The 16th International Conference on. Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2012), 1063-1065 The 16th International Conference on. Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2012), 1063-1065 The 16th International Conference on. Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2012), 1063-1065 2012/10 英語 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 , OS1909 2012/09 日本語 公開
中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 , 702 2012/09 日本語 公開
土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 , 701 2012/09 日本語 公開
F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 0 2012/09 英語 公開
F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata F. van Kempen, Yoshikazu Hirai, F. van Keulen, Osamu Tabata Optimization techniques for gray-scale photolithography Optimization techniques for gray-scale photolithography Optimization techniques for gray-scale photolithography The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 0 2012/07 英語 公開
Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 2012/07 英語 公開
西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 , MSS-12, 1-22, 29-32 2012/06/11 日本語 公開
片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 , MSS-12, 1-22, 33-38 2012/06/11 日本語 公開
田畑修 田畑修 (招待講演)DNAナノテクノロジーを用いたナノ構造とMEMSの融合に向けて (招待講演)DNAナノテクノロジーを用いたナノ構造とMEMSの融合に向けて 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 0 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 0 , 0 2012/06 日本語 公開
西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 , 29-32 2012/06 日本語 公開
Kenichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Osamu Tabata Kenichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Osamu Tabata Kenichiro Kamei, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Li Liu, Qinghua Yuan, Osamu Tabata Phenotypic Modulation of Pluripotent Stem Cells by Microfabrication Materials Phenotypic Modulation of Pluripotent Stem Cells by Microfabrication Materials Phenotypic Modulation of Pluripotent Stem Cells by Microfabrication Materials The International Society for Stem Cell Research (ISSCR) 10th Annual Meeting, T-2262 The International Society for Stem Cell Research (ISSCR) 10th Annual Meeting, T-2262 The International Society for Stem Cell Research (ISSCR) 10th Annual Meeting, T-2262 2012/06 英語 公開
Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012/04 英語 公開
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012/04 英語 公開
T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 2012/03 英語 公開
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 2012/03 英語 公開
S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 2012/03 英語 公開
K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata K. Kamei, Yoshikazu Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, M. Yoshioka, Y. Chen, Osamu Tabata Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs) The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 558-559 2012/03 英語 公開
C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 2012/03 英語 公開
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A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 2012/02 英語 公開
片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 , 2012, 1, 33-38 2012/01 日本語 公開
西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 , 2012, 1, 29-32 2012/01 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 2012/01 英語 公開
S. Z. Kiss, D. S. Hautzinger, Osamu Tabata, J. G. Korvink S. Z. Kiss, D. S. Hautzinger, Osamu Tabata, J. G. Korvink S. Z. Kiss, D. S. Hautzinger, Osamu Tabata, J. G. Korvink AuNPs conjugate DNA origami nanotubes for nanophotonic application AuNPs conjugate DNA origami nanotubes for nanophotonic application AuNPs conjugate DNA origami nanotubes for nanophotonic application The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 402-404 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 402-404 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 402-404 2012/01 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 英語 公開
T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 2012 英語 公開
H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Procedia Engineering, 47, 402-405 Procedia Engineering, 47, 402-405 Procedia Engineering, 47, 402-405 2012 英語 公開
A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 2012 英語 公開
O. Tabata O. Tabata O. Tabata Welcome message Welcome message Welcome message 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012 2012 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2012 2012 英語 公開
H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 2012 英語 公開
M. Gamil; K. Nakamura; A.M.R.F. El-Bab; O. Tabata; M. Serry; A.A. El-Moneim M. Gamil; K. Nakamura; A.M.R.F. El-Bab; O. Tabata; M. Serry; A.A. El-Moneim M. Gamil; K. Nakamura; A.M.R.F. El-Bab; O. Tabata; M. Serry; A.A. El-Moneim Evaluation of strain gauge factors of graphene ribbon models based on first-principles electronic-state calculations Evaluation of strain gauge factors of graphene ribbon models based on first-principles electronic-state calculations Evaluation of strain gauge factors of graphene ribbon models based on first-principles electronic-state calculations Proceedings of the 2012 1st International Conference on Innovative Engineering Systems, ICIES 2012, 52-57 Proceedings of the 2012 1st International Conference on Innovative Engineering Systems, ICIES 2012, 52-57 Proceedings of the 2012 1st International Conference on Innovative Engineering Systems, ICIES 2012, 52-57 2012 英語 公開
平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 , ECT-11, 102-112, 7-11 2011/11/21 日本語 公開
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011/11 英語 公開
平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 , 7-11 2011/11 日本語 公開
T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011/10 英語 公開
A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011/10 英語 公開
亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 89-92 , 89-92 2011/09 日本語 公開
上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 , J161021 2011/09 日本語 公開
西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 , 289 2011/09 日本語 公開
Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 623-626 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 623-626 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 623-626 2011/09 英語 公開
菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 , 149-153 2011/09 日本語 公開
平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 , 334-339 2011/09 日本語 公開
片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 , 107-110 2011/09 日本語 公開
菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 2011/07/01 日本語 公開
北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 2011/07/01 日本語 公開
菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 2011/07/01 日本語 公開
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 , No.11 2011/07 日本語 公開
Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011/07 英語 公開
K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 365-369 ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 365-369 ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 365-369 2011/07 英語 公開
K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011/06 英語 公開
P.S. Thakur; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata P.S. Thakur; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Praveen Singh Thakur, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2006-2009 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2006-2009 The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11),, 2006-2009 2011/06 日本語 公開
K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011/06 英語 公開
菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 , 83-86 2011/06 日本語 公開
平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 2011/06 英語 公開
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 , 31-36 2011/06 日本語 公開
吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 平成23年電気学会全国大会, 186-187 平成23年電気学会全国大会, 186-187 , 186-187 2011/03 日本語 公開
C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197-200 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197-200 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197-200 2011/02 英語 公開
Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184-187 2011/02 英語 公開
K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 2011/02 英語 公開
M. Li; L. Liu; N. Xi; Y. Wang; Z. Dong; G. Li; O. Tabata; X. Xiao; W. Zhang M. Li; L. Liu; N. Xi; Y. Wang; Z. Dong; G. Li; O. Tabata; X. Xiao; W. Zhang M. Li; L. Liu; N. Xi; Y. Wang; Z. Dong; G. Li; O. Tabata; X. Xiao; W. Zhang Imaging and measuring the protein distribution of lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the protein distribution of lymphoma cells using atomic force microscopy Imaging and measuring the protein distribution of lymphoma cells using atomic force microscopy NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 2011/02 英語 公開
Thakur,Praveen Singh; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Thakur,Praveen Singh; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Thakur,Praveen Singh; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297-1300 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297-1300 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297-1300 2011/02 英語 公開
菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 , 2011, 1, 73-78 2011/01 日本語 公開
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 , 2011, 1, 31-36 2011/01 日本語 公開
菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 , 2011, 1, 83-86 2011/01 日本語 公開
H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241-1245 2011/01 英語 公開
A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 2011/01 英語 公開
Y. Hirai; K.-I. Kamei; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; Y. Chen; O. Tabata Y. Hirai; K.-I. Kamei; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; Y. Chen; O. Tabata Y. Hirai; K.-I. Kamei; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; Y. Chen; O. Tabata MESC and hiPSC proliferation on negative photoresists for microfluidics MESC and hiPSC proliferation on negative photoresists for microfluidics MESC and hiPSC proliferation on negative photoresists for microfluidics Procedia Engineering, 25, 1233-1236 Procedia Engineering, 25, 1233-1236 Procedia Engineering, 25, 1233-1236 2011/01 英語 公開
T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope Procedia Engineering, 25, 51-54 Procedia Engineering, 25, 51-54 Procedia Engineering, 25, 51-54 2011/01 英語 公開
M. Sato; I. Kanno; H. Kotera; O. Tabata M. Sato; I. Kanno; H. Kotera; O. Tabata M. Sato; I. Kanno; H. Kotera; O. Tabata Piezoelectric MEMS deformable mirrors with high-density actuator array Piezoelectric MEMS deformable mirrors with high-density actuator array Piezoelectric MEMS deformable mirrors with high-density actuator array Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 24th Vol.2, 1264-1268 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 24th Vol.2, 1264-1268 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 24th Vol.2, 1264-1268 2011/01 英語 公開
平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 , 2011, 102, 7-11 2011/01 日本語 公開
A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 英語 公開
M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1265-1268 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1265-1268 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1265-1268 2011 英語 公開
K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 2011 英語 公開
T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 2011 英語 公開
K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 2011 英語 研究論文 公開
田畑 修 田畑 修 アナリシスとシンセシス アナリシスとシンセシス Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, 13, 7 Journal of Japan Institute of Electronics Packaging, 13, 7 , 13, 7 2010/11/01 日本語 公開
Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 2010/11 英語 公開
脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 , 2nd, 149-150 2010/10/12 日本語 公開
徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 , 2010, 2, 141-142 2010/10/12 日本語 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 , 2010, 2, 141-142 2010/10 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 , 656-661 2010/10 日本語 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 , 141-142 2010/10 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 , 149-150 2010/10 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 , 2010, 2, 149-150 2010/10 日本語 公開
脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 , 2010, Vol.8, 243-244 2010/09/04 日本語 公開
谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 , 2010, Vol.8, 255-256 2010/09/04 日本語 公開
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 , 2010, 8, 255-256 2010/09 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 , 2010, 8, 243-244 2010/09 日本語 公開
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 , 0 2010/09 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 (110)単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 , 0 2010/09 日本語 公開
A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration Procedia Engineering, 5, 1304-1307 Procedia Engineering, 5, 1304-1307 Procedia Engineering, 5, 1304-1307 2010/09 英語 公開
Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists Procedia Engineering, 5, 854-857 Procedia Engineering, 5, 854-857 Procedia Engineering, 5, 854-857 2010/09 英語 公開
Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 2010/07 英語 公開
Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 2010/07 英語 公開
菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 , MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 2010/06/17 日本語 公開
菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 , 2010, 1, 139-144 2010/06 日本語 公開
脇田拓, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 池原 毅 脇田拓, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 池原 毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 , 39-40 2010/03 日本語 公開
G. Lopez; T. Tanemura; R. Sato; T. Saeki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda G. Lopez; T. Tanemura; R. Sato; T. Saeki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda G. Lopez; T. Tanemura; R. Sato; T. Saeki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245-249 2010/01 英語 公開
辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 2010 日本語 公開
R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 2010 英語 公開
脇田拓;菅野公二;土屋智由;田畑修;池原毅 脇田拓;菅野公二;土屋智由;田畑修;池原毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 26th, ROMBUNNO.M2-3 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 26th, ROMBUNNO.M2-3 , 26th, ROMBUNNO.M2-3 2009/10/15 日本語 公開
脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 , 39-40 2009/10 日本語 公開
菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 ナノ粒子を所望のパターンに配列する ナノ粒子を所望のパターンに配列する APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 , 0 2009/10 日本語 公開
菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 , 0 2009/10 日本語 公開
徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 , 518-523 2009/10 日本語 公開
中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 , 483-486 2009/10 日本語 公開
平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 , 533-538 2009/10 日本語 公開
徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 , 2009, 8, 69-70 2009/09/12 日本語 公開
徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 , 8, 69-70 2009/09 日本語 公開
徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 , 2009, 8, 69-70 2009/09 日本語 公開
菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 , MSS-09, 1-13, 7-12 2009/07/23 日本語 公開
菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 , 7-12 2009/07 日本語 公開
菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 , 2009, 1, 7-12 2009/07 日本語 公開
田畑修 田畑修 MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem―トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計 MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem―トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計 システム/制御/情報, 53, 6, 250-255 システム/制御/情報, 53, 6, 250-255 , 53, 6, 250-255 2009/06/15 日本語 公開
Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 2009/06 英語 公開
SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 2009/04 英語 公開
F.V. Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F.V. Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F.V. Keulen; Y. Hirai; O. Tabata Automated optimization of light dose distribution for moving-mask lithography Automated optimization of light dose distribution for moving-mask lithography Automated optimization of light dose distribution for moving-mask lithography 2009 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, 0 2009 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, 0 2009 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, 0 2009/04 英語 公開
佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 2009/04 英語 公開
浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 , 2009, 3, 182-183 2009/03/17 日本語 公開
浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 電気学会全国大会, 3, 182-183 電気学会全国大会, 3, 182-183 , 3, 182-183 2009/03 日本語 公開
T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 2009/01 英語 公開
Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 2009/01 英語 公開
Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 2009 英語 公開
Y. Zhang; W.J. Li; O. Tabata Y. Zhang; W.J. Li; O. Tabata Y. Zhang; W.J. Li; O. Tabata Extreme-low-power thermal convective accelerometer based on cnt sensing element Extreme-low-power thermal convective accelerometer based on cnt sensing element Extreme-low-power thermal convective accelerometer based on cnt sensing element 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2009, 1040-1042 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2009, 1040-1042 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2009, 1040-1042 2009 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 2009 英語 研究論文 公開
HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 2008/10/22 英語 公開
中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 2008/10 英語 公開
Hirai Yoshikazu, Inamoto Yoshiteru, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Inamoto Yoshiteru, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Inamoto Yoshiteru, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique 25th Sensor Symposium, 15-20 25th Sensor Symposium, 15-20 25th Sensor Symposium, 15-20 2008/10 英語 公開
F. Van Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F. Van Keulen; Y. Hirai; O. Tabata F. Van Keulen; Y. Hirai; O. Tabata Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 0 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 0 12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 0 2008/09 英語 公開
Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 2008/09 英語 公開
中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 , 2008, Vol.8, 23-24 2008/08/02 日本語 公開
土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 , 8, 157-158 2008/08 日本語 公開
中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 , 8, 23-24 2008/08 日本語 公開
Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Shuji Taue, Sunao Ichihara, Yasuyuki Sugihara, Kiyoshi Ishikawa, Hideyuki Sugioka, Natsuhiko Mizutani, Shujie Liu, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Tetsuo Kobayashi Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 The 16th International Conference on Biomagnetism, 0 2008/08 英語 公開
佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 , 0 2008/07 日本語 公開
平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 , MSS-08, 1-21, 1-6 2008/06/12 日本語 公開
菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 , 61-66 2008/06 日本語 公開
平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 , 1-6 2008/06 日本語 公開
A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 186-192 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 186-192 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 186-192 2008/05 英語 公開
T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics FNANO2008, 0 FNANO2008, 0 FNANO2008, 0 2008/04 英語 公開
平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 , 3, 138-139 2008/03 日本語 公開
濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 , 3, 195-196 2008/03 日本語 公開
樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 , 0 2008/03 日本語 公開
佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 , 0 2008/03 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 2008/01 英語 公開
Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 2008/01 英語 公開
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 2008/01 英語 公開
Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 2008/01 英語 公開
Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 2008/01 英語 公開
T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 2008 英語 公開
Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 2008 英語 公開
T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 2008 英語 公開
T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 2008 英語 公開
T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 2008 英語 公開
K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 2008 英語 公開
O. Tabata O. Tabata O. Tabata Micro/nano assembly as a key to realize NEMS Micro/nano assembly as a key to realize NEMS Micro/nano assembly as a key to realize NEMS 5th Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2008, 248-256 5th Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2008, 248-256 5th Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2008, 248-256 2008 英語 公開
H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 2008 英語 公開
杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 杉原 靖幸, 田上 周路, 市原 直, 石川 潔, 水谷 夏彦, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測 生体医工学シンポジウム2008, 0 生体医工学シンポジウム2008, 0 , 0 2008 日本語 公開
Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 2007/12 英語 公開
MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 2007/10/16 英語 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 2007/10 英語 公開
Yuki, Uchida; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yuki, Uchida; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yuki, Uchida; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 183-186, 183-186 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 183-186, 183-186 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 183-186, 183-186 2007/10 英語 公開
柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 柏井 茂達, 田上 周路, 石川 潔, 市原 直, 杉岡 秀行, 平井 義和, 田畑 修, 小林 哲生 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 電気学会マグネティックス研究会, 19-24 , 19-24 2007/10 日本語 公開
土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 高温薄膜引張試験装置の開発 高温薄膜引張試験装置の開発 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 , 1, 729-730 2007/09 日本語 公開
Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Silicon and Related Materials (Chapter 1) Silicon and Related Materials (Chapter 1) Silicon and Related Materials (Chapter 1) Comprehensive Microsystems,, p. 1 Comprehensive Microsystems,, p. 1 Comprehensive Microsystems,, p. 1 2007/09 英語 公開
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 , 303-304 2007/09 日本語 公開
田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 低侵襲触覚センサーの構造設計 低侵襲触覚センサーの構造設計 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 , 307-308 2007/09 日本語 公開
種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 , 313-314 2007/09 日本語 公開
日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 19-20 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 19-20 , 19-20 2007/08 日本語 公開
尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 , 52-53 2007/08 日本語 公開
T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 2007/07 英語 公開
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 電気学会総合研究会, 19-24 電気学会総合研究会, 19-24 , 19-24 2007/07 日本語 公開
田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気学会総合研究会, 79-84 電気学会総合研究会, 79-84 , 79-84 2007/07 日本語 公開
Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 2007/06 英語 公開
S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 2007/06 英語 公開
Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 2007/06 英語 公開
菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 化学とマイクロシステム, 0 化学とマイクロシステム, 0 , 0 2007/06 日本語 公開
城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 , 0 2007/03 日本語 公開
菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 2007/03 日本語 公開
日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 , 82-83 2007/03 日本語 公開
稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 , 181-182 2007/03 日本語 公開
Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 2007/01 英語 公開
Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 2007/01 英語 公開
Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya 64) Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments 64) Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments 64) Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 2007/01 英語 公開
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 2007/01 英語 公開
K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 2007 英語 公開
Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267-270 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267-270 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267-270 2007 英語 公開
T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 2007 英語 公開
H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 2007 英語 公開
K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 2007 英語 公開
H. Yagyu; O. Tabata H. Yagyu; O. Tabata H. Yagyu; O. Tabata Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 215-218 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 215-218 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 215-218 2007 英語 公開
H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 2007 英語 公開
Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 2007 英語 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 2007 英語 公開
池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 , 0 2006/12 日本語 公開
城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 , 0 2006/12 日本語 公開
OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 2006/10/05 英語 公開
Hiroyuki, Hamaguchi; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki, Hamaguchi; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Hiroyuki, Hamaguchi; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes Proceedings of the 23rd Sensor Symposium,, pp. 471-474, 471-474 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium,, pp. 471-474, 471-474 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium,, pp. 471-474, 471-474 2006/10 英語 公開
Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 2006/10 英語 公開
平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 , 471-476 2006/10 日本語 公開
宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 日本機械学会2006年年次大会, 0 日本機械学会2006年年次大会, 0 , 0 2006/09 日本語 公開
Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 2006/06 英語 公開
Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 2006/06 英語 公開
田畑 修 田畑 修 マイクロシステムを構築するための3次元微細加工技術 マイクロシステムを構築するための3次元微細加工技術 ラドテック講演会, 0 ラドテック講演会, 0 , 0 2006/06 日本語 公開
Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 2006/05 英語 公開
菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気学会E部門総合研究会, 61-66 電気学会E部門総合研究会, 61-66 , 61-66 2006/05 日本語 公開
池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 , MSS-06-18, 83-87 2006/05 日本語 公開
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W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 2006/01 英語 公開
Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 2006/01 英語 公開
K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 2006 英語 公開
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S. Wakida, H. Ishii, N. Naruishi, T. Miyado, M. Kurokawa, S. Shimotsuma, T. Demura, Osamu Tabata S. Wakida, H. Ishii, N. Naruishi, T. Miyado, M. Kurokawa, S. Shimotsuma, T. Demura, Osamu Tabata S. Wakida, H. Ishii, N. Naruishi, T. Miyado, M. Kurokawa, S. Shimotsuma, T. Demura, Osamu Tabata Multichannel Microfluidic Chip Based on Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process Multichannel Microfluidic Chip Based on Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process Multichannel Microfluidic Chip Based on Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), 0 Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), 0 Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), 0 2005/05 英語 公開
黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 田中 登紀子, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 田中 登紀子, 田畑 修 流路の両側にリブを有する射出成型マイクロデバイスの開発 流路の両側にリブを有する射出成型マイクロデバイスの開発 第11回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 0 第11回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 0 , 0 2005/05 日本語 公開
脇田 慎一, 石井 秀幸, 鳴石 奈穂子, 宮道 隆, 黒川 正也, 下間 昌, 出村 民, 田畑 修 脇田 慎一, 石井 秀幸, 鳴石 奈穂子, 宮道 隆, 黒川 正也, 下間 昌, 出村 民, 田畑 修 LIGA プラスチックレプリカプロセスによるマルチチャネル電気泳動チップ LIGA プラスチックレプリカプロセスによるマルチチャネル電気泳動チップ 電気化学会第72回大会, 130-132 電気化学会第72回大会, 130-132 , 130-132 2005/04 日本語 公開
黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発−ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発−ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, 63-66 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, 63-66 , 63-66 2005/03 日本語 公開
平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 平井 義和, 松塚 直樹, 田畑 修 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証 機械学会情報知能部門会議, 0 機械学会情報知能部門会議, 0 , 0 2005/03 日本語 公開
石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 3形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 3形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 日本金属学会2005年度春季大会, 0 日本金属学会2005年度春季大会, 0 , 0 2005/03 日本語 公開
原田 雅史, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, 高木 一好, 松田 十四夫 原田 雅史, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, 高木 一好, 松田 十四夫 マイクロチップゲル電気泳動法によるDNAの検出 マイクロチップゲル電気泳動法によるDNAの検出 日本化学会第85春季年会, 0 日本化学会第85春季年会, 0 , 0 2005/03 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 MEMSの技術動向と材料 MEMSの技術動向と材料 新化学発展協会, 0 新化学発展協会, 0 , 0 2005/03 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 X線リソグラフィによる3次元加工とMEMSへの応用 X線リソグラフィによる3次元加工とMEMSへの応用 2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会, 52 2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会, 52 , 52 2005/03 日本語 公開
石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 石田 章, 佐藤 守夫, 澤口 孝宏, 田畑 修, 吉川 弥 形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 形状記憶合金薄膜の微細組織と力学的特性 日本金属学会2005年度春季大会, 0 日本金属学会2005年度春季大会, 0 , 0 2005/03 日本語 公開
Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 2005 英語 公開
M. Sugimoto; K. Minai; M. Uemura; S. Nishio; O. Tabata M. Sugimoto; K. Minai; M. Uemura; S. Nishio; O. Tabata M. Sugimoto; K. Minai; M. Uemura; S. Nishio; O. Tabata A novel micro COunter-stream-mode OScillating-flow (COSMOS) heat-pipe A novel micro COunter-stream-mode OScillating-flow (COSMOS) heat-pipe A novel micro COunter-stream-mode OScillating-flow (COSMOS) heat-pipe Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 606-609 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 606-609 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 606-609 2005 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Computational MEMS Process Design and Process Development Computational MEMS Process Design and Process Development Computational MEMS Process Design and Process Development IIASA Technische Universitt Mnchen Kyoto University, The Second Joint International Seminar on Applied Analysis and Synthesis of Complex Systems, 0 IIASA Technische Universitt Mnchen Kyoto University, The Second Joint International Seminar on Applied Analysis and Synthesis of Complex Systems, 0 IIASA Technische Universitt Mnchen Kyoto University, The Second Joint International Seminar on Applied Analysis and Synthesis of Complex Systems, 0 2005 英語 公開
S Wakida, H .Ishii, N Naruishi, T Miyado, M Kurokawa, S Shimotsuma, T Demura, Osamu Tabata S Wakida, H .Ishii, N Naruishi, T Miyado, M Kurokawa, S Shimotsuma, T Demura, Osamu Tabata S Wakida, H .Ishii, N Naruishi, T Miyado, M Kurokawa, S Shimotsuma, T Demura, Osamu Tabata LIGA Multichannel Plastic Biochip for Genetic Analysis LIGA Multichannel Plastic Biochip for Genetic Analysis LIGA Multichannel Plastic Biochip for Genetic Analysis Biosensors2005, 0 Biosensors2005, 0 Biosensors2005, 0 2005 英語 公開
Shin-ichi Wakida, Nahoko Naruishi, Takashi Miyado, Hideyuki Ishii, Masaya Kurokawa, Sakae Shimotsuma, Tami Demura, Osamu Tabata Shin-ichi Wakida, Nahoko Naruishi, Takashi Miyado, Hideyuki Ishii, Masaya Kurokawa, Sakae Shimotsuma, Tami Demura, Osamu Tabata Shin-ichi Wakida, Nahoko Naruishi, Takashi Miyado, Hideyuki Ishii, Masaya Kurokawa, Sakae Shimotsuma, Tami Demura, Osamu Tabata Multichannel Microchip Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Replication Process Multichannel Microchip Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Replication Process Multichannel Microchip Capillary Electrophoresis Using Industrial LIGA Replication Process The 5th Asia-Pacific International Symposium on Micro Scale Separations and Analysis (APCE2004), 110 The 5th Asia-Pacific International Symposium on Micro Scale Separations and Analysis (APCE2004), 110 The 5th Asia-Pacific International Symposium on Micro Scale Separations and Analysis (APCE2004), 110 2004/12 英語 公開
A. Ishida, M. Sato, Osamu Tabata, W. Yoshikawa A. Ishida, M. Sato, Osamu Tabata, W. Yoshikawa A. Ishida, M. Sato, Osamu Tabata, W. Yoshikawa Shape memory thin films formed with carrousel type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel type magnetron sputtering apparatus Shape memory thin films formed with carrousel type magnetron sputtering apparatus Third International Workshop on Smart Sensors in Livestock Monitoring, 10-11 Third International Workshop on Smart Sensors in Livestock Monitoring, 10-11 Third International Workshop on Smart Sensors in Livestock Monitoring, 10-11 2004/09 英語 公開
W. Yoshikawa; A. Sasabe; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; O. Tabata; A. Ishida W. Yoshikawa; A. Sasabe; O. Tabata; A. Ishida Vertical direction drive micro actuator using shape memory alloy thin film with flexible joints Vertical direction drive micro actuator using shape memory alloy thin film with flexible joints Vertical direction drive micro actuator using shape memory alloy thin film with flexible joints Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium \\'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society\\' The 21st Century, 87-92 Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium \\'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society\\' The 21st Century, 87-92 Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium \\'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society\\' The 21st Century, 87-92 2004/07 英語 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547-552 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547-552 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547-552 2004/07 英語 公開
Takamitsu Kakinaga, Ayako Hatai, Yoshitada Isono, Osamu Tabata Takamitsu Kakinaga, Ayako Hatai, Yoshitada Isono, Osamu Tabata Takamitsu Kakinaga, Ayako Hatai, Yoshitada Isono, Osamu Tabata Improved Petentail Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching Improved Petentail Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching Improved Petentail Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching 4th Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 4th Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 4th Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2004/05 英語 公開
Shinichi Wakida, Nahoko Naruishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Osamu Tabata Shinichi Wakida, Nahoko Naruishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Osamu Tabata Shinichi Wakida, Nahoko Naruishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Osamu Tabata High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Using Industrial LIGA Plastic Replica Process The first International Symposium on Micro & Nano Technology, 38 The first International Symposium on Micro & Nano Technology, 38 The first International Symposium on Micro & Nano Technology, 38 2004/03 英語 公開
H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata Rapid Prototyping of Glass Chip with Micro-Powder Blasting using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Rapid Prototyping of Glass Chip with Micro-Powder Blasting using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Rapid Prototyping of Glass Chip with Micro-Powder Blasting using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 697-700 The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 697-700 The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 697-700 2004/01 英語 公開
N. Matsuzuka; Y. Hirai; O. Tabata N. Matsuzuka; Y. Hirai; O. Tabata N. Matsuzuka; Y. Hirai; O. Tabata A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep X-ray lithography A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep X-ray lithography A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep X-ray lithography Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 681-684 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 681-684 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 681-684 2004 英語 公開
H. Yagyu; K. Sugano; S. Hayashi; O. Tabata H. Yagyu; K. Sugano; S. Hayashi; O. Tabata H. Yagyu; K. Sugano; S. Hayashi; O. Tabata Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 697-700 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 697-700 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 697-700 2004 英語 公開
中村 雄志, 三苫 佳代, 田畑 修, 藤井 泰久 中村 雄志, 三苫 佳代, 田畑 修, 藤井 泰久 放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用 放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, 9-12 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, 9-12 , 9-12 2004 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 X線応用微細加工技術とプラスチック製マルチチャネル電気泳動チップへの応用 X線応用微細加工技術とプラスチック製マルチチャネル電気泳動チップへの応用 第4回大阪工業大学バイオベンチャーフォーラム, 0 第4回大阪工業大学バイオベンチャーフォーラム, 0 , 0 2004 日本語 公開
黒川 正也, 老子 真人, 田中 登紀子, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 老子 真人, 田中 登紀子, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(2) 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(2) 第9回 化学とマイクロナノシステム研究会, 0 第9回 化学とマイクロナノシステム研究会, 0 , 0 2004 日本語 公開
西尾 茂文, 上村 光宏, 藤井 泰久, 楠神 久人, 田畑 修, 杉本 雅宏, 南井 雅登 西尾 茂文, 上村 光宏, 藤井 泰久, 楠神 久人, 田畑 修, 杉本 雅宏, 南井 雅登 複動ピエゾポンプを用いたCOSMOS heat pipe の熱輸送能力検証試験 複動ピエゾポンプを用いたCOSMOS heat pipe の熱輸送能力検証試験 日本機械学会熱工学コンファレンス, No.04-28, 0 日本機械学会熱工学コンファレンス, No.04-28, 0 , No.04-28, 0 2004 日本語 公開
黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(3)ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発(3)ガラスプレートインサートPDMS射出成形品 化学とマイクロシステム研究会, 0 化学とマイクロシステム研究会, 0 , 0 2004 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 LIGAプロセス LIGAプロセス 精密工学会第297回講習会 ナノ・マイクロ加工の基礎講座, 6-10 精密工学会第297回講習会 ナノ・マイクロ加工の基礎講座, 6-10 , 6-10 2004 日本語 公開
Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, Osamu Tabata, J. G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, Osamu Tabata, J. G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, Osamu Tabata, J. G. Korvink Anisotropic Etching Simulation of Silicon using Interatomic Bond Cutting Probability Anisotropic Etching Simulation of Silicon using Interatomic Bond Cutting Probability Anisotropic Etching Simulation of Silicon using Interatomic Bond Cutting Probability 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 195-198 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 195-198 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 195-198 2004 日本語 公開
Hiromasa Yagyu, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata Fabrication of Plastic Microneedle Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Microneedle Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding Fabrication of Plastic Microneedle Array using Laser Micromachining of Nanoparticles Dispersed Polymer and Micromolding 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 215-220 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 215-220 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 215-220 2004 日本語 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2 Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2 Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483-488 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483-488 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483-488 2004 日本語 公開
楠原賢治, 菅野公二, 田畑 修, 柳生裕聖 楠原賢治, 菅野公二, 田畑 修, 柳生裕聖 マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製 マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製 電気学会E部門総合研究会, 75-80 電気学会E部門総合研究会, 75-80 , 75-80 2004 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 放射光を用いた3次元微細加工技術 放射光を用いた3次元微細加工技術 立命館大学SRセンター研究成果報告会, 0 立命館大学SRセンター研究成果報告会, 0 , 0 2004 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 田畑研究室におけるMEMS研究-present & future 田畑研究室におけるMEMS研究-present & future センシング技術応用研究会MEMS分科会, 0 センシング技術応用研究会MEMS分科会, 0 , 0 2004 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 MEMS最前線と将来の夢 MEMS最前線と将来の夢 第10回KYO-NANO会「ナノテクNEMS(MEMS)の活用法と将来展望」, 0 第10回KYO-NANO会「ナノテクNEMS(MEMS)の活用法と将来展望」, 0 , 0 2004 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 MEMS分野におけるゲル材料の応用可能性 MEMS分野におけるゲル材料の応用可能性 高分子学会ワークショップ, 0 高分子学会ワークショップ, 0 , 0 2004 日本語 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 191-194 2004 英語 公開
田畑 修 田畑 修 マイクロマシニング・マイクロタス マイクロマシニング・マイクロタス クライアントコンファレンスアンドワークショップ, 0 クライアントコンファレンスアンドワークショップ, 0 , 0 2003/01 日本語 公開
Osamu Tabata, Naoki Tanaka, Haruki Shiraishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Nahoko Naruishi, Shin-ichi Wakida Osamu Tabata, Naoki Tanaka, Haruki Shiraishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Nahoko Naruishi, Shin-ichi Wakida Osamu Tabata, Naoki Tanaka, Haruki Shiraishi, Tami Demura, Masaya Kurokawa, Fumio Tsujikawa, Nahoko Naruishi, Shin-ichi Wakida Replicate Process for High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Replicate Process for High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis Replicate Process for High Density Multichannel Plastic Chip for Genetic Analysis International Symposium on Microchemistry and Microsystem (ISMM2003), 51-52 International Symposium on Microchemistry and Microsystem (ISMM2003), 51-52 International Symposium on Microchemistry and Microsystem (ISMM2003), 51-52 2003/01 英語 公開
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K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF<sub>2</sub> etching of Si Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF<sub>2</sub> etching of Si Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF<sub>2</sub> etching of Si Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62-69 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62-69 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62-69 2003 英語 公開
O. Tabata; H. Kojima; T. Kasatani; Y. Isono; R. Yoshida O. Tabata; H. Kojima; T. Kasatani; Y. Isono; R. Yoshida O. Tabata; H. Kojima; T. Kasatani; Y. Isono; R. Yoshida Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 12-15 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 12-15 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 12-15 2003 英語 公開
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田畑 修 田畑 修 LIGAプロセス(放射X線応用3次元微細加工プロセス) LIGAプロセス(放射X線応用3次元微細加工プロセス) 社)高分子学会高分子同友会, 0 社)高分子学会高分子同友会, 0 , 0 2003 日本語 公開
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田畑 修 田畑 修 MEMS研究の世界最新動向 MEMS研究の世界最新動向 日本材料学会関西支部講演会, 0 日本材料学会関西支部講演会, 0 , 0 2003 日本語 公開
H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata Laser Microfabrication using Nano-Particles Dispersed Polymer Resist Laser Microfabrication using Nano-Particles Dispersed Polymer Resist Laser Microfabrication using Nano-Particles Dispersed Polymer Resist The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'03),, 762-765 The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'03),, 762-765 The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'03),, 762-765 2003 英語 公開
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馬場 教彰, 牧野 耕二, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野 吉正, J. G. Korvink 馬場 教彰, 牧野 耕二, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野 吉正, J. G. Korvink 馬場 教彰, 牧野 耕二, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野 吉正, J. G. Korvink 4-セルラーオートマトン型エッチングレートシミュレータにおける除去確率の影響 4-セルラーオートマトン型エッチングレートシミュレータにおける除去確率の影響 Effect of Removal Probability in CAES on Etching Rate 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 375-378 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 375-378 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 375-378 2003 日本語 公開
原田 雅史, 吉岡 孝司, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, ?木一好, 松田 十四夫 原田 雅史, 吉岡 孝司, 佐藤 太, 白石 晴樹, 田畑 修, ?木一好, 松田 十四夫 電気化学検出用の金メッシュ電極を流路外に取り付けたマイクロチャネルチップ電気泳動法 電気化学検出用の金メッシュ電極を流路外に取り付けたマイクロチャネルチップ電気泳動法 分析化学会, 0 分析化学会, 0 , 0 2003 日本語 公開
黒川 正也, 南 徹, 萩原 俊明, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 黒川 正也, 南 徹, 萩原 俊明, 老子 真人, 民谷 栄一, 田畑 修 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 第8回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 20 第8回化学とマイクロ・ナノシステム研究会, 20 , 20 2003 日本語 公開
柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 柳生 裕聖, 林 茂彦, 田畑 修 ナノ粒子分散ポリマを用いた微細加工技術 ナノ粒子分散ポリマを用いた微細加工技術 第12回ポリマー材料フォーラム, 0 第12回ポリマー材料フォーラム, 0 , 0 2003 日本語 公開
脇田 慎一, 鳴石 奈穂子, 出村 民, 黒川 正也, 辻川文雄, 下間 昌, 田畑 修 脇田 慎一, 鳴石 奈穂子, 出村 民, 黒川 正也, 辻川文雄, 下間 昌, 田畑 修 LIGAプラスチックレプリカプロセスによる高密度マルチ電気泳動チップ LIGAプラスチックレプリカプロセスによる高密度マルチ電気泳動チップ 第23回キャピラリー電気泳動シンポジウム(SCE'03), 35-36 第23回キャピラリー電気泳動シンポジウム(SCE'03), 35-36 , 35-36 2003 日本語 公開
菅野 公二, 田畑 修, 辻 慎史, 豊杉 典生, 山田 廣成 菅野 公二, 田畑 修, 辻 慎史, 豊杉 典生, 山田 廣成 マイクロマシニングを用いた軟X線遷移放射ターゲット マイクロマシニングを用いた軟X線遷移放射ターゲット 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-03-35, 35-39 電気学会研究会資料,マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-03-35, 35-39 , MSS-03-35, 35-39 2003 日本語 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Micromachining and Microfabrication Process Technology Vlll, 62-69 Micromachining and Microfabrication Process Technology Vlll, 62-69 Micromachining and Microfabrication Process Technology Vlll, 62-69 2003 英語 公開
S. Wakida, N. Naruishi, X. Wu, T. Demura, S. Shimotsuma, S. Shinohara, H. Shiraishi, Osamu Tabata S. Wakida, N. Naruishi, X. Wu, T. Demura, S. Shimotsuma, S. Shinohara, H. Shiraishi, Osamu Tabata S. Wakida, N. Naruishi, X. Wu, T. Demura, S. Shimotsuma, S. Shinohara, H. Shiraishi, Osamu Tabata Multichannel Array Chip Based on Plastic Injection Molding Using the LIGA Process Multichannel Array Chip Based on Plastic Injection Molding Using the LIGA Process Multichannel Array Chip Based on Plastic Injection Molding Using the LIGA Process The First International Congress on Bio-Nanointerface, 0 The First International Congress on Bio-Nanointerface, 0 The First International Congress on Bio-Nanointerface, 0 2003 英語 公開
Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Naoki Matsuzuka, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 High Aspect Micro Structure Technology, 59-60 2003 英語 公開
Yushi Nakamura, Suguru Uemura, Keigo Okajima, Osamu Tabata Yushi Nakamura, Suguru Uemura, Keigo Okajima, Osamu Tabata Yushi Nakamura, Suguru Uemura, Keigo Okajima, Osamu Tabata Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3-D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3-D Micromachining of Polytetrafluoroethylene Moving Mask Direct Photo-Etching (M2DPE) for 3-D Micromachining of Polytetrafluoroethylene High Aspect Micro Structure Technology, 19-20 High Aspect Micro Structure Technology, 19-20 High Aspect Micro Structure Technology, 19-20 2003 英語 公開
H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata H. Yagyu, S. Hayashi, Osamu Tabata Micro-Powder Blasting Using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Micro-Powder Blasting Using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask Micro-Powder Blasting Using Nano-Particles Dispersed Polymer Mask 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003, 95-100 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003, 95-100 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003, 95-100 2003 英語 公開
Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Jan. G. Korvink Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Jan. G. Korvink Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Jan. G. Korvink Verification of Etching Rule in CAES Verification of Etching Rule in CAES Verification of Etching Rule in CAES 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 277-280 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 277-280 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 277-280 2003 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Naoki Matsuzuka, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, Osamu Tabata 3D Simulation System for Moving Mask Deep X-ray Lithography 3D Simulation System for Moving Mask Deep X-ray Lithography 3D Simulation System for Moving Mask Deep X-ray Lithography 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 271-276 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 271-276 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2003), 271-276 2003 英語 公開
Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Jan G. Korvink Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Jan G. Korvink Sadik Hafizovic, Yoshikazu Hirai, Osamu Tabata, Jan G. Korvink X3D: 3D X-Ray Lithography and Development Simulation for MEMS X3D: 3D X-Ray Lithography and Development Simulation for MEMS X3D: 3D X-Ray Lithography and Development Simulation for MEMS The 12th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'03), 1570-1573 The 12th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'03), 1570-1573 The 12th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'03), 1570-1573 2003 英語 公開
S. Kawamura; T. Yamamoto; D. Ishida; T. Ogata; Y. Nakayama; O. Tabata; S. Sugiyama S. Kawamura; T. Yamamoto; D. Ishida; T. Ogata; Y. Nakayama; O. Tabata; S. Sugiyama S. Kawamura; T. Yamamoto; D. Ishida; T. Ogata; Y. Nakayama; O. Tabata; S. Sugiyama Development of passive elements with variable mechanical impedance for wearable robots Development of passive elements with variable mechanical impedance for wearable robots Development of passive elements with variable mechanical impedance for wearable robots Proceedings - IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1, 248-253 Proceedings - IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1, 248-253 Proceedings - IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1, 248-253 2002 英語 公開
浅井 健史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 浅井 健史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 シンクロトン放射光を用いて作成したマイクロチャンネルチップによるカルボン酸の電気泳動分析 シンクロトン放射光を用いて作成したマイクロチャンネルチップによるカルボン酸の電気泳動分析 日本化学会第81春季年会, 0 日本化学会第81春季年会, 0 , 0 2002 日本語 公開
吉田 拓史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 吉田 拓史, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 篠原 祥二, 田畑 修 電気泳動検出器を用いるマイクロチャンネル電気泳動法 電気泳動検出器を用いるマイクロチャンネル電気泳動法 日本化学会第81春季年会, 0 日本化学会第81春季年会, 0 , 0 2002 日本語 公開
松塚 直樹, 山路 忠寛, 田畑 修 松塚 直樹, 山路 忠寛, 田畑 修 松塚 直樹, 山路 忠寛, 田畑 修 移動マスクX線リソグラフィーにおける最適マスク移動パターンの決定法 移動マスクX線リソグラフィーにおける最適マスク移動パターンの決定法 Determination of Optimal Mask Movement Pattern for Moving Mask Deep X-Ray Lithography 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 257-261 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 257-261 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 257-261 2002 日本語 公開
菅野 公二, 田畑 修 菅野 公二, 田畑 修 XeF2 を用いたSi エッチングにおける表面粗さと加工深さの制御 XeF2 を用いたSi エッチングにおける表面粗さと加工深さの制御 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 303-308 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 303-308 , 303-308 2002 日本語 公開
赤星 拓二, 篠原 祥二, 白石 晴樹, ?木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 篠原 祥二, 白石 晴樹, ?木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 X線リソグラフィ−により作成したマイクロチップにおけるフルオレセイン類の電気泳動 X線リソグラフィ−により作成したマイクロチップにおけるフルオレセイン類の電気泳動 日本分析化学会第51年会, 0 日本分析化学会第51年会, 0 , 0 2002 日本語 公開
脇田 慎一, 呉 暁玲, 下間 昌, 西本 尚弘, 中西 博昭, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 田畑 修 脇田 慎一, 呉 暁玲, 下間 昌, 西本 尚弘, 中西 博昭, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 田畑 修 脇田 慎一, 呉 暁玲, 下間 昌, 西本 尚弘, 中西 博昭, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 田畑 修 LIGA プロセスによるバイオチップ創製 LIGA プロセスによるバイオチップ創製 Fabrication of Biochip using LIGA process 高分子討論会, 51, 13, 3560-3561 高分子討論会, 51, 13, 3560-3561 高分子討論会, 51, 13, 3560-3561 2002 日本語 公開
平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 平井 義和, Sadik Hafizovic, Jan G.Korvink, 田畑 修 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-02, 40, 65-70 , MSS-02, 40, 65-70 2002 日本語 公開
Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Suguru Uemura, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Suguru Uemura, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Suguru Uemura, Kouji Yamamoto 3D Fabrication by Moving Mask Deep X-Ray Lithography (M2DXL) with Multiple Stages 3D Fabrication by Moving Mask Deep X-Ray Lithography (M2DXL) with Multiple Stages 3D Fabrication by Moving Mask Deep X-Ray Lithography (M2DXL) with Multiple Stages The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 180-183 The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 180-183 The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 180-183 2002 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata MEMS Research and Education at Ritsumeikan University and 3-D Micro Fabrication Technology using Deep X-Ray Lithography MEMS Research and Education at Ritsumeikan University and 3-D Micro Fabrication Technology using Deep X-Ray Lithography MEMS Research and Education at Ritsumeikan University and 3-D Micro Fabrication Technology using Deep X-Ray Lithography Proc. of the Korea Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 297-302 Proc. of the Korea Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 297-302 Proc. of the Korea Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 297-302 2002 英語 公開
Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using a Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using a Cellular-Automata Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using a Cellular-Automata 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 31-36 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 31-36 3rd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 31-36 2002 英語 公開
Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Takamitsu Kakinaga, Noriaki Baba, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, Kraus Ehrmann, Jan G. Korvink Simulation for Observing the Si Anisotropic Process in Atomic Scale Simulation for Observing the Si Anisotropic Process in Atomic Scale Simulation for Observing the Si Anisotropic Process in Atomic Scale Micromechatronics and Human Science,, 35-40 Micromechatronics and Human Science,, 35-40 Micromechatronics and Human Science,, 35-40 2002 英語 公開
Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Naoki Matsuzuka, Osamu Tabata Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography Algorithm for Analyzing Optimal Mask Movement Pattern in Moving Mask Deep X-ray lithography Micromechatronics and Human Science, 159-164 Micromechatronics and Human Science, 159-164 Micromechatronics and Human Science, 159-164 2002 英語 公開
Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Techniques for Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Techniques for Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Techniques for Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF2 Etching of Si Micromechatronics and Human Science, 47-52 Micromechatronics and Human Science, 47-52 Micromechatronics and Human Science, 47-52 2002 英語 公開
Masahiro Sugimoto, Hitoshi Saika, Shinsuke Shibata, Shouji Shinohara, Osamu Tabata Masahiro Sugimoto, Hitoshi Saika, Shinsuke Shibata, Shouji Shinohara, Osamu Tabata Masahiro Sugimoto, Hitoshi Saika, Shinsuke Shibata, Shouji Shinohara, Osamu Tabata A Nobel Bonding Technique For Micro Polymer Chip Using Sacrificial Channel and Adhesive Printing A Nobel Bonding Technique For Micro Polymer Chip Using Sacrificial Channel and Adhesive Printing A Nobel Bonding Technique For Micro Polymer Chip Using Sacrificial Channel and Adhesive Printing The Sixth International Symposium on Micro Total Analysis System (μTAS), 398-400 The Sixth International Symposium on Micro Total Analysis System (μTAS), 398-400 The Sixth International Symposium on Micro Total Analysis System (μTAS), 398-400 2002 英語 公開
Osamu Tabata, Haruki Shiraishi Osamu Tabata, Haruki Shiraishi Osamu Tabata, Haruki Shiraishi Micro/Nano Chip Technology Using Deep X-Ray Lithography and It's Application Micro/Nano Chip Technology Using Deep X-Ray Lithography and It's Application Micro/Nano Chip Technology Using Deep X-Ray Lithography and It's Application CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 2002 英語 公開
Akira Ishida, Morio Sato, Wataru Yoshikawa, Osamu Tabata Akira Ishida, Morio Sato, Wataru Yoshikawa, Osamu Tabata Akira Ishida, Morio Sato, Wataru Yoshikawa, Osamu Tabata Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film Materials Science Forum,, 394-395, 487-490 Materials Science Forum,, 394-395, 487-490 Materials Science Forum,, 394-395, 487-490 2002 英語 公開
田畑 修, 磯野 吉正, 小嶋 廣和, 笠谷 哲也 田畑 修, 磯野 吉正, 小嶋 廣和, 笠谷 哲也 3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する基礎研究 3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する基礎研究 分子シンクロ材料第8回全体会議, 0 分子シンクロ材料第8回全体会議, 0 , 0 2002 日本語 公開
石田 章, 佐藤 守夫, 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修 石田 章, 佐藤 守夫, 吉川 弥, 加藤 拓人, 田畑 修 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロカンチレバーの作製 形状記憶合金薄膜を用いたマイクロカンチレバーの作製 金属学会春季大会, 0 金属学会春季大会, 0 , 0 2002 日本語 公開
馬場教章, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野吉正, K.Ehrmann, Jan G.Korvink 馬場教章, 垣永貴光, 田畑 修, 磯野吉正, K.Ehrmann, Jan G.Korvink 垣永貴光, 馬場教彰, 田畑 修, 磯野吉正, K.Ehrmann, J.G.Korvink セルラー・オートマトンを用いたシリコン異方性エッチングシミュレーション セルラー・オートマトンを用いたシリコン異方性エッチングシミュレーション Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Crystalline Sillcon using a Celluler-Automatdaia 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, 27-32 電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, 27-32 第19回「センサ・マイクロマシント応用システム」シンポジウム, 27-32 2002 日本語 公開
Shouji Shinohara, Takuji Akaboshi, Haruki Shiraishi, Osamu Tabata Shouji Shinohara, Takuji Akaboshi, Haruki Shiraishi, Osamu Tabata Shouji Shinohara, Takuji Akaboshi, Haruki Shiraishi, Osamu Tabata Separation of Fluorescein Derivatives on Micro Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Separation of Fluorescein Derivatives on Micro Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Separation of Fluorescein Derivatives on Micro Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 CREST International Workshop on Micro- and Nanotechnology for Genomic/Proteomic Analysis, 0 2002 英語 公開
Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Hui You, Jun Minakuchi, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Hui You, Jun Minakuchi, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Hui You, Jun Minakuchi, Kouji Yamamoto Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Moving Mask Deep X-ray Lithography (M2DXL) The 14th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 94-97 The 14th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 94-97 The 14th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 94-97 2001/01 英語 公開
Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Koji Sugano, Osamu Tabata Etching Rate Control of Mask Material for XeF2 Etching using UV Exposure Etching Rate Control of Mask Material for XeF2 Etching using UV Exposure Etching Rate Control of Mask Material for XeF2 Etching using UV Exposure Proceedings of SPIE, Micromachining and Microfabrication Process Technology VII, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE, Micromachining and Microfabrication Process Technology VII, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE, Micromachining and Microfabrication Process Technology VII, 4557, 18-23 2001 英語 公開
Shouji Shinohara, Hitoshi Saika, Kenichi Enami, Shinsuke Shibata, Takuji Akaboshi, Masaaki Itou, Osamu Tabata, Haruki Shiraishi, Takahiro Nishimoto Shouji Shinohara, Hitoshi Saika, Kenichi Enami, Shinsuke Shibata, Takuji Akaboshi, Masaaki Itou, Osamu Tabata, Haruki Shiraishi, Takahiro Nishimoto Shouji Shinohara, Hitoshi Saika, Kenichi Enami, Shinsuke Shibata, Takuji Akaboshi, Masaaki Itou, Osamu Tabata, Haruki Shiraishi, Takahiro Nishimoto Performance of -CE Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Performance of -CE Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography Performance of -CE Polymer Chip Fabricated by X-Ray Lithography International Symposium on Microchemistry and Microsystems, 100-101 International Symposium on Microchemistry and Microsystems, 100-101 International Symposium on Microchemistry and Microsystems, 100-101 2001 英語 公開
Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa, Shintaro Aoki, Ryo Yoshida, Etsuo Kokufuta Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa, Shintaro Aoki, Ryo Yoshida, Etsuo Kokufuta Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa, Shintaro Aoki, Ryo Yoshida, Etsuo Kokufuta Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel Ciliary Motion Actuator using Self-Oscillating Gel The 14th Annual Int. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems, 405-408 The 14th Annual Int. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems, 405-408 The 14th Annual Int. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems, 405-408 2001 英語 公開
篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 篠原 祥二, 雑賀 仁, 榎並 健一, 柴田 伸介, 田畑 修, 赤星 拓二, 伊藤 正明, 白石 晴樹, 西本 尚弘, 南 徹, 辻川 文雄, 下間 晶 LIGAプロセスを用いた電気泳動用ポリマーチップの開発 LIGAプロセスを用いた電気泳動用ポリマーチップの開発 LIGAプロセスを用いた電気泳動用ポリマーチップの開発 第四回化学とマイクロシステム研究会, 0 第四回化学とマイクロシステム研究会, 0 第四回化学とマイクロシステム研究会, 0 2001 日本語 公開
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赤星 拓二, 伊藤 正明, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 伊藤 正明, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 赤星 拓二, 伊藤 正明, 篠原 祥二, 白石 晴樹, 高木 一好, 松田 十四夫, 田畑 修 X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作製 (その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作製 (その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作製 (その2)−泳動とチャネル形状について− 第50回分析化学会, 0 第50回分析化学会, 0 第50回分析化学会, 0 2001 日本語 公開
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田畑 修 田畑 修 田畑 修 マイクロシステム技術と微小物体ハンドリングへのアプローチ マイクロシステム技術と微小物体ハンドリングへのアプローチ マイクロシステム技術と微小物体ハンドリングへのアプローチ 高速高機能ハンドリングコンソーシアム, 0 高速高機能ハンドリングコンソーシアム, 0 高速高機能ハンドリングコンソーシアム, 0 2001 日本語 公開
菅野公二, 田畑 修 菅野公二, 田畑 修 菅野公二, 田畑 修 紫外線露光を用いたXeF2エッチングにおけるマスク材の選択性制御 紫外線露光を用いたXeF2エッチングにおけるマスク材の選択性制御 Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV Light Exposure 18th Sensor Symposium, 39-43 18th Sensor Symposium, 39-43 18th Sensor Symposium, 39-43 2001 日本語 公開
Hui You, 松塚直樹, 山路忠寛, 多間一生, 上村卓, Osamu Tabata Hui You, 松塚直樹, 山路忠寛, 多間一生, 上村卓, Osamu Tabata Hui You, 松塚直樹, 山路忠寛, 多間一生, 上村卓, Osamu Tabata Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication 18th Sensor Symposium, 73-76 18th Sensor Symposium, 73-76 18th Sensor Symposium, 73-76 2001 日本語 公開
川村 貞夫, 山本 貴志, 小形 崇, 中山 雄一郎, 田畑 修, 杉山 進 川村 貞夫, 山本 貴志, 小形 崇, 中山 雄一郎, 田畑 修, 杉山 進 川村 貞夫, 山本 貴志, 小形 崇, 中山 雄一郎, 田畑 修, 杉山 進 ウエアラブルな可変拘束要素の開発 ウエアラブルな可変拘束要素の開発 ウエアラブルな可変拘束要素の開発 ロボティクスメカトロニクス講演会, 0 ロボティクスメカトロニクス講演会, 0 ロボティクスメカトロニクス講演会, 0 2001 日本語 公開
K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata Etching rate control of mask material for XeF<sub>2</sub> etching using UV exposure Etching rate control of mask material for XeF<sub>2</sub> etching using UV exposure Etching rate control of mask material for XeF<sub>2</sub> etching using UV exposure Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4557, 18-23 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4557, 18-23 2001 英語 公開
O. Tabata; N. Matsuzuka; T. Yamaji; H. You; J. Minakuchi; K. Yamamoto O. Tabata; N. Matsuzuka; T. Yamaji; H. You; J. Minakuchi; K. Yamamoto O. Tabata; N. Matsuzuka; T. Yamaji; H. You; J. Minakuchi; K. Yamamoto Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep X-ray lithography (M<sup>2</sup>DXL) Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep X-ray lithography (M<sup>2</sup>DXL) Fabrication of 3-dimensional microstructures using moving mask deep X-ray lithography (M<sup>2</sup>DXL) Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 94-97 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 94-97 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 94-97 2001 英語 公開
Osamu Tabata; Satoshi Konishi; Pierre Cusin; Yuuichi Ito; Fumie Kawai; Shinichi Hirai; Sadao Kawamura Osamu Tabata; Satoshi Konishi; Pierre Cusin; Yuuichi Ito; Fumie Kawai; Shinichi Hirai; Sadao Kawamura Osamu Tabata; Satoshi Konishi; Pierre Cusin; Yuuichi Ito; Fumie Kawai; Shinichi Hirai; Sadao Kawamura Microfabricated tunable bending stiffness device Microfabricated tunable bending stiffness device Microfabricated tunable bending stiffness device Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 23-27 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 23-27 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 23-27 2000/01 英語 公開
Haruki Shiraishi, S. Yamada, Toshio Matsuda, K. Takagi, Osamu Tabata Haruki Shiraishi, S. Yamada, Toshio Matsuda, K. Takagi, Osamu Tabata Haruki Shiraishi, S. Yamada, Toshio Matsuda, K. Takagi, Osamu Tabata Electrophoresis micro channel chip fabricated by using synchrotron radiation Electrophoresis micro channel chip fabricated by using synchrotron radiation Electrophoresis micro channel chip fabricated by using synchrotron radiation Pacificchem 2000 Congress, 495 Pacificchem 2000 Congress, 495 Pacificchem 2000 Congress, 495 2000 英語 公開
Hui You, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Osamu Tabata Hui You, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Osamu Tabata Hui You, Naoki Matsuzuka, Tadahiro Yamaji, Osamu Tabata Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication Human Science and Technology, 53-58 Human Science and Technology, 53-58 Human Science and Technology, 53-58 2000 英語 公開
Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Effects of Etching Pressure and Aperture width on Si Etching with XeF2 Effects of Etching Pressure and Aperture width on Si Etching with XeF2 Effects of Etching Pressure and Aperture width on Si Etching with XeF2 Human Science and Technology, 89-94 Human Science and Technology, 89-94 Human Science and Technology, 89-94 2000 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Anisotropic Etching of Si in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Si in TMAH Solutions Anisotropic Etching of Si in TMAH Solutions 2nd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2nd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2nd Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, 0 2000 英語 公開
Satoshi Kawanaka, Haruki Shiraishi, Toshio Matsuda, Osamu Tabata, Shigero Ikeda Satoshi Kawanaka, Haruki Shiraishi, Toshio Matsuda, Osamu Tabata, Shigero Ikeda Satoshi Kawanaka, Haruki Shiraishi, Toshio Matsuda, Osamu Tabata, Shigero Ikeda Microchannel Electrophoresis Chip for DNA Analysis Microchannel Electrophoresis Chip for DNA Analysis Microchannel Electrophoresis Chip for DNA Analysis Prospects of Bioelectrochemistry in the 21st Century, 38 Prospects of Bioelectrochemistry in the 21st Century, 38 Prospects of Bioelectrochemistry in the 21st Century, 38 2000 英語 公開
赤星拓二, 伊藤正明, 白石晴樹, 高木一好, 松田十四夫, 田畑修 赤星拓二, 伊藤正明, 白石晴樹, 高木一好, 松田十四夫, 田畑修 X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作成(その2)−泳動とチャネル形状について− X線リソグラフィーを用いる電気泳動マイクロチップの作成(その2)−泳動とチャネル形状について− 日本分析化学会第50年会, 0 日本分析化学会第50年会, 0 , 0 2000 日本語 公開
田畑修 田畑修 MEMSの動向と信頼性 MEMSの動向と信頼性 日本金属学会, 0 日本金属学会, 0 , 0 2000 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 マイクロマシニング技術のマイクロ流路加工への応用 マイクロマシニング技術のマイクロ流路加工への応用 第3回日本電熱学会研究会「マイクロマシンと熱流体」, 0 第3回日本電熱学会研究会「マイクロマシンと熱流体」, 0 , 0 2000 日本語 公開
藤井泰久, 高田久, 垣永貴光, 田畑 修 藤井泰久, 高田久, 垣永貴光, 田畑 修 Silicon Anisotropic Etching Utilizing Mega-Band Ultrasonic Vibration Silicon Anisotropic Etching Utilizing Mega-Band Ultrasonic Vibration センサシンポジウム, 259-262 センサシンポジウム, 259-262 , 259-262 2000 日本語 公開
松塚直樹, 山路忠寛, Hui You, 田畑 修 松塚直樹, 山路忠寛, Hui You, 田畑 修 移動マスクX腺露光法を用いた3次元マイクロ加工 移動マスクX腺露光法を用いた3次元マイクロ加工 電気学会 光・量子デバイス研究会, 0 電気学会 光・量子デバイス研究会, 0 , 0 2000 日本語 公開
石田章, 澤口孝宏, 佐藤守夫, 吉川弥, 田畑 修 石田章, 澤口孝宏, 佐藤守夫, 吉川弥, 田畑 修 バイモルフ型Ti-Ni形状記憶合金薄膜アクチュエータの動作特性 バイモルフ型Ti-Ni形状記憶合金薄膜アクチュエータの動作特性 金属学会秋期大会, 0 金属学会秋期大会, 0 , 0 2000 日本語 公開
Yuki Endo, Chiho Yoshida, Yuriko Kiba, Masanori Ueda, Hirohisa Abe, Akihiro Arai, Hiroaki Nakanishi, Osamu Tabata, Yoshinobu Baba Yuki Endo, Chiho Yoshida, Yuriko Kiba, Masanori Ueda, Hirohisa Abe, Akihiro Arai, Hiroaki Nakanishi, Osamu Tabata, Yoshinobu Baba Yuki Endo, Chiho Yoshida, Yuriko Kiba, Masanori Ueda, Hirohisa Abe, Akihiro Arai, Hiroaki Nakanishi, Osamu Tabata, Yoshinobu Baba DNA Analysis by Microfabricated Capillary Electrophoresis Device DNA Analysis by Microfabricated Capillary Electrophoresis Device DNA Analysis by Microfabricated Capillary Electrophoresis Device Nucleic Acids Symposium,, 57-58 Nucleic Acids Symposium,, 57-58 Nucleic Acids Symposium,, 57-58 2000 英語 公開
K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata K. Sugano; O. Tabata Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF<sub>2</sub> Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF<sub>2</sub> Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF<sub>2</sub> Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89-94 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89-94 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89-94 2000 英語 公開
藤江孝行, 寺杣幸一, 田畑修, 馬場嘉信 藤江孝行, 寺杣幸一, 田畑修, 馬場嘉信 X線照射加工を用いたDNA分析用マルチルチャネル電気泳動チップ X線照射加工を用いたDNA分析用マルチルチャネル電気泳動チップ 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 , 0 1999/03 日本語 公開
田畑 修 田畑 修 田畑 修 薄膜の機械的物性とマイクロメカニカルデバイスの特性 薄膜の機械的物性とマイクロメカニカルデバイスの特性 Mechanical Property of Thin Film and Performance of Micromechnical Device 日本金属学会春期大会「微細材料システムの機械的性質と信頼性」, 0-497 日本金属学会春期大会「微細材料システムの機械的性質と信頼性」, 0-497 日本金属学会春期大会「微細材料システムの機械的性質と信頼性」, 0-497 1999/03 日本語 公開
Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa Osamu Tabata, Hiroshi Hirasawa New Sensing Principle Based on the Order Formation in a Nonlinear Oscillator Group New Sensing Principle Based on the Order Formation in a Nonlinear Oscillator Group New Sensing Principle Based on the Order Formation in a Nonlinear Oscillator Group The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 454-457 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 454-457 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 454-457 1999/01 英語 公開
Kouichi Terasoma, Osamu Tabata Kouichi Terasoma, Osamu Tabata Kouichi Terasoma, Osamu Tabata Multiple Moving Mask LIGA (M3LIGA) Technology Multiple Moving Mask LIGA (M3LIGA) Technology Multiple Moving Mask LIGA (M3LIGA) Technology High Aspect Ratio Micro Structures, 66-67 High Aspect Ratio Micro Structures, 66-67 High Aspect Ratio Micro Structures, 66-67 1999/01 英語 公開
上田正則, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 田畑修, 馬場嘉信 Development of Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels Development of Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules Migrating in Microchannels 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 電気学会μTAS研究会, 0 1999 日本語 公開
上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 マイクロチップ化電気泳動装置によるDNAの超高速分離とそのダイナミクス マイクロチップ化電気泳動装置によるDNAの超高速分離とそのダイナミクス 高分子討論会, 0 高分子討論会, 0 , 0 1999 日本語 公開
Osamu Tabata, Kouichi Terasoma, Norihiro Agawa, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Kouichi Terasoma, Norihiro Agawa, Kouji Yamamoto Osamu Tabata, Kouichi Terasoma, Norihiro Agawa, Kouji Yamamoto Moving Mask LIGA (M2LIGA) Process for Control of Side Wall Inclination Moving Mask LIGA (M2LIGA) Process for Control of Side Wall Inclination Moving Mask LIGA (M2LIGA) Process for Control of Side Wall Inclination The 12th Micro electromechanical Systems Workshop,, 252-256 The 12th Micro electromechanical Systems Workshop,, 252-256 The 12th Micro electromechanical Systems Workshop,, 252-256 1999 英語 公開
Osamu Tabata, Manabu Yashima, Tetsuo Yoshioka, Kazuo Sato Osamu Tabata, Manabu Yashima, Tetsuo Yoshioka, Kazuo Sato Osamu Tabata, Manabu Yashima, Tetsuo Yoshioka, Kazuo Sato Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 542-545 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 542-545 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 542-545 1999 英語 公開
上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA解析 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA解析 バイオ高分子シンポジウム, 74-75 バイオ高分子シンポジウム, 74-75 , 74-75 1999 日本語 公開
上田正則, 喜羽百合子, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 上田正則, 喜羽百合子, 阿部浩久, 荒井昭博, 中西博昭, 田畑修, 馬場嘉信 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析 マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析 バイオイメージング学会, 103-104 バイオイメージング学会, 103-104 , 103-104 1999 日本語 公開
川村貞夫, 平井慎一, 田畑修, 小西聡 川村貞夫, 平井慎一, 田畑修, 小西聡 機械的拘束と伸縮材料を組み合わせた変形柔軟アクチュエータの概念 機械的拘束と伸縮材料を組み合わせた変形柔軟アクチュエータの概念 SICE関西支部シンポジウム, 84-87 SICE関西支部シンポジウム, 84-87 , 84-87 1999 日本語 公開
伊藤雄一, 田畑修 伊藤雄一, 田畑修 可変剛性積層フィルム構造体 可変剛性積層フィルム構造体 SICE関西支部シンポジウム, 92-95 SICE関西支部シンポジウム, 92-95 , 92-95 1999 日本語 公開
Osamu Tabata, Takeshi Yamamoto, A. A. Seshia, Roger T. Howe Osamu Tabata, Takeshi Yamamoto, A. A. Seshia, Roger T. Howe Osamu Tabata, Takeshi Yamamoto, A. A. Seshia, Roger T. Howe Integrated Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change Integrated Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change Integrated Resonant Accelerometer Based on Rigidity Change The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1538-1541 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1538-1541 The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1538-1541 1999 英語 公開
Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Kouji Sugano, Osamu Tabata Study of XeF2 Pulse Etching Using Wagon Wheel Pattern Study of XeF2 Pulse Etching Using Wagon Wheel Pattern Study of XeF2 Pulse Etching Using Wagon Wheel Pattern Micromechatronics and Human Science, 163-167 Micromechatronics and Human Science, 163-167 Micromechatronics and Human Science, 163-167 1999 英語 公開
Osamu Tabata; Kouichi Terasoma; Norihiro Agawa; Kouji Yamamoto Osamu Tabata; Kouichi Terasoma; Norihiro Agawa; Kouji Yamamoto Osamu Tabata; Kouichi Terasoma; Norihiro Agawa; Kouji Yamamoto Moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) process for control of side wall inclination Moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) process for control of side wall inclination Moving mask LIGA (M<sup>2</sup>LIGA) process for control of side wall inclination Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 252-256 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 252-256 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 252-256 1999 英語 公開
Y. Kiba; M. Ueda; H. Abe; A. Arai; H. Nakanishi; O. Tabata; Y. Baba Y. Kiba; M. Ueda; H. Abe; A. Arai; H. Nakanishi; O. Tabata; Y. Baba Y. Kiba; M. Ueda; H. Abe; A. Arai; H. Nakanishi; O. Tabata; Y. Baba DNA analysis by microfabricated capillary electrophoresis device. DNA analysis by microfabricated capillary electrophoresis device. DNA analysis by microfabricated capillary electrophoresis device. Nucleic acids symposium series, 42, 57-58 Nucleic acids symposium series, 42, 57-58 Nucleic acids symposium series, 42, 57-58 1999 英語 公開
Koji Sugano; Osamu Tabata Koji Sugano; Osamu Tabata Koji Sugano; Osamu Tabata Study on XeF<sub>2</sub> pulse etching using wagon wheel pattern Study on XeF<sub>2</sub> pulse etching using wagon wheel pattern Study on XeF<sub>2</sub> pulse etching using wagon wheel pattern Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163-167 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163-167 Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163-167 1999 英語 公開
Yoshinobu Baba, Osamu Tabata Yoshinobu Baba, Osamu Tabata Yoshinobu Baba, Osamu Tabata Novel Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip Fabricated by Synchrotron Radiation and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules in Microchannels Novel Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip Fabricated by Synchrotron Radiation and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules in Microchannels Novel Microfabricated Capillary Array Electrophoresis Chip Fabricated by Synchrotron Radiation and Direct Observation of Dynamics of DNA Molecules in Microchannels Proc. of the μTAS'98 Workshop, 331-334 Proc. of the μTAS'98 Workshop, 331-334 Proc. of the μTAS'98 Workshop, 331-334 1998 英語 公開
上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process Tech. Dig. 16th Sensor Symposium, 189-194 Tech. Dig. 16th Sensor Symposium, 189-194 Tech. Dig. 16th Sensor Symposium, 189-194 1998 英語 公開
八嶋学, 田畑修 八嶋学, 田畑修 シリコン結晶異方性エッチング ―異方性エッチングレートの予測手法― シリコン結晶異方性エッチング ―異方性エッチングレートの予測手法― マイクロマシニングプロセス研究会, 0 マイクロマシニングプロセス研究会, 0 , 0 1998 日本語 公開
上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 上野洋, 保坂誠, 田畑修, 小西聡, 杉山進 SiCメンブレンを用いたLIGAプロセス用X線マスクの製作 SiCメンブレンを用いたLIGAプロセス用X線マスクの製作 電気学会全国大会, 0 電気学会全国大会, 0 , 0 1998 日本語 公開
田畑修, 平澤洋 田畑修, 平澤洋 非線形振動子における秩序形成を利用したセンシング―塩水振動子を用いた実験とシミュレーション― 非線形振動子における秩序形成を利用したセンシング―塩水振動子を用いた実験とシミュレーション― 電気学会計測研究会, 7-13 電気学会計測研究会, 7-13 , 7-13 1998 日本語 公開
田畑修, 山本毅, 岩根正憲 田畑修, 山本毅, 岩根正憲 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 17-20 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 17-20 , 17-20 1998 日本語 公開
川中智司, 中村敏和, 白石晴樹, 松田十四夫, 池田重良, 田畑修, 藤江孝行 川中智司, 中村敏和, 白石晴樹, 松田十四夫, 池田重良, 田畑修, 藤江孝行 エポキシ樹脂をレジストに用いて作成したマイクロチャネル電気泳動基板の分析化学的応用 エポキシ樹脂をレジストに用いて作成したマイクロチャネル電気泳動基板の分析化学的応用 日本分析化学会第47年会, 0 日本分析化学会第47年会, 0 , 0 1998 日本語 公開
O. Tabata O. Tabata O. Tabata Anisotropy and selectivity control of TMAH Anisotropy and selectivity control of TMAH Anisotropy and selectivity control of TMAH Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 229-233 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 229-233 Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 229-233 1998 英語 公開
Osamu Tabata; Takeshi Yamamoto Osamu Tabata; Takeshi Yamamoto Osamu Tabata; Takeshi Yamamoto 2-Axis detection resonant accelerometer based on rigidity change 2-Axis detection resonant accelerometer based on rigidity change 2-Axis detection resonant accelerometer based on rigidity change Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3514, 210-216 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3514, 210-216 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 3514, 210-216 1998 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 1997 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Silicon Anisotropic Etching -Effect of Etching Products and Diffusion- Silicon Anisotropic Etching -Effect of Etching Products and Diffusion- Silicon Anisotropic Etching -Effect of Etching Products and Diffusion- CAD for MEMS Workshop,, 21 CAD for MEMS Workshop,, 21 CAD for MEMS Workshop,, 21 1997 英語 公開
Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentaro Mizuno, Kazuo Otsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentaro Mizuno, Kazuo Otsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Norio Fujitsuka, Jiro Sakata, Yukio Miyachi, Kentaro Mizuno, Kazuo Otsuka, Yasunori Taga, Osamu Tabata Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1237-1240 The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1237-1240 The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1237-1240 1997 英語 公開
Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Y. Zhang, Osamu Tabata, Satoshi Konishi, Susumu Sugiyama Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Y. Zhang, Osamu Tabata, Satoshi Konishi, Susumu Sugiyama Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Y. Zhang, Osamu Tabata, Satoshi Konishi, Susumu Sugiyama Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts using the LIGA Process Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts using the LIGA Process Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts using the LIGA Process International Symposium on Micro Mechatronics and Human Science,, 49-54 International Symposium on Micro Mechatronics and Human Science,, 49-54 International Symposium on Micro Mechatronics and Human Science,, 49-54 1997 英語 公開
Yoshiteru Omura; Yutaka Nonomura; Osamu Tabata Yoshiteru Omura; Yutaka Nonomura; Osamu Tabata Yoshiteru Omura; Yutaka Nonomura; Osamu Tabata New resonant accelerometer based on rigidity change New resonant accelerometer based on rigidity change New resonant accelerometer based on rigidity change International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Proceedings, 2, 855-858 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Proceedings, 2, 855-858 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Proceedings, 2, 855-858 1997 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata Silicon Micromachining Technology and Its Application to Microsensors Silicon Micromachining Technology and Its Application to Microsensors Silicon Micromachining Technology and Its Application to Microsensors International Aerospace Symposium '96, 0 International Aerospace Symposium '96, 0 International Aerospace Symposium '96, 0 1996 英語 公開
Shoji Kawahito, Akira Yamasawa, Shji Koga, Yoshiaki Tadokoro, Kentaro Mizuno, Osamu Tabata Shoji Kawahito, Akira Yamasawa, Shji Koga, Yoshiaki Tadokoro, Kentaro Mizuno, Osamu Tabata Shoji Kawahito, Akira Yamasawa, Shji Koga, Yoshiaki Tadokoro, Kentaro Mizuno, Osamu Tabata Digital Interface Circuits using Sigma-Delta Modulation for Integrated Micro-Fluxgate Magnetic Sensors Digital Interface Circuits using Sigma-Delta Modulation for Integrated Micro-Fluxgate Magnetic Sensors Digital Interface Circuits using Sigma-Delta Modulation for Integrated Micro-Fluxgate Magnetic Sensors Proc. IEEE Int. Symposium on Circuits and Systems, 4, 340-343 Proc. IEEE Int. Symposium on Circuits and Systems, 4, 340-343 Proc. IEEE Int. Symposium on Circuits and Systems, 4, 340-343 1996 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining pH-Controlled TMAH Etchants for Silicon Micromachining The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 83-86 The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 83-86 The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 83-86 1995 英語 公開
Osamu Tabata Osamu Tabata Osamu Tabata MEMS activities in Toyota and Japan MEMS activities in Toyota and Japan MEMS activities in Toyota and Japan SENSOR EXPO, 0 SENSOR EXPO, 0 SENSOR EXPO, 0 1995 英語 公開
Osamu Tabata, Hidehisa Murase, Osamu Banno, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hidehisa Murase, Osamu Banno, Hideo Yamada Osamu Tabata, Hidehisa Murase, Osamu Banno, Hideo Yamada Measurement of Transient Low Pressure on a Flat Plate Caused by an Impinging Vortex Ring Measurement of Transient Low Pressure on a Flat Plate Caused by an Impinging Vortex Ring Measurement of Transient Low Pressure on a Flat Plate Caused by an Impinging Vortex Ring Proc. of the 2nd Int. Conf. on Fluid Dynamic Measurement and Its Applications, 518-521 Proc. of the 2nd Int. Conf. on Fluid Dynamic Measurement and Its Applications, 518-521 Proc. of the 2nd Int. Conf. on Fluid Dynamic Measurement and Its Applications, 518-521 1994 英語 公開
Susumu Sugiyama, Osamu Tabata, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi Susumu Sugiyama, Osamu Tabata, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi Susumu Sugiyama, Osamu Tabata, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi Micromachined Sensors Realized with IC Process Technology Micromachined Sensors Realized with IC Process Technology Micromachined Sensors Realized with IC Process Technology IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), 127-130 IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), 127-130 IEEE Technical Digest of International Electron Devices Meeting (IEDM), 127-130 1994 英語 公開
Hideo Yamada, Noriaki Hayashi, Osamu Tabata, Hideyasu Hiramatsu, Takeshi Naitoh Hideo Yamada, Noriaki Hayashi, Osamu Tabata, Hideyasu Hiramatsu, Takeshi Naitoh Hideo Yamada, Noriaki Hayashi, Osamu Tabata, Hideyasu Hiramatsu, Takeshi Naitoh Flow Past A Rectangular Cylinder with A Rectangular Cavity Flow Past A Rectangular Cylinder with A Rectangular Cavity Flow Past A Rectangular Cylinder with A Rectangular Cavity 3rd Asia Symposium on Visualization, 92-95 3rd Asia Symposium on Visualization, 92-95 3rd Asia Symposium on Visualization, 92-95 1994 英語 公開
Keiichi Shimaoka, Osamu Tabata, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Keiichi Shimaoka, Osamu Tabata, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Keiichi Shimaoka, Osamu Tabata, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Micro-Diaphragm Pressure Sensor Using Polysilicon Sacrificial Layer Etch-Stop Technique Micro-Diaphragm Pressure Sensor Using Polysilicon Sacrificial Layer Etch-Stop Technique Micro-Diaphragm Pressure Sensor Using Polysilicon Sacrificial Layer Etch-Stop Technique The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 632-635 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 632-635 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 632-635 1993 英語 公開
Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Norio Fujitsuka, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Norio Fujitsuka, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Norio Fujitsuka, Masato Kimura, Susumu Sugiyama Electrostatic Driven Optical Chopper Using SOI Wafer Electrostatic Driven Optical Chopper Using SOI Wafer Electrostatic Driven Optical Chopper Using SOI Wafer The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 124-127 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 124-127 The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 124-127 1993 英語 公開
Ryouji Asahi; Jiro Sakata; Osamu Tabata Ryouji Asahi; Jiro Sakata; Osamu Tabata Ryouji Asahi; Jiro Sakata; Osamu Tabata Integrated pyroelectric infrared sensor using PVDF thin film deposited by electro-spray method Integrated pyroelectric infrared sensor using PVDF thin film deposited by electro-spray method Integrated pyroelectric infrared sensor using PVDF thin film deposited by electro-spray method Materials Research Society Symposium - Proceedings, 310, 79-84 Materials Research Society Symposium - Proceedings, 310, 79-84 Materials Research Society Symposium - Proceedings, 310, 79-84 1993 英語 公開
Osamu Tabata, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Hirofumi Funabashi, Keiichi Shimaoka, Ryouji Asahi, Susumu Sugiyama Surface Micromachining Using Polysilicon Sacrificial Layer Surface Micromachining Using Polysilicon Sacrificial Layer Surface Micromachining Using Polysilicon Sacrificial Layer 2nd Int. Symp. on Micro Machine and Human Science, 163-172 2nd Int. Symp. on Micro Machine and Human Science, 163-172 2nd Int. Symp. on Micro Machine and Human Science, 163-172 1991 英語 公開
Tomio Nagata, Hiroaki Terabe, Sirou Kuwahara, Sizuki Sakurai, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Masayoshi Esashi Tomio Nagata, Hiroaki Terabe, Sirou Kuwahara, Sizuki Sakurai, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Masayoshi Esashi Tomio Nagata, Hiroaki Terabe, Sirou Kuwahara, Sizuki Sakurai, Osamu Tabata, Susumu Sugiyama, Masayoshi Esashi Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 308-311 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 308-311 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 308-311 1991 英語 公開
Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Susumu Sugiyama Osamu Tabata, Ryouji Asahi, Hirofumi Funabashi, Susumu Sugiyama Anisotropic Etching of Silicon in (CH3)4NOH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in (CH3)4NOH Solutions Anisotropic Etching of Silicon in (CH3)4NOH Solutions The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 811-814 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 811-814 The 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators,, 811-814 1991 英語 公開
Osamu Tabata; Keiichi Shimaoka; Susumu Sugiyama Osamu Tabata; Keiichi Shimaoka; Susumu Sugiyama Osamu Tabata; Keiichi Shimaoka; Susumu Sugiyama In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro mechanical systems In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro mechanical systems In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro mechanical systems Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 99-102 Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 99-102 Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 99-102 1991 英語 公開
Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Isemi Igarashi, Tadashi Ito, Toshiyuki Taguchi, Osamu Tabata, Hazime Inagaki Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array Multiple Ion Sensor Array The 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 3-4 The 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 3-4 The 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 3-4 1989 英語 公開
Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Ken Kawahata, Susumu Sugiyama, Isemi Igarashi Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane Mechanical Property Measurements of Thin Films Using Load-Deflection of Composite Rectangular Membrane IEEE Micro Electro Mechanical Workshop, 152-156 IEEE Micro Electro Mechanical Workshop, 152-156 IEEE Micro Electro Mechanical Workshop, 152-156 1989 英語 公開
Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Osamu Tabata, Hazime Inagaki, Isemi Igarashi Monolithic Pressure-Flow Sensor with a Thermal Isolation Structure Monolithic Pressure-Flow Sensor with a Thermal Isolation Structure Monolithic Pressure-Flow Sensor with a Thermal Isolation Structure The 4th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 340-343 The 4th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 340-343 The 4th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 340-343 1987 英語 公開
Junji Toyama, Osamu Tabata, Mitsuharu Okajima, Kazuo Yamada Junji Toyama, Osamu Tabata, Mitsuharu Okajima, Kazuo Yamada Junji Toyama, Osamu Tabata, Mitsuharu Okajima, Kazuo Yamada Microcomputer Processing System for Body Surface Isopotential Map and Epicardial Isochron-Map Microcomputer Processing System for Body Surface Isopotential Map and Epicardial Isochron-Map Microcomputer Processing System for Body Surface Isopotential Map and Epicardial Isochron-Map MEDINFO 80, 259-263 MEDINFO 80, 259-263 MEDINFO 80, 259-263 1980 英語 公開

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Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, CMOS-MEMS, Advanced Micro and Nanosystems, CMOS-MEMS, Advanced Micro and Nanosystems, CMOS-MEMS, John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2005/02 公開
田畑 修 田畑 修 TABATA Osamu Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data Springer Springer Springer 2005 分担執筆 公開
Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Advanced Micro and Nanosystems, Enabling Technology for Mems and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems, Enabling Technology for Mems and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems, Enabling Technology for Mems and Nanodevices John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2004/08 公開
田畑 修 田畑 修 物理計測技術,マイクロ化学チップの技術と応用 物理計測技術,マイクロ化学チップの技術と応用 丸善株式会社 丸善株式会社 2004 公開
田畑 修 田畑 修 マイクロマシン技術と応用 マイクロマシン技術と応用 シーエムシー出版 シーエムシー出版 2003 分担執筆 公開
田畑 修 田畑 修 イオン工学ハンドブック イオン工学ハンドブック 2003 公開
田畑 修 田畑 修 マイクロマシンと薄膜の機械的物性,21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック マイクロマシンと薄膜の機械的物性,21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック エヌ・ティー・エス エヌ・ティー・エス 2003 公開
田畑 修 田畑 修 ナノテクノロジー大辞典 ナノテクノロジー大辞典 2003 公開
田畑 修 田畑 修 図解ナノテクノロジーの全て 図解ナノテクノロジーの全て 工業調査会 工業調査会 2002 分担執筆 公開
TABATA Osamu、SATO Kazuo TABATA Osamu、SATO Kazuo TABATA Osamu、SATO Kazuo Silicon Micromachining Silicon Micromachining Silicon Micromachining シュプリンガーフェアラーク シュプリンガーフェアラーク シュプリンガーフェアラーク 2001 共訳 公開
田畑 修 田畑 修 生産技術者のためのキーワード100 機械と工具10月号別冊 生産技術者のためのキーワード100 機械と工具10月号別冊 日本工業出版 日本工業出版 1999 分担執筆 公開
田畑 修 田畑 修 半導体用語大辞典 半導体用語大辞典 日刊工業新聞社 日刊工業新聞社 1999 分担執筆 公開
田畑 修 田畑 修 マイクロオプトメカトロニクスハンドブック マイクロオプトメカトロニクスハンドブック 朝倉書店 朝倉書店 1995 分担執筆 公開
田畑 修 田畑 修 計測制御技術事典 計測制御技術事典 計測自動制御学会 計測自動制御学会 1995 分担執筆 公開
田畑 修 田畑 修 新・薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック 新・薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック 株式会社エヌ・ティー・エス 株式会社エヌ・ティー・エス 1994 分担執筆 公開
田畑 修 田畑 修 先端材料事典,センサー用半導体材料 先端材料事典,センサー用半導体材料 産業調査会 産業調査会 1994 分担執筆 公開

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特許
発明者 発明者(日本語) 発明者(英語) 発明の名称 発明の名称(日本語) 発明の名称(英語) 審査の段階 番号 年月 公開
田畑修,平井義和,辻本和也,藩和宏,水谷夏彦 田畑修,平井義和,辻本和也,藩和宏,水谷夏彦 夏彦,アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル 夏彦,アルカリ金属セルの製造方法,アルカリ金属の製造方法,およびアルカリ金属セル 特許出願 特願2013-039634 2013/02/28 公開
中嶋和浩,各務克己,田畑修,土屋智由 中嶋和浩,各務克己,田畑修,土屋智由 光スキャナ 光スキャナ 特許出願 特願2009-04348 2009/09/04 公開
田畑 修 田畑 修 塩基配列を用いた部品の組み立て装置及び組み立て方法 塩基配列を用いた部品の組み立て装置及び組み立て方法 特許出願 特願2008-253183 2008/09/30 公開
各務克己,中村博親,田畑修,土屋智由 各務克己,中村博親,田畑修,土屋智由 光スキャナ 光スキャナ 特許出願 特願2007-02474 2008/03/06 公開
長永健一,田畑修 長永健一,田畑修 弾性波トランスデューサ,弾性波トランスデューサアレイ,超音波探触子,超音波撮像装置 弾性波トランスデューサ,弾性波トランスデューサアレイ,超音波探触子,超音波撮像装置 特許出願 特願2008-21332 2008 公開
田畑 修 田畑 修 光誘起誘電泳動装置 光誘起誘電泳動装置 特許出願 特願2007-162824 2007/06/20 公開
田畑 修 田畑 修 紫外線露光方法,紫外線露光装置,微細構造体の製造方法,及びこれによって製造された微細構造体 紫外線露光方法,紫外線露光装置,微細構造体の製造方法,及びこれによって製造された微細構造体 特許出願 特願2005-142859 2005/05/16 公開
田畑 修 田畑 修 微粒子アセンブル構造体とそのアセンブル方法 微粒子アセンブル構造体とそのアセンブル方法 特許出願 特願2005-114795 2005/04/12 公開
田村隆正,梅谷誠,田畑修 田村隆正,梅谷誠,田畑修 無反射構造を有する光学素子の製造方法 無反射構造を有する光学素子の製造方法 特許出願 特願2005-8292 2005/01/14 公開
田村隆正,梅谷誠,田畑修 田村隆正,梅谷誠,田畑修 無反射構造及び無反射構造を有する光学素子,ならびにその製造方法及びその製造方法に用いるマスク 無反射構造及び無反射構造を有する光学素子,ならびにその製造方法及びその製造方法に用いるマスク 特許出願 特願2004-361855 2004/12/14 公開
藤井泰久, 市村直也, 安田徳元, 田畑修 藤井泰久, 市村直也, 安田徳元, 田畑修 微生物スクリーニング装置および微生物のスクリーニング方法 微生物スクリーニング装置および微生物のスクリーニング方法 特許出願 特願2003-378238 2003 公開
Jun Minakuti, Osamu Tabata and Koji Yamamoto Jun Minakuti, Osamu Tabata and Koji Yamamoto Processing Device and Method of Processing Material with Ultraviolet Light or Light of Shorter Wavelength than Ultraviolet Light Processing Device and Method of Processing Material with Ultraviolet Light or Light of Shorter Wavelength than Ultraviolet Light Processing Device and Method of Processing Material with Ultraviolet Light or Light of Shorter Wavelength than Ultraviolet Light 特許出願 特願USP6694503 公開
田畑修,中村雄志,藤井泰久,在間弘朗 田畑修,中村雄志,藤井泰久,在間弘朗 フィルターおよびその製造方法,ならびに該フィルターを有するエマルジョン生成装置 フィルターおよびその製造方法,ならびに該フィルターを有するエマルジョン生成装置 特許出願 特願2004-92417 公開
田畑 修 田畑 修 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 特許出願 特願2004-055700 公開
柳生裕聖,林茂彦,田畑修 柳生裕聖,林茂彦,田畑修 パウダーブラスト用積層物及び該積層物を用いたパウダーブラスト加工物の製造方法 パウダーブラスト用積層物及び該積層物を用いたパウダーブラスト加工物の製造方法 特許公開 特開2004-314287 公開
柳生裕聖,林茂彦,田畑修 柳生裕聖,林茂彦,田畑修 パウダーブラスト加工物の製造方法 パウダーブラスト加工物の製造方法 特許登録 特許2004-299005 公開
田畑修, 松塚直樹 田畑修, 松塚直樹 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体 特許登録 特許3521205 公開
田畑修, 白石晴樹,向井嘉奈子,出村民 田畑修, 白石晴樹,向井嘉奈子,出村民 微細金属構造体の製造方法 微細金属構造体の製造方法 特許公開 特開2004-270021 公開
田畑 修 田畑 修 X線照射を用いた材料の加工方法および加工装置 X線照射を用いた材料の加工方法および加工装置 特許登録 特許3380878 公開
大村義輝, 田畑修 大村義輝, 田畑修 振動式加速度センサ 振動式加速度センサ 特許出願 特願平8-71930 公開
川村貞夫,田畑修,小西聡 川村貞夫,田畑修,小西聡 運動拘束具、及び擬似体験装置 運動拘束具、及び擬似体験装置 特許公開 特開2002-186683 公開
田畑 修 田畑 修 紫外線又は紫外線より波長の短い光を用いた材料の表面加工方法及び表面加工装置、並びにそれらを用いた高分子化合物からなる製品の製造方法及び製造装置 紫外線又は紫外線より波長の短い光を用いた材料の表面加工方法及び表面加工装置、並びにそれらを用いた高分子化合物からなる製品の製造方法及び製造装置 特許登録 特許3697508 公開
Jun Minakuchi,Koji Yamamoto,Osamu Tabata Jun Minakuchi,Koji Yamamoto,Osamu Tabata Processing Device And Method Of Processing Material With Ultraviolet Light Or Light Of Shorter Wavelength Than Ultraviolet Light Processing Device And Method Of Processing Material With Ultraviolet Light Or Light Of Shorter Wavelength Than Ultraviolet Light Processing Device And Method Of Processing Material With Ultraviolet Light Or Light Of Shorter Wavelength Than Ultraviolet Light 特許出願 特願09/773909 公開
浮田宏生,田畑修,大上芳文,小西聡 浮田宏生,田畑修,大上芳文,小西聡 マイクロ分析チップ,及びその製造方法 マイクロ分析チップ,及びその製造方法 特許公開 特開2001-252897 公開
田畑 修,水口 淳 田畑 修,水口 淳 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 特許公開 特開2001-212795 公開
叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 微小3次元構造を有する構造体の製造方法 微小3次元構造を有する構造体の製造方法 特許公開 特開2001-38738 公開
叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 叶井正樹,中西博昭,西本尚弘,田畑 修,白石晴樹 樹脂製部材の接合方法および樹脂製構造体 樹脂製部材の接合方法および樹脂製構造体 特許公開 特開2001-38811 公開
田畑修、水口淳、山元廣治 田畑修、水口淳、山元廣治 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 特許公開 特開2001-215720 公開
Kenichi Nagae, Osamu Tabata, Kenichi Nagae, Osamu Tabata, Elastic wave rransducers, elastic wave transducer array, ultrasonic probe, and ultrasonic imaging apparatus Elastic wave rransducers, elastic wave transducer array, ultrasonic probe, and ultrasonic imaging apparatus 特許出願 特願PCT/JP2009/051678 公開

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タイトル言語:
学術賞等
賞の名称(日本語) 賞の名称(英語) 授与組織名(日本語) 授与組織名(英語) 年月
100 Most Technologically Significant New Products of the YearR&D 100 Award from R&D Magazine for research 1993
社団法人日本ME学会科学新聞・研究奨励賞受賞Science News Award from Biomedical Engineering Society of Japan 1988
社団法人電気学会論文発表賞Presentation Paper Award from the Institute of Electrical Engineers of J 1988
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム最優秀ポスタ賞 2002
立命館大学渡辺三彦発明賞渡辺三彦賞 2004
最優秀論文発表賞 Best Presentation Award 日本電気学会 Institute of Electrical Engineer Japan for research 2014/10/21
100 Most Technologically Significant New Products of the Year, R&D 100 Award from R&D Magazine for research R&D Magazine 1998
外部資金:競争的資金・科学研究費補助金
種別 代表/分担 テーマ(日本語) テーマ(英語) 期間
特別研究員奨励費 代表 新規なMEMSデバイスの創生とその医工学分野への応用に関する研究
基盤研究(B) MEMS用シーケンシャル・セルフ・アセンブリ技術の構築 2007〜2009
基盤研究(B) プログラマブル・セルフ・アセンブルを用いたMEMSとナノ構造の融合プロセス 2010〜2012
基盤研究(B) 代表 MEMSとDNA融合プロセスによる光電気複合型ナノポアセンサデバイスの基盤構築 (平成28年度分) 2016/04/01〜2017/03/31
外部資金:競争的資金・科学研究費補助金以外
制度名 代表者名 研究課題(日本語) 研究課題(英語) 期間
独立行政法人科学技術振興機構 理事長 沖村憲樹 高性能液体クロマトグラフィー用マイクロ カラムデバイスの開発
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ京都 館長 松波弘之 分離機能を傾斜させたHPLC用中空型マイクロカラムの開発
(独)科学技術振興機構 戦略的創造事業本部長 分任契約担当者 理事  北澤 宏一 ナノチップ・マイクロチャネル加工に関する研究
マイクロ・ナノ加工技術 Fabrication Technology for Micro/Nano System 1996〜
マイクロ・ナノシステムの評価・解析技術 Meaurement and Analysis Technology for Micro/Nano System 1996〜
マイクロ・ナノシステム統合技術 Synthesis Engineering for Macro/Nano System 1996〜
文部科学省 科学技術人材育成のコンソーシアムの構築事業 田畑 修 ナノテクキャリアアップアライアンス (平成26年度分) 2014/04/01〜2015/03/31
文部科学省 科学技術人材育成費補助金 田畑 修 ナノテクキャリアアップアライアンス (平成27年度分) 2015/04/01〜2016/03/31
二国間交流事業共同研究・セミナー 田畑 修 数値解析とAFM機械物性評価による汎用的DNAナノ構造設計手法の構築 (平成27年度分) 2015/04/01〜2016/03/31
二国間交流事業共同研究・セミナー 田畑 修 数値解析とAFM機械物性評価による汎用的DNAナノ構造設計手法の構築 (平成28年度分) 2016/04/01〜2017/03/31
科学技術人材育成費補助金 田畑 修 ナノテクキャリアアップアライアンス (平成28年度分) 2016/04/01〜2017/03/31

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担当科目
講義名(日本語) 講義名(英語) 開講期 学部/研究科 年度
計測工学 Instrumentation
マイクロ材料・プロセス工学 Micro Material and Process
マイクロシステム工学 Micro System Engineering
微小電気機械創製工学 Implementation of Micro Electro Mechanical System
インターンシップM(機械工学群) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
マイクロシステム工学 後期 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップDS(機械工学群) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップDL(機械工学群) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
微小電気機械システム創製学 後期 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップM(応用力学) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップDS(応用力学) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップDL(応用力学) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップM(生命・医工) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップD(生命・医工) 通年 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップDS(機械工学群) 前期 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップDS(機械工学群) 後期 工学研究科 2011/04〜2012/03
小さな機械(マイクロマシン)の世界を探る Explore the World of Micro Machine 前期 全学共通科目 2011/04〜2012/03
マイクロ加工学(機エネ) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
マイクロプロセス・材料工学 前期 工学研究科 2011/04〜2012/03
インターンシップ(機) 後期集中 工学部 2011/04〜2012/03
計測学(機エネ原:学番偶数) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
計測学(機エネ原:学番奇数) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 前期 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 後期 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2012/04〜2013/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップM(生命・医工) Bio-Medical Engineering Internship M 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2012/04〜2013/03
小さな機械(マイクロマシン)の世界を探る Explore the World of Micro Machine 前期 全学共通科目 2012/04〜2013/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2012/04〜2013/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2012/04〜2013/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2012/04〜2013/03
インターンシップD(生命・医工) Bio-Medical Engineering Internship D 通年 工学研究科 2012/04〜2013/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2012/04〜2013/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2013/04〜2014/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2013/04〜2014/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2013/04〜2014/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2013/04〜2014/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
圧電マイクロデバイス工学 Piezoelectric Microdevice Engineering 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロ・ナノフォトニクス材料工学 Micro/Nano Photonics Material Engineering 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2014/04〜2015/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2014/04〜2015/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2014/04〜2015/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2014/04〜2015/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリングセミナーA Seminar on Micro Engineering A 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリングセミナーB Seminar on Micro Engineering B 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング基礎セミナーA Basic Seminar on Micro Engineering A 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング基礎セミナーB Basic Seminar on Micro Engineering B 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第一 Experiments on Micro Engineering, Adv. I 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第一 Experiments on Micro Engineering, Adv. I 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第二 Experiments on Micro Engineering, Adv. II 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第二 Experiments on Micro Engineering, Adv. II 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
研究論文 Master's Thesis 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習A Advanced Exercise in Micro Engineering A 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習B Advanced Exercise in Micro Engineering B 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習C Advanced Exercise in Micro Engineering C 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習D Advanced Exercise in Micro Engineering D 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習E Advanced Exercise in Micro Engineering E 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロエンジニアリング特別演習F Advanced Exercise in Micro Engineering F 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロ・ナノフォトニクス材料工学 Micro/Nano Photonics Material Engineering 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
機能材料応用デバイス工学 Functional Materials Application Device Engineering 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2015/04〜2016/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2015/04〜2016/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2015/04〜2016/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2015/04〜2016/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2015/04〜2016/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2015/04〜2016/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2015/04〜2016/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2015/04〜2016/03
マイクロ・ナノフォトニクス材料工学 Micro/Nano Photonics Material Engineering 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
機能材料応用デバイス工学 Functional Materials Application Device Engineering 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2015/04〜2016/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2016/04〜2017/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学セミナーA Seminar on Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学セミナーB Seminar on Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別実験及び演習第一 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics I 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別実験及び演習第二 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics II 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別演習A Advanced Exercise in Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別演習B Advanced Exercise in Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別演習C Advanced Exercise in Applied Mechanics C 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別演習D Advanced Exercise in Applied Mechanics D 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別演習E Advanced Exercise in Applied Mechanics E 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用力学特別演習F Advanced Exercise in Applied Mechanics F 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2016/04〜2017/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
研究論文(修士) Master's Thesis 通年 工学研究科 2016/04〜2017/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2016/04〜2017/03
インターンシップDL(応用力学) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
インターンシップDL(機械工学群) Engineering Internship DL 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
インターンシップDS(応用力学) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
インターンシップDS(機械工学群) Engineering Internship DS 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
インターンシップ Internship 後期集中 工学部 2017/04〜2018/03
インターンシップM(応用力学) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
インターンシップM(機械工学群) Engineering Internship M 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学セミナーA Seminar on Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学セミナーB Seminar on Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別実験及び演習第一 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics I 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別実験及び演習第二 Advanced Experiment and Exercise in Applied Mechanics II 通年 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別演習A Advanced Exercise in Applied Mechanics A 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別演習B Advanced Exercise in Applied Mechanics B 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別演習C Advanced Exercise in Applied Mechanics C 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別演習D Advanced Exercise in Applied Mechanics D 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別演習E Advanced Exercise in Applied Mechanics E 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用力学特別演習F Advanced Exercise in Applied Mechanics F 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 後期集中 工学部 2017/04〜2018/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2017/04〜2018/03

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全学運営(役職等)
役職名 期間
発明評価委員会(ソフトウェア・コンテンツ分野拠点) 委員 2008/04/01〜2010/03/31
発明評価委員会(メディカル・バイオ分野拠点) 委員 2010/04/01〜2011/03/31
部局運営(役職等)
役職名 期間
マイクロエンジニアリング専攻長 2014/04/01〜2015/03/31
工学研究科点検・評価委員会 委員 2014/04/01〜2015/03/31
工学研究科教育制度委員会 委員 2016/04/01〜2018/03/31
学会活動:その他
学会名(日本語) 学会名(英語) 貢献活動名(日本語) 貢献活動名(英語) 期間
電気学会 「CPD部会」委員 2012/08/10〜2015/08/09
一般社団法人 電気学会 技術者教育委員会委員 2012/09/04〜2013/09/03
その他活動:国・地方公共団体での活動
委員会名(日本語) 委員会名(英語) 役職名 公共団体の名称 期間
研究成果最適展開支援事業 専門委員 独立行政法人科学技術振興機構 2010/06/07〜2012/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会 委員 独立行政法人国際協力機構 2011/04/01〜2012/03/31
専門調査員 文部科学省 科学技術政策研究所 2011/04/01〜2012/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独)国際協力機構 2011/04/01〜2012/03/31
特任教員選考部会 委員 国立大学法人名古屋工業大学 2012/01/10〜2012/03/30
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会 委員 独立行政法人国際協力機構 2012/04/01〜2013/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独)国際協力機構 2012/04/01〜2013/03/31
研究成果最適展開支援プログラム 専門委員 独立行政法人科学技術振興機構 2012/04/02〜2014/03/31
専門調査員 文部科学省 科学技術政策研究所 2012/05/25〜2013/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独立行政法人国際協力機構 2013/04/01〜2013/10/12
専門調査員 文部科学省 科学技術政策研究所 2013/04/01〜2014/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会専門部会(大学戦略・組織運営WG) 委員 独立行政法人国際協力機構 2013/10/13〜2015/03/31
「エジプト日本科学技術大学(E‐JUST)設立プロジェクト」国内支援委員会 委員 独立行政法人 国際協力機構 2013/10/13〜2015/03/31
科学研究費委員会 専門委員 独立行政法人 日本学術振興会 2013/12/01〜2014/11/30
研究成果最適展開支援プログラム 専門委員 独立行政法人科学技術振興機構 2014/04/09〜2016/03/31
科学研究費委員会 専門委員(基盤研究等第1段審査委員) 独立行政法人 日本学術振興会 2014/12/01〜2015/11/30
エジプト日本科学技術大学(E-JUST)プロジェクトフェーズ2国内支援委員会 独立行政法人国際協力機構 2015/04/01〜2016/03/31
エジプト日本科学技術大学プロジェクトフェーズ2国内支援委員会・専門部会 独立行政法人国際協力機構 2015/04/01〜2016/03/31

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その他活動:民間企業・NPO等の兼業
相手先名 兼業の内容 期間
財団法人 マイクロマシンセンター 評議員 2010/04/01〜2012/03/31
財団法人マイクロマシンセンター 調査研究事業委員会委員 2010/05/25〜2012/03/31
社団法人新化学技術推進協会 技術顧問(技術指導) 2011/06/28〜2012/03/31
公益社団法人新化学技術推進協会 技術顧問(技術指導) 2012/04/01〜2013/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 調査研究事業委員会委員 2012/07/02〜2014/03/31
公益社団法人新化学技術推進協会 電子情報技術部会 MEMS分科会 技術顧問 2014/04/01〜2015/06/30
技術アドバイザー 2015/05/01〜2018/04/30