土屋 智由

最終更新日時: 2018/11/07 11:40:06

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氏名(漢字/フリガナ/アルファベット表記)
土屋 智由/ツチヤ トシユキ/Tsuchiya, Toshiyuki
所属部署・職名(部局/所属/講座等/職名)
工学研究科/マイクロエンジニアリング専攻構造材料強度学講座/教授
学部兼担
部局 所属 講座等 職名
工学部
連絡先住所
種別 住所(日本語) 住所(英語)
職場 〒615-8540 京都府京都市西京区京都大学桂C3棟 C3 Bldg., Kyoto University-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540
連絡先電話番号
種別 番号
職場 075-383-3691
電子メールアドレス
メールアドレス
tutti @ me.kyoto-u.ac.jp
所属学会(国内)
学会名(日本語) 学会名(英語)
電気学会 IEE Japan
日本機械学会 JSME
応用物理学会 The Japan Society of Applied Physics
取得学位
学位名(日本語) 学位名(英語) 大学(日本語) 大学(英語) 取得区分
修士(工学) 東京大学 The University of Tokyo
博士(工学) 名古屋大学 Nagoya University
出身大学院・研究科等
大学名(日本語) 大学名(英語) 研究科名(日本語) 研究科名(英語) 専攻名(日本語) 専攻名(英語) 修了区分
東京大学 The University of Tokyo 大学院工学系研究科修士課程精密機械工学専攻 School of Engineering Department of Precision Mechanical Engineering 修了
名古屋大学 Nagoya University 大学院工学研究科博士課程後期課程マイクロシステム工学専攻 Graduate School of Engineering Department of Microsystem Engineering 修了
出身学校・専攻等
大学名(日本語) 大学名(英語) 学部名(日本語) 学部名(英語) 学科名(日本語) 学科名(英語) 卒業区分
東京大学 The University of Tokyo 工学部精密機械工学科 Faculty of Engineering Department of Precision Mechanical Engineering 卒業
職歴
期間 組織名(日本語) 組織名(英語) 職名(日本語) 職名(英語)
1993/04/01〜2004/02/29 (株)豊田中央研究所 Toyota Central R&D Labs. Inc. 研究員 Researcher
2004/03/01〜 京都大学工学研究科 Kyoto University 准教授 Associate Professor
プロフィール
(日本語)
半導体微細加工技術を用いて作る小さな機械,微小電気機械システム(MEMS)の研究をしています.主にシリコンを構造体として用いるセンサ(加速度センサ,角速度センサ)やアクチュエータ(ミラー)の設計・製作・評価について,また,MEMSに用いられるマイクロ材料の機械的信頼性の評価について,MEMSを用いたナノ材料の評価デバイスについて,などを研究テーマとしています.
(英語)
I am currently engaged in the research of silicon surface micromachining, its application in MEMS, the mechanical property evaluation of micro materials, and the reliability of MEMS devices.
個人ホームページ
URL
http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/
ORCID ID
https://orcid.org/0000-0002-7846-5831
researchmap URL
https://researchmap.jp/read0192569
研究テーマ
(日本語)
ナノ・マイクロ材料の機械物性評価,微小電気機械システム,マイクロシステム,マイクロマシン,慣性センサ
(英語)
Mechanical Properties Evaluation of Nano-/Micro-Materials, Micro Electromechanical Systems, MEMS, Microsystem, Inertial Sensor
研究概要
(日本語)
半導体微細加工を用いて作製する微小なセンサ・アクチュエータ,いわゆる微小電気機械システム(MEMS)の研究を行っている.特に静電容量型センサ・アクチュエータとして慣性センサ(加速度センサ,角速度センサ),光アクチュエータ(ミラー)デバイスの設計,製作,評価の研究を行っている.また,これらMEMSデバイスの信頼性に関する研究,マイクロ・ナノ材料の機械的特性の評価法の開発,評価を行っている.
(英語)
I have been researching on microelectromechanical systems (MEMS), which is tiny sensors and actuators fabricated using semiconductor fabrication technologies. The main research topic is electrostatic MEMS, including accelerometers, vibrating gyroscopes and micromirrors. In addition, I am working on the mechanical reliability evaluation of MEMS and the mechanical properties evaluations of nano/micro materials used for MEMS.
研究分野(キーワード)
キーワード(日本語) キーワード(英語)
MEMS,マイクロシステム Micro Systems,MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
慣性センサ Inertial Sensors
マイクロ・ナノ機械の信頼性 Reliability of Micro/Nano Machines
マイクロ材料の機械的物性評価 Mechanical Properties Evaluation of Micro Materials
論文
著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 書誌情報等 書誌情報等(日本語) 書誌情報等(英語) 出版年月 査読の有無 記述言語 掲載種別 公開
Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN, 204, 2 ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN, 204, 2 ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN, 204, 2 2018/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
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稲垣 達也, 朴 晟洙, 山下 直輝, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 稲垣 達也, 朴 晟洙, 山下 直輝, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 138, 5 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 138, 5 , 138, 5 2018/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Yunfei Huang, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Yamada, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Yunfei Huang, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Yamada, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Yunfei Huang, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Yamada, Osamu Tabata Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs SMALL, 14, 1 SMALL, 14, 1 SMALL, 14, 1 2018/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique MICRO & NANO LETTERS, 12, 11 MICRO & NANO LETTERS, 12, 11 MICRO & NANO LETTERS, 12, 11 2017/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Wenlei Zhang, Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56, 6 2017/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
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Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56, 6 2017/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
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Ken-ichiro Kamei, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Shinji Ito, Junko Satoh, Atsuko Oka, Toshiyuki Tsuchiya, Yong Chen, Osamu Tabata Ken-ichiro Kamei, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Shinji Ito, Junko Satoh, Atsuko Oka, Toshiyuki Tsuchiya, Yong Chen, Osamu Tabata Ken-ichiro Kamei, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Shinji Ito, Junko Satoh, Atsuko Oka, Toshiyuki Tsuchiya, Yong Chen, Osamu Tabata Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro RSC ADVANCES, 7, 58 RSC ADVANCES, 7, 58 RSC ADVANCES, 7, 58 2017 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
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Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 11 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 11 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 11 2016/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 55, 6 2016/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Sahour Sayed, Mohammed Gamil, Ahmed Fath El-Bab, Koichi Nakamura, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Ahmed Abd El-Moneim Sahour Sayed, Mohammed Gamil, Ahmed Fath El-Bab, Koichi Nakamura, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Ahmed Abd El-Moneim Sahour Sayed, Mohammed Gamil, Ahmed Fath El-Bab, Koichi Nakamura, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Ahmed Abd El-Moneim Graphene film development on flexible substrate using a new technique: temperature dependency of gauge factor for graphene-based strain sensors Graphene film development on flexible substrate using a new technique: temperature dependency of gauge factor for graphene-based strain sensors Graphene film development on flexible substrate using a new technique: temperature dependency of gauge factor for graphene-based strain sensors SENSOR REVIEW, 36, 2 SENSOR REVIEW, 36, 2 SENSOR REVIEW, 36, 2 2016/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 25, 1 2016/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
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菅野公二, 平岡亮二, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 平岡亮二, 土屋智由, 田畑修 ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価 ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価 電気学会論文誌(センサ・マイクロマシン部門誌), 135-E 電気学会論文誌(センサ・マイクロマシン部門誌), 135-E , 135-E 2015 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Mohamed E. Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Sherif Sedky Mohamed E. Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Sherif Sedky Mohamed E. Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Sherif Sedky Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 53, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 53, 6 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 53, 6 2014/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Praveen Singh Thakur, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Singh Thakur, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Singh Thakur, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Experimental verification of frequency decoupling effect on acceleration sensitivity in tuning fork gyroscopes using in-plane coupled resonators Experimental verification of frequency decoupling effect on acceleration sensitivity in tuning fork gyroscopes using in-plane coupled resonators Experimental verification of frequency decoupling effect on acceleration sensitivity in tuning fork gyroscopes using in-plane coupled resonators MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3 2014/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20, 3 2014/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Effects of etching surface roughness on the fatigue characteristics of single-crystal silicon Effects of etching surface roughness on the fatigue characteristics of single-crystal silicon Effects of etching surface roughness on the fatigue characteristics of single-crystal silicon IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 134-E, 2 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 134-E, 2 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 134-E, 2 2014 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
S. T. Praveen, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata S. T. Praveen, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata S. T. Praveen, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Study on Vibration-coupling Control of Out-of-plane Coupled Resonator for Anti-shock Tuning Fork Gyroscopes Study on Vibration-coupling Control of Out-of-plane Coupled Resonator for Anti-shock Tuning Fork Gyroscopes Study on Vibration-coupling Control of Out-of-plane Coupled Resonator for Anti-shock Tuning Fork Gyroscopes 電気学会論文誌E, 134-E 電気学会論文誌E, 134-E 電気学会論文誌E, 134-E 2014 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kazuya Tsujimoto, Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Natsuhiko Mizutani, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Natsuhiko Mizutani, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Natsuhiko Mizutani, Osamu Tabata On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 11 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 11 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 11 2013/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
平井 義和, 柳生 裕聖, 牧野 圭秀, 上杉 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 柳生 裕聖, 牧野 圭秀, 上杉 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 133, 8 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 133, 8 , 133, 8 2013/08 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer Electronics and Communications in Japan, 96, 5 Electronics and Communications in Japan, 96, 5 Electronics and Communications in Japan, 96, 5 2013/04 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 3 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 3 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 23, 3 2013/03 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響 日本機械学会論文集A編, 79, 804 日本機械学会論文集A編, 79, 804 , 79, 804 2013/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51, 11 2012/11 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Takashi Sumigawa, Kenta Matsumoto, Toshiyuki Tsuchiya, Takayuki Kitamura Takashi Sumigawa, Kenta Matsumoto, Toshiyuki Tsuchiya, Takayuki Kitamura Takashi Sumigawa, Kenta Matsumoto, Toshiyuki Tsuchiya, Takayuki Kitamura Fatigue of 1 mu m-scale gold by vibration with reduced resonant frequency Fatigue of 1 mu m-scale gold by vibration with reduced resonant frequency Fatigue of 1 mu m-scale gold by vibration with reduced resonant frequency MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING, 556 MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING, 556 MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING, 556 2012/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics POLYMER, 53, 21 POLYMER, 53, 21 POLYMER, 53, 21 2012/09 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Low-Cycle to Ultrahigh-Cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single-Crystal-Silicon Specimens Using a Microresonator Test Device Low-Cycle to Ultrahigh-Cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single-Crystal-Silicon Specimens Using a Microresonator Test Device Low-Cycle to Ultrahigh-Cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single-Crystal-Silicon Specimens Using a Microresonator Test Device JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 4 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 4 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 4 2012/08 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying-Khai Teh, The Ying-Fei, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21, 3 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18, 6 2012/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 5 , 132, 5 2012/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 7 , 132, 7 2012/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 132, 9 , 132, 9 2012/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Wen-Ming Zhang, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Guang Meng Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators PHYSICS LETTERS A, 375, 32 PHYSICS LETTERS A, 375, 32 PHYSICS LETTERS A, 375, 32 2011/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 7 , 131, 7 2011/01 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 SENSORS AND MATERIALS, 23, 5 2011 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9, 6 2010/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19, 5 2010/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 9 , 130, 9 2010/09 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 7 , 130, 7 2010/07 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20, 6 2010/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment EXPERIMENTAL MECHANICS, 50, 4 EXPERIMENTAL MECHANICS, 50, 4 EXPERIMENTAL MECHANICS, 50, 4 2010/04 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 2010 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Development of Amplitude-Controlled Parallel-Fatigue-Test System for Micro-Electromechanical Resonators Development of Amplitude-Controlled Parallel-Fatigue-Test System for Micro-Electromechanical Resonators Development of Amplitude-Controlled Parallel-Fatigue-Test System for Micro-Electromechanical Resonators SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 SENSORS AND MATERIALS, 22, 1 2010 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens Micro & Nano Letters, 5, 1 Micro & Nano Letters, 5, 1 Micro & Nano Letters, 5, 1 2010 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yuuki Nishimori, Hideta Ooiso, Shunsuke Mochizuki, Nobuyo Fujiwara, Toshiyuki Tsuchiya, Gen Hashiguchi Yuuki Nishimori, Hideta Ooiso, Shunsuke Mochizuki, Nobuyo Fujiwara, Toshiyuki Tsuchiya, Gen Hashiguchi Yuuki Nishimori, Hideta Ooiso, Shunsuke Mochizuki, Nobuyo Fujiwara, Toshiyuki Tsuchiya, Gen Hashiguchi A multiple Degrees of Freedom Equivalent Circuit for a Comb-Drive Actuator A multiple Degrees of Freedom Equivalent Circuit for a Comb-Drive Actuator A multiple Degrees of Freedom Equivalent Circuit for a Comb-Drive Actuator JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 48, 12 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 48, 12 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 48, 12 2009/12 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Nobuyo Fujiwara, Kazuo Asaumi, Yasuroh Irie, Tomoyuki Koike, Toshiyuki Tsuchiya, Gen Hashiguchi Nobuyo Fujiwara, Kazuo Asaumi, Yasuroh Irie, Tomoyuki Koike, Toshiyuki Tsuchiya, Gen Hashiguchi Nobuyo Fujiwara, Kazuo Asaumi, Yasuroh Irie, Tomoyuki Koike, Toshiyuki Tsuchiya, Gen Hashiguchi Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 2009/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4, 3 2009/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata Free-standing C_{60} nanowire fabricated using XeF_2 sacrificial dry etching Free-standing C_{60} nanowire fabricated using XeF_2 sacrificial dry etching Free-standing C_{60} nanowire fabricated using XeF_2 sacrificial dry etching JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8, 1 JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8, 1 JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8, 1 2009/01 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micromechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon flms Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micromechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon flms Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micromechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon flms Journal of Applied Physics, 105, 9 Journal of Applied Physics, 105, 9 Journal of Applied Physics, 105, 9 2009 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
土屋 智由, 宮本 憲治, 菅野 公二, 田畑 修 土屋 智由, 宮本 憲治, 菅野 公二, 田畑 修 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 日本機械学会2008年度年次大会, 8 日本機械学会2008年度年次大会, 8 , 8 2008/08 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
T. Ikehara, T. Tsuchiya T. Ikehara, T. Tsuchiya T. Ikehara, T. Tsuchiya High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 7 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 7 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 7 2008/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
M. Komori, H. Uchiyama, H. Takebe, T. Kusuura, K. Kobayashi, H. Kuwahara, T. Tsuchiya M. Komori, H. Uchiyama, H. Takebe, T. Kusuura, K. Kobayashi, H. Kuwahara, T. Tsuchiya M. Komori, H. Uchiyama, H. Takebe, T. Kusuura, K. Kobayashi, H. Kuwahara, T. Tsuchiya Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 6 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18, 6 2008/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara U Uchida, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, T Ikehara Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5 , 128, 5 2008/05 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143, 1 2008/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3, 3 IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3, 3 2008/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル 粉体工学会, 45 粉体工学会, 45 , 45 2008 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
吉川 弥, 篠部 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 石田 章, 田畑 修 吉川 弥, 篠部 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 石田 章, 田畑 修 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 128-E 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 128-E , 128-E 2008 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128-E, 5 2008 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16, 3 2007/06 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 4, 9 IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 4, 9 IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 4, 9 2007/05 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17, 2 2007/02 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E 電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 127-E , 127-E 2007 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba, R Udo, Y Yoshitomi, T Ando, K Sato, K Takashima, Y Higo, Y Saotome, H Ogawa, K Ozaki T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba, R Udo, Y Yoshitomi, T Ando, K Sato, K Takashima, Y Higo, Y Saotome, H Ogawa, K Ozaki T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba, R Udo, Y Yoshitomi, T Ando, K Sato, K Takashima, Y Higo, Y Saotome, H Ogawa, K Ozaki Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 14, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 14, 5 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 14, 5 2005/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba T Tsuchiya, M Hirata, N Chiba Young's modulus, fracture strain, and tensile strength of sputtered titanium thin films Young's modulus, fracture strain, and tensile strength of sputtered titanium thin films Young's modulus, fracture strain, and tensile strength of sputtered titanium thin films THIN SOLID FILMS, 484, 1-2 THIN SOLID FILMS, 484, 1-2 THIN SOLID FILMS, 484, 1-2 2005/07 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
土屋 智由 土屋 智由 Tensile testing of silicon thin films Tensile testing of silicon thin films Tensile testing of silicon thin films Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures, 28 Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures, 28 , 28 2005 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
T Tsuchiya, H Funabashi T Tsuchiya, H Funabashi T Tsuchiya, H Funabashi A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 116, 3 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 116, 3 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 116, 3 2004/10 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
中野 由崇, 土屋 智由, 坂田 二郎 中野 由崇, 土屋 智由, 坂田 二郎 CVD法と熱処理で作製した多結晶Si膜の粒界物性評価 CVD法と熱処理で作製した多結晶Si膜の粒界物性評価 電気学会論文誌E(センサマイクロマシン準部門誌), 124-E 電気学会論文誌E(センサマイクロマシン準部門誌), 124-E , 124-E 2004 日本語 研究論文(学術雑誌) 公開
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Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films using Electrostatic Force Grip 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 電気学会E部門論文誌, 116-E, 10 1996 英語 研究論文(学術雑誌) 公開
Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 116-E, 1 1996 英語 研究論文(学術雑誌) 公開

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著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 書誌情報等 書誌情報等(日本語) 書誌情報等(英語) 出版年月 査読の有無 記述言語 掲載種別 公開
Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, K. Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip Microfluidic device to interconnect multiple organs via fluidic circulation: Towards Body-on-a-Chip The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 英語 公開
Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Mori, Z. Ma, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate Selective assembly of DNA nanostructure bridging onto a trenched silicon substrate The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 英語 公開
Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Matsui, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect A sub-micron-gap SOI capacitive accelerometer array utilizing size effect The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 The 18th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers’15), 0 2015/06 英語 公開
Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Z. Ma, Y.-J. Kim, S. Park, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, D.-N. Kim, Osamu Tabata Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 The 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2015), 581-584 2015/04 英語 公開
朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 森裕都 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 平成27年電気学会全国大会, 3-095 2015/03 英語 公開
土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. 第62回応用物理学会春季学術講演会, 12p-D15-4. , 12p-D15-4. 2015/03 日本語 公開
X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata X. Ma, Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. Kempen, F. Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system Optimization method for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 SPIE Advanced Lithography 2015 (Optical Microlithography XXVIII), 9426-14 2015/02 英語 公開
A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing Size effect on brittle-ductile transition temperature of silicon by means of tensile testing The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 389-392 2015/01 英語 公開
K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Hokazono, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA FET properties of single-walled carbon nanotubes individually assembled utilizing single strand DNA The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 417-420 2015/01 英語 公開
K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers Ultrasensitive surface-enhanced raman spectroscopy using directionally arrayed gold nanoparticle dimers The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 608-611 2015/01 英語 公開
加藤義基, 平井 義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修 加藤義基, 平井 義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修 灌流システムを搭載した副作用検査デバイス 〜ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して〜 灌流システムを搭載した副作用検査デバイス 〜ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して〜 細胞アッセイ技術の現状と将来, 12 細胞アッセイ技術の現状と将来, 12 , 12 2015/01 日本語 公開
K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, D. Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 7P-11-90 2014/11 英語 公開
Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Y. Pihosh, N. Kabeta, K. Mawatari, Y. Kazoe, K. Kitamura, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, T. Kitamori Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 1236-1239 2014/10 英語 公開
A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A. Uesugi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 6C-5-1 2014/10 英語 公開
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Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Daisuke Takagi, Satoshi Anai, Yoshitomo Chihara, Toshiyuki Tsuchiya, Kiyohide Fujimoto, Osamu Tabata Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 EUROSENSORS 2014, 87, 62-65 2014/09 英語 公開
上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 日本機械学会2014年度年次大会, J2240303 , J2240303 2014/09 日本語 公開
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, , 田畑修 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 日本機械学会2014年度年次大会, J2240206 , J2240206 2014/09 日本語 公開
土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 日本機械学会2014年度年次大会,, J2240106 , J2240106 2014/09 日本語 公開
上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 日本実験力学会2014年度年次講演会, B205 , B205 2014/08 日本語 公開
土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 土屋智由 , 中野篤, 平井義和, 田畑修 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 講演番号528 , 講演番号528 2014/08 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Towards batch assembly and integration of single-walled carbon nanotubes to micro-electromechanical devices Towards batch assembly and integration of single-walled carbon nanotubes to micro-electromechanical devices Towards batch assembly and integration of single-walled carbon nanotubes to micro-electromechanical devices 2014 CMOS Emerging Technologies Research, Grenoble, 0 2014 CMOS Emerging Technologies Research, Grenoble, 0 2014 CMOS Emerging Technologies Research, Grenoble, 0 2014/07 英語 公開
土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, OS1513 , OS1513 2014/07 日本語 公開
Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Takahiro Yasutomi, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 英語 公開
Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris Kempen, Fred Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 0 2014/06 英語 公開
菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 松井大門, , 土屋智由, 田畑修 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011 , MSS-14-011 2014/05 日本語 公開
平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 85-90 , 85-90 2014/05 日本語 公開
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 84 , 84 2014/03 日本語 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 日本実験力学会講演論文集, 14, 265-267 , 14, 265-267 2014/01 日本語 公開
T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata T. Tsuchiya, Vijay Kumar Singh, Y. Hirai, O. Tabata Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes Large-displacement electrostatic deformable mirror with movable bottom electrodes The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 119-120 2014 英語 公開
Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Y. Kogita, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy Double-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved raman spectroscopy The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 The 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 65-66 2014 英語 公開
高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 藤本清秀, 土屋智由, 平尾佳彦, 田畑修 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 3P01 , 3P01 2013/12 日本語 公開
D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata D. Takagi, Y. Hirai, S. Anai, Y. Chihara, K. Fujimoto, T. Tsuchiya, Y. Hirao, O. Tabata Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 The 7th IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 22-26 2013/11 英語 公開
成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-117 , 5PM3-PSS-117 2013/11 日本語 公開
小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 5PM3-PSS-013 , 5PM3-PSS-013 2013/11 日本語 公開
辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6AM2-A-4 , 6AM2-A-4 2013/11 日本語 公開
M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky M. Elwi Mitwally, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, S. Sedky Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment Improvement of Tensile Strength of Freestanding Single Crystal Silicon Microstructures using Localized Harsh Laser Treatment 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 0 2013/11 英語 公開
種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 種村友貴, 山下秀一, 和戸弘幸, 竹内幸裕, 田畑修, 土屋智由 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, OS1211 , OS1211 2013/10 日本語 公開
池原 毅, 土屋 智由 池原 毅, 土屋 智由 単結晶シリコン振動子の疲労寿命に対する側壁粗さの影響 単結晶シリコン振動子の疲労寿命に対する側壁粗さの影響 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211011 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211011 , J211011 2013/09 日本語 公開
鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017 , J211017 2013/09 日本語 公開
上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013 , J211013 2013/09 日本語 公開
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, pp. S28-S29 , pp. S28-S29 2013/09 日本語 公開
外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024 , J211024 2013/09 日本語 公開
中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549 , 講演番号549 2013/08 日本語 公開
谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 日本実験力学会2013年度年次講演会, 129-131 , 129-131 2013/08 日本語 公開
Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugan, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 0 2013/07 英語 公開
Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192-193 2013/04 英語 公開
加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ 平成25年電気学会全国大会, 193-194 平成25年電気学会全国大会, 193-194 , 193-194 2013/03 日本語 公開
北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製 平成25年電気学会全国大会, 191-192 平成25年電気学会全国大会, 191-192 , 191-192 2013/03 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya On-chip MEMS tensile testing device for mechanical characterization of nano-materials On-chip MEMS tensile testing device for mechanical characterization of nano-materials On-chip MEMS tensile testing device for mechanical characterization of nano-materials The first Bristol Univ.-Kyoto Univ. Joint Symposium, 0 The first Bristol Univ.-Kyoto Univ. Joint Symposium, 0 The first Bristol Univ.-Kyoto Univ. Joint Symposium, 0 2013/01 英語 公開
中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 中野 篤, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p , 30, 5p 2013/01 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p , 30, 6p 2013/01 日本語 公開
小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 小北 雄亮, 谷山 彰, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 5p , 30, 5p 2013/01 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修 AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション) 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S-28 , 2013, S-28 2013/01 日本語 公開
谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会) 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 日本実験力学会講演論文集, 13, 129-131 , 13, 129-131 2013/01 日本語 公開
K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata K Sugano, H Katayama, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1807-1810 2013 英語 公開
A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata A Uesugi, Y. Hirai, K Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 1946-1949 2013 英語 公開
T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 307-310 2013 英語 公開
Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE ROTATIONAL MOTION EFFECT ON SENSITIVITY MATRIX OF MEMS THREE-AXIS ACCELEROMETER FOR REALIZATION OF CONCURRENT CALIBRATION USING VIBRATION TABLE 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 645-648 2013 英語 公開
土屋 智由 土屋 智由 シリコンセンサとマイクロ・ナノ材料 -MEMSデバイスの高信頼・高機能化に向けて- シリコンセンサとマイクロ・ナノ材料 -MEMSデバイスの高信頼・高機能化に向けて- 東京工業大学 精密工学研究所公開 技術講演会, 0 東京工業大学 精密工学研究所公開 技術講演会, 0 , 0 2012/10 日本語 公開
柳生 裕聖, 平井 義和, 牧野 圭秀, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 柳生 裕聖, 平井 義和, 牧野 圭秀, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 371-374 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 371-374 , 371-374 2012/10 日本語 公開
種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 山下 秀一, 和戸 弘幸, 竹内 幸裕, 土屋 智由, 田畑 修 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, P-G2-1 , P-G2-1 2012/10 日本語 公開
鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5 , OS7-3-5 2012/10 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 MEMSを応用したマイクロ・ナノ材料の機械的信頼性評価 MEMSを応用したマイクロ・ナノ材料の機械的信頼性評価 日本機械学会 2012 年度年次大会, F221002 日本機械学会 2012 年度年次大会, F221002 , F221002 2012/09 日本語 公開
上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, OS1909 , OS1909 2012/09 日本語 公開
中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 702 , 702 2012/09 日本語 公開
土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 土屋 智由, 中野 篤, 梅田 章, 田畑 修 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 701 , 701 2012/09 日本語 公開
Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168 2012/07 英語 公開
片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 片山拓;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 33-38 , MSS-12, 1-22, 33-38 2012/06/11 日本語 公開
西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 西野聡;菅野公二;平井義和;土屋智由;田畑修;武中能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12, 1-22, 29-32 , MSS-12, 1-22, 29-32 2012/06/11 日本語 公開
片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 ステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 33-38 ステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 33-38 , 33-38 2012/06 日本語 公開
西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 29-32 , 29-32 2012/06 日本語 公開
Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5 2012/04 英語 公開
Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tomoki Tanemura, Shuichi Yamashita, Hiroyuki Wado, Yukihiro Takeuchi, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B9.2. 2012/04 英語 公開
徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0 , 0 2012/03 日本語 公開
T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335-336 2012/03 英語 公開
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999-1000 2012/03 英語 公開
S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652-653 2012/03 英語 公開
C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411-412 2012/03 英語 公開
A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya A. Kitamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonliner resonators suitable for energy harvesting? -Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1213-1216 2012/02 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, A. Umeda Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix mesurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 420-423 2012/01 英語 公開
片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 片山 拓, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 33-38 , 2012, 1, 33-38 2012/01 日本語 公開
西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 西野 聡, 菅野 公二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修, 武中 能子 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012, 1, 29-32 , 2012, 1, 29-32 2012/01 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 国際会議報告:IEEE-NEMS 2012 報告 国際会議報告:IEEE-NEMS 2012 報告 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 132, 8, NL8_1-NL8_1 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 132, 8, NL8_1-NL8_1 , 132, 8, NL8_1-NL8_1 2012 日本語 公開
Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; Y. Makino; K. Sugano; T. Toshiyuki; O. Tabata Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation 26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 47, 402-405 26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 47, 402-405 Procedia Engineering, 47, 402-405 2012 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 420-423 2012 英語 公開
平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;辻本和也;菅野公二;土屋智由;田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11, 102-112, 7-11 , ECT-11, 102-112, 7-11 2011/11/21 日本語 公開
平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 7-11 , 7-11 2011/11 日本語 公開
H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011 MRS Fall Meeting, 1415, 0 2011/11 英語 公開
Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying Khai Teh, Ying Fei Teh, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Alex Man Ho Kwan, Sichao Song, Xing Lu, Lei Lu, Ying Khai Teh, Ying Fei Teh, Eddie Wing Cheung Chong, Yan Gao, William Hau, Fan Zeng, Man Wong, Chunmei Huang, Akira Taniyama, Yoshihide Makino, So Nishino, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A.M.H. Kwan; S. Song; X. Lu; L. Lu; Y.K. Teh; Y.F. Teh; E.W.C. Chong; Y. Gao; W. Hau; F. Zeng; M. Wong; C. Huang; A. Taniyama; Y. Makino; S. Nishino; T. Tsuchiya; O. Tabata Designs for Improving the Performance of an Electro-Thermal In-Plane Actuator Designs for Improving the Performance of an Electro-Thermal In-Plane Actuator Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator The 19th IFIP/IEEE International Conference on Very Large Scale Integration, 220-225 The 19th IFIP/IEEE International Conference on Very Large Scale Integration, 220-225 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 220-225 2011/10 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, H. Tokusaki, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, H. Tokusaki, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Osamu Tabata T. Tsuchiya; H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS The 19th IFIP/IEEE International Conference on Very Large Scale Integration, 208-213 The 19th IFIP/IEEE International Conference on Very Large Scale Integration, 208-213 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208-213 2011/10 英語 公開
Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope Analysis of Acceleration Sensitivity in Frequency-Decoupled MEMS Tuning Fork Gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 25, 623-626 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 25, 623-626 Procedia Engineering, 25, 623-626 2011/09 英語 公開
菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修 ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149-153 , 149-153 2011/09 日本語 公開
平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334-339 , 334-339 2011/09 日本語 公開
片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107-110 , 107-110 2011/09 日本語 公開
梅田 章, 土屋 智由, 深津 恵輔 梅田 章, 土屋 智由, 深津 恵輔 多軸慣性センサの標準に関する研究(第二報:感度マトリックスの比較測定) 多軸慣性センサの標準に関する研究(第二報:感度マトリックスの比較測定) 日本機械学会 Dynamics and Design Conference 2011, 0 日本機械学会 Dynamics and Design Conference 2011, 0 , 0 2011/09 日本語 公開
上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 日本機械学会2011年度年次大会, J161021 , J161021 2011/09 日本語 公開
西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289 , 289 2011/09 日本語 公開
北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 北村彰男;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 31-36 2011/07/01 日本語 公開
菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;吉宗秀晃;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 73-78 2011/07/01 日本語 公開
菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;平岡亮二;平井義和;土屋智由;田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 , MSS-11, 1-7.9-12.14-21, 83-86 2011/07/01 日本語 公開
K. Sugano, A. Nakata, H. Yoshimune, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano, A. Nakata, H. Yoshimune, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano; A. Nakata; H. Yoshimune; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three micropumps ASME-JSME-KSME Joint Fluids Engineering Conference 2011 (AJK2011-FED), 2, 0-369 ASME-JSME-KSME Joint Fluids Engineering Conference 2011 (AJK2011-FED), 2, 0-369 ASME-JSME-KSME 2011 Joint Fluids Engineering Conference, AJK 2011, 2, 0-369 2011/07 英語 公開
平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11), 2706-2709 The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11), 2706-2709 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2706-2709 2011/07 英語 公開
辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11 , No.11 2011/07 日本語 公開
P.S. Thakur; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata P.S. Thakur; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. P. Singh, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2006-2009 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2006-2009 The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11), 2006-2009 2011/06 日本語 公開
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31-36 , 31-36 2011/06 日本語 公開
菅野 公二, 平岡 亮二, 田畑 修, 土屋 智由, M. Klaumu"nzer, M. Voigt, W. Peukert 菅野 公二, 平岡 亮二, 田畑 修, 土屋 智由, M. Klaumu"nzer, M. Voigt, W. Peukert K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 2570-2573 The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, 2570-2573 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 2570-2573 2011/06 英語 公開
平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 62-63 The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011),, pp. 62-63, 62-63 2011/06 英語 公開
Kouji Sugano, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11), 1773-1776 The 16th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers'11), 1773-1776 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS\\'11, 1773-1776 2011/06 英語 公開
菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 83-86 , 83-86 2011/06 日本語 公開
松本健太;澄川貴志;土屋智由;北村隆行 松本健太;澄川貴志;土屋智由;北村隆行 微小構造体の共振疲労試験手法の開発 微小構造体の共振疲労試験手法の開発 日本材料学会学術講演会講演論文集, 60th, 337-338 日本材料学会学術講演会講演論文集, 60th, 337-338 , 60th, 337-338 2011/05/24 日本語 公開
松本 健太, 澄川 貴志, 土屋 智由, 北村 隆行 松本 健太, 澄川 貴志, 土屋 智由, 北村 隆行 微小構造体の共振疲労試験手法の開発 微小構造体の共振疲労試験手法の開発 日本材料学会 第60期学術講演会, 0 日本材料学会 第60期学術講演会, 0 , 0 2011/05 日本語 公開
吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成 平成23年電気学会全国大会, 186-187 平成23年電気学会全国大会, 186-187 , 186-187 2011/03 日本語 公開
田畑 修, 土屋 智由, 菅野 公二, 黄 春梅 田畑 修, 土屋 智由, 菅野 公二, 黄 春梅 C. Huang; T. Saeki; M. Endo; H. Sugiyama; C.-H. Weng; G.-B. Lee; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Configurable Assembly of DNA origami on MEMS by Microfluidic Device Configurable Assembly of DNA origami on MEMS by Microfluidic Device Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 203-206 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 203-206 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 203-206 2011/02 英語 公開
Praveen Singh Thakur, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Praveen Singh Thakur, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Praveen Singh Thakur, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1297-1300 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1297-1300 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1297-1300 2011/02 英語 公開
平井 義和, 中井 裕介, 牧野 圭秀, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 平井 義和, 中井 裕介, 牧野 圭秀, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Epoxy-Based Permeable Membrane Fabrication for 3D Microfluidic Device Epoxy-Based Permeable Membrane Fabrication for 3D Microfluidic Device Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 188-191 2011/02 英語 公開
Kouji Sugano, 中田 哲博, 吉宗 秀晃, 平井 義和, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, 中田 哲博, 吉宗 秀晃, 平井 義和, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata High-speed Pulsed Mixing with High-frequency Switching of Pumping from Three Inlet Microchannels High-speed Pulsed Mixing with High-frequency Switching of Pumping from Three Inlet Microchannels High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75-78 2011/02 英語 公開
土屋 智由 土屋 智由 プロセス技術 : 解説特集の企画にあたって プロセス技術 : 解説特集の企画にあたって 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 1 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 131, 1 , 131, 1 2011/01/01 日本語 公開
T. Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya T. Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya T. Ikehara, Toshiyuki Tsuchiya Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens International Symposium on Plasticity and Its Current Applications, 0 International Symposium on Plasticity and Its Current Applications, 0 International Symposium on Plasticity and Its Current Applications, 0 2011/01 英語 公開
S.Kamiya, 土屋 智由, T.Ikehara, K.Sato, T.Ando, T.Namazu, K.Takashima S.Kamiya, 土屋 智由, T.Ikehara, K.Sato, T.Ando, T.Namazu, K.Takashima S. Kamiya; T. Tsuchiya; T. Ikehara; K. Sato; T. Ando; T. Namazu; K. Takashima Cross comparison of fatigue lifetime testing on silicon thin film specimens Cross comparison of fatigue lifetime testing on silicon thin film specimens CROSS comparison of fatigue lifetime testing on silicon thin film specimens The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 404-407 The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 404-407 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 404-407 2011/01 英語 公開
菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 73-78 , 2011, 1, 73-78 2011/01 日本語 公開
北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 31-36 , 2011, 1, 31-36 2011/01 日本語 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 徳崎 裕幸, 平井 義和, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Tokusaki; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1288-1292 The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1288-1292 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1288-1292 2011/01 英語 公開
谷山 彰, 平井 義和, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Ikehara T, Toshiyuki Tsuchiya 谷山 彰, 平井 義和, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Ikehara T, Toshiyuki Tsuchiya A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro raman spectroscopy Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro raman spectroscopy Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro Raman spectroscopy The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Cancun, Mexico, 449-452 The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Cancun, Mexico, 449-452 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 449-452 2011/01 英語 公開
平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 辻本 和也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011, 102, 7-11 , 2011, 102, 7-11 2011/01 日本語 公開
菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 平岡 亮二, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011, 1, 83-86 , 2011, 1, 83-86 2011/01 日本語 公開
松本 健太, 澄川 貴志, 土屋 智由, 北村 隆行 松本 健太, 澄川 貴志, 土屋 智由, 北村 隆行 716 微小構造体の共振疲労試験手法の開発(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7) 716 微小構造体の共振疲労試験手法の開発(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7) 学術講演会講演論文集, 60, 337-338 学術講演会講演論文集, 60, 337-338 , 60, 337-338 2011/01 日本語 公開
A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449-452 2011 英語 公開
K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 368-371 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 368-371 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 368-371 2011 英語 公開
土屋 智由 土屋 智由 マイクロ・ナノ材料の試験方法 マイクロ・ナノ材料の試験方法 塑性と加工, 51, 598, 1048-1052 塑性と加工, 51, 598, 1048-1052 , 51, 598, 1048-1052 2010/11/25 日本語 公開
Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99 2010/11 英語 公開
徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 , 2010, 2, 141-142 2010/10/12 日本語 公開
脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd, 149-150 , 2nd, 149-150 2010/10/12 日本語 公開
辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656-661 , 656-661 2010/10 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 149-150 , 2010, 2, 149-150 2010/10 日本語 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法) マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010, 2, 141-142 , 2010, 2, 141-142 2010/10 日本語 公開
徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 141-142 , 141-142 2010/10 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 149-150 , 149-150 2010/10 日本語 公開
谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 谷山彰;平井義和;菅野公二;田畑修;池原毅;土屋智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 255-256 , 2010, Vol.8, 255-256 2010/09/04 日本語 公開
脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 脇田拓;平井義和;菅野公二;田畑修;土屋智由;池原毅 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, Vol.8, 243-244 , 2010, Vol.8, 243-244 2010/09/04 日本語 公開
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 , 0 2010/09 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価 日本機械学会2010年度年次大会, 0 日本機械学会2010年度年次大会, 0 , 0 2010/09 日本語 公開
谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 255-256 , 2010, 8, 255-256 2010/09 日本語 公開
脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 脇田 拓, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 土屋 智由, 池原 毅 T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, 8, 243-244 , 2010, 8, 243-244 2010/09 日本語 公開
平井 義和, 中井 裕介, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 平井 義和, 中井 裕介, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists Embedded double-layered microchannel fabrication for microfluidic devices using developer permeability of negative thick-film resists The 24th International conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXIV), 5, 854-857 The 24th International conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXIV), 5, 854-857 Procedia Engineering, 5, 854-857 2010/09 英語 公開
A.M.R.Fath El Bab, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, M.E.H. Eltaib, M.M. Sallam A.M.R.Fath El Bab, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, M.E.H. Eltaib, M.M. Sallam A.M.R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallama New Compensation Technique for the Soft Tissue Stiffness Measurements Using Two Sensor Probes Configuration New Compensation Technique for the Soft Tissue Stiffness Measurements Using Two Sensor Probes Configuration New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration The 24th International conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXIV), 5, 1304-1307 The 24th International conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXIV), 5, 1304-1307 Procedia Engineering, 5, 1304-1307 2010/09 英語 公開
Tokusaki Hiroyuki, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tokusaki Hiroyuki, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hiroyuki,Tokusaki; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 160 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 160, 160 2010/07 英語 公開
土屋 智由 土屋 智由 MEMSを用いたナノスケールの材料計測 MEMSを用いたナノスケールの材料計測 計測自動制御学会関西支部平成22年度講習会, 0 計測自動制御学会関西支部平成22年度講習会, 0 , 0 2010/07 日本語 公開
Tsujimoto Kazuya, Hirai Yoshikazu, 菅野 公二, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tsujimoto Kazuya, Hirai Yoshikazu, 菅野 公二, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kazuya,Tsujimoto; Yoshikazu,Hirai; 菅野 公二; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 211 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 211, 211 2010/07 英語 公開
Wakita Taku, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Ikehara Tsuyoshi Wakita Taku, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Ikehara Tsuyoshi Taku,Wakita; Yoshikazu,Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tsuyoshi,Ikehara Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 44 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 44 The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010),, p. 44, 44 2010/07 英語 公開
菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;中田哲博;平井義和;土屋智由;田畑修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 , MSS-10, 1-6.8-16.18-30, 139-144 2010/06/17 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 MEMS2010報告 MEMS2010報告 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 6 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 6 , 130, 6 2010/06/01 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 MEMS2010報告 MEMS2010報告 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 6, 255-255 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 6, 255-255 , 130, 6, 255-255 2010/06 日本語 公開
菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 中田 哲博, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010, 1, 139-144 , 2010, 1, 139-144 2010/06 日本語 公開
土屋 智由; 小野 崇人; 村上 裕二 土屋 智由; 小野 崇人; 村上 裕二 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 3, 97-102 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 3, 97-102 , 130, 3, 97-102 2010/03/01 日本語 公開
土屋 智由, 小野 崇人, 村上 裕二 土屋 智由, 小野 崇人, 村上 裕二 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 3, 97-102 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, 3, 97-102 , 130, 3, 97-102 2010/03 日本語 公開
脇田拓; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修; 池原 毅 脇田拓; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修; 池原 毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,, pp. 39-40, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,, pp. 39-40, 39-40 , 39-40 2010/03 日本語 公開
T. Ikehara, T. Tsuchiya T. Ikehara, T. Tsuchiya T. Ikehara; T. Tsuchiya Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens MICRO & NANO LETTERS, 5, 1, 49-52 MICRO & NANO LETTERS, 5, 1, 49-52 Micro and Nano Letters, 5, 1, 49-52 2010/02 英語 公開
Lopez G, Tanemura T, Sato R, Saeki T, Hirai Y, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Fujita M, Maeda M Lopez G, Tanemura T, Sato R, Saeki T, Hirai Y, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Fujita M, Maeda M G, Lopez; T, Tanemura; R, Sato; T, Saeki; Y, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu; M, Fujita; M, Maeda DNA-Grafted-Polymer Mediated Self-Assembly of Micro Components DNA-Grafted-Polymer Mediated Self-Assembly of Micro Components DNA-Grafted-Polymer Mediated Self-Assembly of Micro Components The 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 248-252 The 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 248-252 The 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 248-252, 248-252 2010/01 英語 公開
辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 辻本和也,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14) 2010 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 土屋 智由 Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS) Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS) Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS) The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 22 The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 22 The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium,, p. 22, 22 2009/12 英語 公開
藤原信代;浅海和雄;小池智之;土屋智由;橋口原 藤原信代;浅海和雄;小池智之;土屋智由;橋口原 MEMS等価回路ジェネレータの開発 MEMS等価回路ジェネレータの開発 電子情報通信学会技術研究報告, 109, 278(SDM2009 135-150), 29-32 電子情報通信学会技術研究報告, 109, 278(SDM2009 135-150), 29-32 , 109, 278(SDM2009 135-150), 29-32 2009/11/05 日本語 公開
藤原 信代, 浅海 和雄, 小池 智之, 土屋 智由, 橋口 原 藤原 信代, 浅海 和雄, 小池 智之, 土屋 智由, 橋口 原 MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般) MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般) 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 109, 278, 29-32 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 109, 278, 29-32 , 109, 278, 29-32 2009/11 日本語 公開
脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 脇田 拓, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 池原 毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 39-40 , 39-40 2009/10 日本語 公開
菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修 ナノ粒子を所望のパターンに配列する ナノ粒子を所望のパターンに配列する APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 , 0 2009/10 日本語 公開
菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します APPIE 産学官連携フェア2009, 0 APPIE 産学官連携フェア2009, 0 , 0 2009/10 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS) Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS) Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS) The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 22 The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 22 The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 22 2009/10 英語 公開
徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518-523 , 518-523 2009/10 日本語 公開
中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483-486 , 483-486 2009/10 日本語 公開
平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533-538 , 533-538 2009/10 日本語 公開
池原毅;土屋智由 池原毅;土屋智由 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験 日本機械学会年次大会講演論文集, 2009, Vol.8, 57-58 日本機械学会年次大会講演論文集, 2009, Vol.8, 57-58 , 2009, Vol.8, 57-58 2009/09/12 日本語 公開
徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 , 2009, 8, 69-70 2009/09/12 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画) CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画) 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009, 2, "SS-2"-"SS-5" 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009, 2, "SS-2"-"SS-5" , 2009, 2, "SS-2"-"SS-5" 2009/09/01 日本語 公開
徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 69-70 , 2009, 8, 69-70 2009/09 日本語 公開
徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 69-70 , 8, 69-70 2009/09 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 MEMS素子のモデリング技術 MEMS素子のモデリング技術 電子情報通信学会 2009年ソサイエティ大会 エレクトロニクス講演論文集2, SS2-SS5 電子情報通信学会 2009年ソサイエティ大会 エレクトロニクス講演論文集2, SS2-SS5 , SS2-SS5 2009/09 日本語 公開
池原 毅, 土屋 智由 池原 毅, 土屋 智由 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 57-58 日本機械学会2009年度年次大会, 8, 57-58 , 8, 57-58 2009/09 日本語 公開
池原 毅, 土屋 智由 池原 毅, 土屋 智由 T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1)) T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1)) 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 57-58 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, 8, 57-58 , 2009, 8, 57-58 2009/09 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画) CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画) 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009, 2, SS-2-SS-5 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009, 2, SS-2-SS-5 , 2009, 2, SS-2-SS-5 2009/09 日本語 公開
浅海 和雄; 藤原 信代; 水田 千益; 望月 俊輔; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原 浅海 和雄; 藤原 信代; 水田 千益; 望月 俊輔; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原 MEMS等価回路ジェネレータの開発 MEMS等価回路ジェネレータの開発 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009, 16, 7-10 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009, 16, 7-10 , 2009, 16, 7-10 2009/07/23 日本語 公開
菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 菅野公二;内田雄喜;平井義和;土屋智由;田畑修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09, 1-13, 7-12 , MSS-09, 1-13, 7-12 2009/07/23 日本語 公開
菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7-12 , 7-12 2009/07 日本語 公開
浅海 和雄, 藤原 信代, 水田 千益, 望月 俊輔, 小池 智之, 土屋 智由, 橋口 原 浅海 和雄, 藤原 信代, 水田 千益, 望月 俊輔, 小池 智之, 土屋 智由, 橋口 原 MEMS等価回路ジェネレータの開発 MEMS等価回路ジェネレータの開発 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009, 16, 7-10 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009, 16, 7-10 , 2009, 16, 7-10 2009/07 日本語 公開
菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 内田 雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009, 1, 7-12 , 2009, 1, 7-12 2009/07 日本語 公開
浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Y. Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Tensile Testing of Fullerene Nano Wire using Electrostatic MEMS Device Tensile Testing of Fullerene Nano Wire using Electrostatic MEMS Device Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 2062-2065 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 2062-2065 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062-2065 2009/06 英語 公開
菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 SUGANO K.;OZAKI T.;TSUCHIYA T.;TABATA O. Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array using Combination of Self-assembly and 2-step Transfer Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array using Combination of Self-assembly and 2-step Transfer Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array Using Combination of Self-Assembly and 2-step Transfer International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009, 409-412 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009, 409-412 Int Conf Electron Packag, 2009, 409-412 2009/04 英語 公開
佐藤 亮, 種村 友貴, Lopez Hinojosa Guillermo, Serry ElSayed Ahmed Mohammed, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, Lopez Hinojosa Guillermo, Serry ElSayed Ahmed Mohammed, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮; 種村 友貴; Guillermo,Lopez Hinojosa; Mohammed,Serry ElSayed Ahmed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 959-962 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 959-962 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009),, pp. 959-962, 959-962 2009/04 英語 公開
浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 浦靖武;菅野公二;土屋智由;田畑修 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 電気学会全国大会講演論文集, 2009, 3, 182-183 , 2009, 3, 182-183 2009/03/17 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 土屋 智由 CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009, 81-97 Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009, 81-97 Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009,, pp. 81-97, 81-97 2009/03 英語 公開
浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 浦 靖武, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 電気学会全国大会, 3, 182-183 電気学会全国大会, 3, 182-183 , 3, 182-183 2009/03 日本語 公開
Gen Hashiguchi, Shunsuke Mochiduki, Nobuyo Fujiwara, Toshiyuki Tsuchiya Gen Hashiguchi, Shunsuke Mochiduki, Nobuyo Fujiwara, Toshiyuki Tsuchiya Gen Hashiguchi, Shunsuke Mochiduki, Nobuyo Fujiwara, Toshiyuki Tsuchiya 3DOF Eqivalent Circuit Model of a Comb-Drive Actuator 3DOF Eqivalent Circuit Model of a Comb-Drive Actuator 3DOF Eqivalent Circuit Model of a Comb-Drive Actuator The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1758-1761 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1758-1761 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1758-1761 2009/01 英語 公開
種村 友貴, Guillermo Lopez Hinojosa, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, M. Fujita, M. Maeda 種村 友貴, Guillermo Lopez Hinojosa, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, M. Fujita, M. Maeda T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda Sequential and Selective Self-Assembly of Micro Components by DNA Grafted Polymer Sequential and Selective Self-Assembly of Micro Components by DNA Grafted Polymer Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer The 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 184-187 The 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 184-187 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 184-187 2009/01 英語 公開
Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. Parameter Optimization Method for Fabricating 3D Microstructures Embedded in Single-Layer Negative-Tone Photoresisit. The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'09), 1616-1619 2009/01 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique 25th Sensor Symposium, 15-20 25th Sensor Symposium, 15-20 25th Sensor Symposium, 15-20 2008/10 英語 公開
中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 730-732 The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 730-732 The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences,, pp. 730-732, 730-732 2008/10 英語 公開
Fujiwara N, Asaumi K, Irie Y, Koike T, Toshiyuki Tsuchiya, Hashiguchi G Fujiwara N, Asaumi K, Irie Y, Koike T, Toshiyuki Tsuchiya, Hashiguchi G Fujiwara N, Asaumi K, Irie Y, Koike T, Toshiyuki Tsuchiya, Hashiguchi G Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system 25th Sensor Symposium, 225-228 25th Sensor Symposium, 225-228 25th Sensor Symposium, 225-228 2008/10 英語 公開
Mochizuki Shunsuke, Toshiyuki Tsuchiya, Hashiguchi Gen, Koike Tomoyuki, Mizuta Chieki Mochizuki Shunsuke, Toshiyuki Tsuchiya, Hashiguchi Gen, Koike Tomoyuki, Mizuta Chieki Mochizuki Shunsuke, Toshiyuki Tsuchiya, Hashiguchi Gen, Koike Tomoyuki, Mizuta Chieki Semi-analytical formula for the capacitance of vertical comb electrodes and its applications Semi-analytical formula for the capacitance of vertical comb electrodes and its applications Semi-analytical formula for the capacitance of vertical comb electrodes and its applications 25th Sensor Symposium, 460-463 25th Sensor Symposium, 460-463 25th Sensor Symposium, 460-463 2008/10 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 1559-1602 EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 1559-1602 The 22nd international conference EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII),, pp. 1559-1602, 1559-1602 2008/09 英語 公開
池原毅;土屋智由 池原毅;土屋智由 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 163-164 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 163-164 , 2008, Vol.8, 163-164 2008/08/02 日本語 公開
中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 中田哲博;田中伸治;菅野公二;土屋智由;田畑修 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, Vol.8, 23-24 , 2008, Vol.8, 23-24 2008/08/02 日本語 公開
池原 毅, 土屋 智由 池原 毅, 土屋 智由 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 163-164 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 163-164 , 8, 163-164 2008/08 日本語 公開
土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157-158 , 8, 157-158 2008/08 日本語 公開
中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 日本機械学会2008年度年次大会, 8, 23-24 , 8, 23-24 2008/08 日本語 公開
土屋 智由 土屋 智由 単結晶シリコンMEMSデバイスの破壊と疲労 単結晶シリコンMEMSデバイスの破壊と疲労 応用物理学会結晶工学分科会第129回研究会,, pp. 23-30, 23-30 応用物理学会結晶工学分科会第129回研究会,, pp. 23-30, 23-30 , 23-30 2008/07 日本語 公開
佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0 , 0 2008/07 日本語 公開
平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08, 1-21, 1-6 , MSS-08, 1-21, 1-6 2008/06/12 日本語 公開
菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61-66 , 61-66 2008/06 日本語 公開
平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 1-6 , 1-6 2008/06 日本語 公開
AMR Fath El Bab, T Tamura, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, MEH Eltaib, MM Sallam AMR Fath El Bab, T Tamura, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, MEH Eltaib, MM Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab; 田村 智久; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5, 186-192 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 128, 5, 186-192 The First Japan-Egypt International Symposium on Science and Technology(EJICST 2008),, p. 144, 128, 5, 186-192 2008/05 英語 公開
T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics FNANO2008, 0 FNANO2008, 0 FNANO2008, 0 2008/04 英語 公開
平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138-139 , 3, 138-139 2008/03 日本語 公開
濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195-196 , 3, 195-196 2008/03 日本語 公開
樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 , 0 2008/03 日本語 公開
佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0 , 0 2008/03 日本語 公開
Ikehara Tsuyoshi, 土屋 智由 Ikehara Tsuyoshi, 土屋 智由 Ikehara Tsuyoshi, 土屋 智由 Crystal orientation dependence of fatigue caracteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator Crystal orientation dependence of fatigue caracteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator Crystal orientation dependence of fatigue caracteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 435-438 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 435-438 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 435-438 2008/01 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Jomori Tomoya, Ura Yasutake, Kouji Sugano, Osamu Tabata Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electronbeam writing and sacrifical dry etching The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 689-692 2008/01 英語 公開
Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transpotation and self-assembly The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 836-839 2008/01 英語 公開
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing Gold nanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1048-1051 2008/01 英語 公開
Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kusakabe Tatsuya, Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components DNA mediated seqential self-assembly of nano/micro components The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1052-1055 2008/01 英語 公開
Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Tanemura Tomoki, Higuchi Yuichi, Kusakabe Tatsuya, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components Contact potential differnce for seqential assembly and face alignment of submillimater components The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1056-1059 2008/01 英語 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, 田村 智久, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, 田村 智久, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam A.M.R. Fath El Bab; T. Tamura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M.E.H. Eltaib; M.M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection The First Japan-Egypt International Symposium on Science and Technology(EJICST 2008), 128, 5, 144-192 The First Japan-Egypt International Symposium on Science and Technology(EJICST 2008), 128, 5, 144-192 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128, 5, 144-192 2008 英語 公開
土屋 智由 土屋 智由 第7章 7.2 力学センサ 第7章 7.2 力学センサ 日本学術振興会 薄膜第131委員会編,薄膜ハンドブック第2版,, p. 1 日本学術振興会 薄膜第131委員会編,薄膜ハンドブック第2版,, p. 1 2008 日本語 公開
H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0 2008 英語 公開
Uchida Yuki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Uchida Yuki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Uchida Yuki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 183-186 Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 183-186 Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 183-186 2007/10 英語 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Tamura Tomohisa, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ahmed M. R. Fath El Bab, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam, Tamura Tomohisa, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ahmed M. R. Fath El Bab; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tomohisa, Tamura; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 248-251 Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 248-251 Proceedings of the 24th Sensor Symposium,, pp. 248-251, 248-251 2007/10 英語 公開
土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修 高温薄膜引張試験装置の開発 高温薄膜引張試験装置の開発 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 1, 729-730 , 1, 729-730 2007/09 日本語 公開
Ikehara Tsuyoshi, Toshiyuki Tsuchiya Ikehara Tsuyoshi, Toshiyuki Tsuchiya Tsuyoshi, Ikehara; Tsuchiya, Toshiyuki Parallel fatigue test of micromachined single crystal silicon using lateral resonating device Parallel fatigue test of micromachined single crystal silicon using lateral resonating device Parallel fatigue test of micromachined single crystal silicon using lateral resonating device MicroNanoReliability 2007 Conference, 107 MicroNanoReliability 2007 Conference, 107 MicroNanoReliability 2007 Conference,, p. 107, 107 2007/09 英語 公開
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 日本機械学会2007年度年次大会, 303-304 , 303-304 2007/09 日本語 公開
田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 低侵襲触覚センサーの構造設計 低侵襲触覚センサーの構造設計 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 日本機械学会2007年度年次大会, 307-308 , 307-308 2007/09 日本語 公開
種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 日本機械学会2007年度年次大会, 313-314 , 313-314 2007/09 日本語 公開
日下部 達哉; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由 日下部 達哉; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由 DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル 粉体工学会第43回夏期シンポジウム,, pp. 19-20, 19-20 粉体工学会第43回夏期シンポジウム,, pp. 19-20, 19-20 , 19-20 2007/08 日本語 公開
尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52-53 , 52-53 2007/08 日本語 公開
Ikeda T, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ikeda T, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Tensile Testing of Single Crystal Silicon Thin Films at 800C using IR Heating Tensile Testing of Single Crystal Silicon Thin Films at 800C using IR Heating Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800°c using IR heating The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 571-574 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 571-574 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 571-574 2007/07 英語 公開
平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術 電気学会総合研究会, 19-24 電気学会総合研究会, 19-24 , 19-24 2007/07 日本語 公開
田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価 電気学会総合研究会, 79-84 電気学会総合研究会, 79-84 , 79-84 2007/07 日本語 公開
Hirai Y, Inamoto Y, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hirai Y, Inamoto Y, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Moving-Mask UV Lithography for 3-Dimensional Positive- and Negative-Tone Thick Photoresist Microstructuring Moving-Mask UV Lithography for 3-Dimensional Positive- and Negative-Tone Thick Photoresist Microstructuring Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 545-548 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 545-548 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 545-548 2007/06 英語 公開
菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製 化学とマイクロシステム, 0 化学とマイクロシステム, 0 , 0 2007/06 日本語 公開
Tanaka S, Ichihashi O, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tanaka S, Ichihashi O, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Analysis of Valveless Piezoelectric Micropump Using Electrical Equivalent Circuit Model Analysis of Valveless Piezoelectric Micropump Using Electrical Equivalent Circuit Model Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 2183-2186 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 2183-2186 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2183-2186 2007/06 英語 公開
Inamoto Yoshireru, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Inamoto Yoshireru, Hirai Yoshikazu, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshireru, Inamoto; Yoshikazu, Hirai; Sugano, Kouji; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels Moving-mask UV lithography and embedded microchannels The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 31-32 The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007),, pp. 31-32, 31-32 2007/06 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Tsuchiya, Toshiyuki MEMS Reliability MEMS Reliability MEMS Reliability The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures, 105-123 The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures, 105-123 The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures,, pp. 105-123, 105-123 2007/05 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya T. Tsuchiya Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007), 496-497 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007), 496-497 Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2007; 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC, 496-497 2007/05 英語 公開
城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0 , 0 2007/03 日本語 公開
菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修 EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 2007/03 日本語 公開
日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82-83 , 82-83 2007/03 日本語 公開
稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 平成19年,電気学会全国大会, 181-182 , 181-182 2007/03 日本語 公開
Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 227-230 2007/01 英語 公開
Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled Environments The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 267-270 2007/01 英語 公開
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation using Self-Assemble and Two-Step Transfer The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 353-356 2007/01 英語 公開
Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Higuchi Yuichi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Temperature Controlled Capillary Driven Sequential Stacking Self-Assembly using Two Different Adhesives Temperature Controlled Capillary Driven Sequential Stacking Self-Assembly using Two Different Adhesives Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives 6th International IEEE Conference on Polymer and Adhesives in Microelectronics and Photonics, 128-132 6th International IEEE Conference on Polymer and Adhesives in Microelectronics and Photonics, 128-132 6th International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics, Polytronic 2007, Proceedings, 128-132 2007/01 英語 公開
H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata H Hamaguchi, K Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07), 1483-1486 2007 英語 公開
Yuki Uchida, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Tsuyoshi Ikehara Yuki Uchida, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Tsuyoshi Ikehara Yuki Uchida, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Tsuyoshi Ikehara Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 183-187 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 183-187 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 183-187 2007 英語 公開
Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Ahmed M. R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 248-253 2007 英語 公開
Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 165-168 2007 英語 公開
池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 , 0 2006/12 日本語 公開
城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0 , 0 2006/12 日本語 公開
平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-476 , 471-476 2006/10 日本語 公開
Hamaguchi Hiroyuki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hamaguchi Hiroyuki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hamaguchi Hiroyuki, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-474 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-474 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471-474 2006/10 英語 公開
Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Ozaki Takashi, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 19-22 2006/10 英語 公開
宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定 日本機械学会2006年年次大会, 0 日本機械学会2006年年次大会, 0 , 0 2006/09 日本語 公開
Kouji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Sugano, Kouji; Weiyu Sun; Tsuchiya, Toshiyuki; Tabata, Osamu Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Design and Analysis of Soft X-ray Source Using Resonance Transition Radiation for Tabletop Synchrotron Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 109 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 109 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 109, 109 2006/06 英語 公開
Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 230 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 230 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology,, p. 230, 230 2006/06 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata Toshiyuki Tsuchiya, Yamaji Yusuke, Kouji Sugano, Osamu Tabata Tsuchiya, Toshiyuki; Yusuke, Yamaji; Sugano, Kouji; Tabata, Osamu Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system The 9th International Fatigue Congress, 47 The 9th International Fatigue Congress, 47 The 9th International Fatigue Congress,, p. 47, 47 2006/05 英語 公開
菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 菅野 公二, 山田 英雄, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析 電気学会E部門総合研究会, 61-66 電気学会E部門総合研究会, 61-66 , 61-66 2006/05 日本語 公開
池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83-87 , MSS-06-18, 83-87 2006/05 日本語 公開
山地 祐輔, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 山地 祐輔, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験 電気学会全国大会, 3, 198-199 電気学会全国大会, 3, 198-199 , 3, 198-199 2006/03 日本語 公開
Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Kouji Sugano, Yamada Hideo, Ichihashi Osamu, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps Fabrication of Gold Nanopaticle using Pulsed Mixing Method with Valveless Micropumps The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 546-549 2006/01 英語 公開
Yoshikawa Wataru, Sasabe Akio, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Ishida Akira Yoshikawa Wataru, Sasabe Akio, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Ishida Akira W. Yoshikawa; A. Sasabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Ishida Vertical Drive Microactuator using SMA Thin Film for a Smart Button Vertical Drive Microactuator using SMA Thin Film for a Smart Button Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, 734-737 The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, 734-737 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 734-737 2006/01 英語 公開
土屋 智由; 前田 龍太郎; 澤田 廉士; 青柳 桂一 土屋 智由; 前田 龍太郎; 澤田 廉士; 青柳 桂一 加速度センサ(第5章第1項) 加速度センサ(第5章第1項) MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開,, pp. 165-171 MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開,, pp. 165-171 2006 日本語 公開
Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311-315 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311-315 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311-315 2005/10 英語 公開
Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329-332 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329-332 PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329-332 2005/10 英語 公開
Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Toshiyuki Tsuchiya Mechanical Testing of Integrated Microsystems Mechanical Testing of Integrated Microsystems Mechanical Testing of Integrated Microsystems FIS conference on future integrated systems, Cambridge, 57-58 FIS conference on future integrated systems, Cambridge, 57-58 FIS conference on future integrated systems, Cambridge, 57-58 2005/08 英語 公開
市橋 治, 李 周原, 石井 昌宏, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 市橋 治, 李 周原, 石井 昌宏, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価 電気学会E部門総合研究会, 57-62 電気学会E部門総合研究会, 57-62 , 57-62 2005/06 日本語 公開
Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Jiro Sakata, Yasunori Taga Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 The 10th Micro Electro Mechanical Systems Workshop, 529-534 1997 英語 公開
A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda A. Nakano; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 , 645-648 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645-648 2013 英語 公開
T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 , 307-310 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307-310 2013 英語 公開
A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 , 1946-1949 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1946-1949 2013 英語 公開
K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 , 1807-1810 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1807-1810 2013 英語 公開
T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 , 420-423 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 420-423 2012 英語 公開
A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 , 1213-1216 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213-1216 2012 英語 公開
H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Yagyu; Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 , 1415, 59-64 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59-64 2012 英語 公開
T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata T.P. Singh; K. Sugano; T. Tsuehiya; O. Tabata Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 , 1250-1253 NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250-1253 2011 英語 公開
K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 , 12, 17-18 International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17-18 2011 英語 研究論文 公開
R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 , 11-12 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11-12 2010 英語 公開
Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 , 1616-1619 TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616-1619 2009 英語 公開
Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 , 153-154 The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153-154 2009 英語 研究論文 公開
MOCHIZUKI Shunsuke;TSUCHIYA Toshiyuki;HASHIGUCHI Gen;KOIKE Tomoyuki;MIZUTA Chieki MOCHIZUKI Shunsuke;TSUCHIYA Toshiyuki;HASHIGUCHI Gen;KOIKE Tomoyuki;MIZUTA Chieki Semi-analytical Formula for the Capacitance of Vertical Comb Electrodes and its Applications Semi-analytical Formula for the Capacitance of Vertical Comb Electrodes and its Applications Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 460-463 , 25th, 460-463 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 460-463 2008/10/22 英語 公開
FUJIWARA N.;ASAUMI K.;IRIYE Y.;KOIKE T.;TSUCHIYA T.;HASHIGUCHI G. FUJIWARA N.;ASAUMI K.;IRIYE Y.;KOIKE T.;TSUCHIYA T.;HASHIGUCHI G. Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 225-228 , 25th, 225-228 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 225-228 2008/10/22 英語 公開
HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu HIRAI Yoshikazu;INAMOTO Yoshiteru;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 , 25th, 15-20 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15-20 2008/10/22 英語 公開
T. Ikehara; T. Tsuchiya T. Ikehara; T. Tsuchiya Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 435-438 , 435-438 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 435-438 2008 英語 公開
T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 , 689-692 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 689-692 2008 英語 公開
Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 , 836-839 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836-839 2008 英語 公開
T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 , 1048-1051 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048-1051 2008 英語 公開
T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 , 1052-1055 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1052-1055 2008 英語 公開
T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 , 1056-1059 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056-1059 2008 英語 公開
K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Miyamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 , 1052, 53-58 Materials Research Society Symposium Proceedings, 1052, 53-58 2008 英語 公開
Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1) Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1 2007/12 英語 公開
UCHIDA Yuki;SUGANO Koji;TSUTIYA Toshiyuki;TABATA Osamu;IKEHARA Tsuyoshi UCHIDA Yuki;SUGANO Koji;TSUTIYA Toshiyuki;TABATA Osamu;IKEHARA Tsuyoshi Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 183-187 , 24th, 183-187 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 183-187 2007/10/16 英語 公開
MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu MIYAMOTO Kenji;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 , 24th, 165-168 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165-168 2007/10/16 英語 公開
Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed Silicon and Related Materials (Chapter 1) Silicon and Related Materials (Chapter 1) Comprehensive Microsystems,, p. 1 Comprehensive Microsystems,, p. 1 2007/09 英語 公開
K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya K. Miyamoto; T. Jomori; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-μN force resolution Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 , 227-230 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 227-230 2007 英語 公開
T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 , 353-356 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 353-356 2007 英語 公開
H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 , 1483-1486 TRANSDUCERS and EUROSENSORS \\'07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483-1486 2007 英語 公開
K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; W. Sun; T. Tsuchiya; O. Tabata Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 , 902, 121-124 AIP Conference Proceedings, 902, 121-124 2007 英語 公開
HAMAGUCHI Hiroyuki;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu HAMAGUCHI Hiroyuki;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 471-476 , 23rd, 471-476 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 471-476 2006/10/05 英語 公開
OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu OZAKI Takashi;SUGANO Koji;TSUCHIYA Toshiyuki;TABATA Osamu Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 , 23rd, 19-22 Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19-22 2006/10/05 英語 公開
K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata K. Sugano; H. Yamada; O. Ichihashi; T. Tsuchiya; O. Tabata Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 , 2006, 546-549 Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546-549 2006 英語 公開
T. Tsuchiya T. Tsuchiya Tensile testing of MEMS materials Tensile testing of MEMS materials Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS \\'05, 2, 1953-1956 , 2, 1953-1956 Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS \\'05, 2, 1953-1956 2005 英語 公開
Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed Material Properties: Measurement and Data Material Properties: Measurement and Data MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87 2005 英語 公開
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講演・口頭発表等
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著者 著者(日本語) 著者(英語) タイトル タイトル(日本語) タイトル(英語) 出版社 出版社(日本語) 出版社(英語) 出版年月 記述言語 担当区分 公開
肥後矢吉, 谷川紘, 鈴木健一郎, 磯野吉正, 萩博次, 土屋智由, 石山千恵美 肥後矢吉, 谷川紘, 鈴木健一郎, 磯野吉正, 萩博次, 土屋智由, 石山千恵美 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 コロナ社 コロナ社 2015/07 共著 公開
土屋智由, 佐藤一雄, 服部敏雄 土屋智由, 佐藤一雄, 服部敏雄 シリコンの破壊と疲労 シリコンの破壊と疲労 シリコンの破壊と疲労 エヌ・ティー・エス エヌ・ティー・エス エヌ・ティー・エス 2012 公開
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土屋 智由 土屋 智由 Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata Reliability of MEMS Reliability of MEMS Reliability of MEMS John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc John Wiley & Sons Inc 2007/12 公開
土屋 智由 土屋 智由 Toshiyuki Tsuchiya, Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe Comprehensive Microsystems Comprehensive Microsystems Comprehensive Microsystems Elsevier Science Elsevier Science Elsevier Science 2007/09 公開
土屋智由, 前田龍太郎,澤田廉士,青柳桂一 土屋智由, 前田龍太郎,澤田廉士,青柳桂一 MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開 MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開 フロンティア出版 フロンティア出版 2006 公開
タイトル言語:
特許
発明者 発明者(日本語) 発明者(英語) 発明の名称 発明の名称(日本語) 発明の名称(英語) 審査の段階 番号 年月 公開
土屋 智由 土屋 智由 静電駆動可変ミラー 静電駆動可変ミラー 特許出願 特願2014-36315 2014/02/27 公開
城森知也,土屋智由 城森知也,土屋智由 ロールオーバージャイロセンサ ロールオーバージャイロセンサ 特許出願 特願2013-182150 2013/09/03 公開
種村友貴,山下秀一,和戸弘幸,土屋智由 種村友貴,山下秀一,和戸弘幸,土屋智由 半導体パッケージ 半導体パッケージ 特許出願 特願2013-142115  2013/07/05 公開
城森知也,土屋智由 城森知也,土屋智由 ロールオーバージャイロセンサ ロールオーバージャイロセンサ 特許出願 特願2012-261335 2012/11/29 公開
城森知也,土屋智由 城森知也,土屋智由 ロールオーバージャイロセンサ ロールオーバージャイロセンサ 特許出願 特願2012-080693 2012/03/30 公開
土屋 智由 土屋 智由 加速度センサおよび加速度検出装置 加速度センサおよび加速度検出装置 特許出願 特願2006-242852 2006/09/07 公開
タイトル言語:
学術賞等
賞の名称(日本語) 賞の名称(英語) 授与組織名(日本語) 授与組織名(英語) 年月
電気学会論文発表賞 電気学会 2000
外部資金:競争的資金・科学研究費補助金
種別 代表/分担 テーマ(日本語) テーマ(英語) 期間
若手研究(S) 代表 シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明 2007〜2011
挑戦的萌芽研究 代表 顕微ラマン分光を用いたMEMS共振構造体の時間分解局所応力測定 2012〜2013
挑戦的萌芽研究 代表 ナノギャップの熱物性計測デバイス (平成26年度分) 2014/04/01〜2015/03/31
挑戦的萌芽研究 代表 ナノギャップの熱物性計測デバイス (平成27年度分) 2015/04/01〜2016/03/31
外部資金:競争的資金・科学研究費補助金以外
制度名 代表者名 研究課題(日本語) 研究課題(英語) 期間
自転車等機械工業振興事業 土屋 智由 低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価補助事業 (平成28年度分) 2016/04/01〜2017/03/31
担当科目
講義名(日本語) 講義名(英語) 開講期 学部/研究科 年度
計測学(機エネ原:学番奇数) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
計測学(機エネ原:学番偶数) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
機械システム学演習(機) 後期 工学部 2011/04〜2012/03
マイクロ加工学(機エネ) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
マイクロシステム工学 後期 工学研究科 2011/04〜2012/03
微小電気機械システム創製学 後期 工学研究科 2011/04〜2012/03
マイクロプロセス・材料工学 前期 工学研究科 2011/04〜2012/03
機械設計演習1(機) 前期 工学部 2011/04〜2012/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2012/04〜2013/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2012/04〜2013/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2012/04〜2013/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2012/04〜2013/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2012/04〜2013/03
機械システム学演習 Exercise on Mechanical and System Engineering 後期集中 工学部 2012/04〜2013/03
機械設計演習1 Exercise of Machine Design 1 前期 工学部 2012/04〜2013/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2012/04〜2013/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2013/04〜2014/03
機械システム学演習 Exercise on Mechanical and System Engineering 後期集中 工学部 2013/04〜2014/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2013/04〜2014/03
応用数値計算法 Applied Numerical Methods 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
複雑系機械工学 Complex Mechanical Systems 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2013/04〜2014/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2013/04〜2014/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 前期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 後期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2014/04〜2015/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2014/04〜2015/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2014/04〜2015/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2014/04〜2015/03
応用数値計算法 Applied Numerical Methods 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
複雑系機械システムのデザイン Design of Complex Mechanical Systems 後期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2014/04〜2015/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2015/04〜2016/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
応用数値計算法 Applied Numerical Methods 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2015/04〜2016/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 前期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 後期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2015/04〜2016/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2015/04〜2016/03
複雑系機械システムのデザイン Design of Complex Mechanical Systems 後期 工学研究科 2015/04〜2016/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2015/04〜2016/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2016/04〜2017/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
応用数値計算法 Applied Numerical Methods 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 通年集中 工学部 2016/04〜2017/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 前期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 後期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2016/04〜2017/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2016/04〜2017/03
複雑系機械システムのデザイン Design of Complex Mechanical Systems 後期 工学研究科 2016/04〜2017/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2016/04〜2017/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2017/04〜2018/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
応用数値計算法 Applied Numerical Methods 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 後期集中 工学部 2017/04〜2018/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 前期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 後期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2017/04〜2018/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2017/04〜2018/03
複雑系機械システムのデザイン Design of Complex Mechanical Systems 後期 工学研究科 2017/04〜2018/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2017/04〜2018/03
マイクロ加工学 Microfabrication 前期 工学部 2018/04〜2019/03
マイクロシステム工学 Microsystem Engineering 後期 工学研究科 2018/04〜2019/03
微小電気機械創製学 Introduction to the Design and Implementation of Micro-Systems 後期 工学研究科 2018/04〜2019/03
微小電気機械システム創製学 Micro Electro Mechanical System Creation 後期 工学研究科 2018/04〜2019/03
応用数値計算法 Applied Numerical Methods 前期 工学研究科 2018/04〜2019/03
技術者倫理と技術経営 Engineering Ethics and Management of Technology 前期 工学研究科 2018/04〜2019/03
マイクロ材料の加工・評価の基礎 Fabrication and analysis of micromaterials 後期集中 工学部 2018/04〜2019/03
マイクロ・ナノスケール材料工学 Micro/Nano Scale Material Engineering 前期 工学研究科 2018/04〜2019/03
マイクロプロセス・材料工学 Microprocess and Micromaterial Engineering 前期 工学研究科 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 前期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験1 Mechanical and System Engineering Laboratory 1 後期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 前期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験2 Mechanical and System Engineering Laboratory 2 後期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 前期 工学部 2018/04〜2019/03
機械システム工学実験3 Mechanical and System Engineering Laboratory 3 後期 工学部 2018/04〜2019/03
物理工学総論A Introduction to Engineering Science A 後期 工学部 2018/04〜2019/03
複雑系機械システムのデザイン Design of Complex Mechanical Systems 後期 工学研究科 2018/04〜2019/03
計測学 Scientific Measurement 前期 工学部 2018/04〜2019/03

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学外非常勤講師
講義名(日本語) 講義名(英語) 開講期 学校名 学部/研究科名 期間
公立大学法人広島市立大学 2018/04/01〜2018/09/30
部局運営(役職等)
役職名 期間
工学研究科・工学部広報委員会 委員 2017/04/01〜2019/03/31
学会活動:その他
学会名(日本語) 学会名(英語) 貢献活動名(日本語) 貢献活動名(英語) 期間
一般社団法人日本機械学会 2017年度マイクロ・ナノ工学部門運営委員会委員 2017/04/11〜2018/03/31
その他活動:各種受賞歴
賞の名称 授与組織名 年月
経済産業省工業標準化事業表彰 産業技術環境局長表彰 国際標準化奨励者 受賞 経済産業省 産業技術環境局 2008/10/20
IEC 1906 Award International Electrotechnical Commission 2012/10/15
その他活動:国・地方公共団体での活動
委員会名(日本語) 委員会名(英語) 役職名 公共団体の名称 期間
客員准教授 国立大学法人東京工業大学 2011/04/01〜2012/03/31
客員准教授 国立大学法人東京工業大学 2012/04/01〜2013/03/31
客員准教授 国立大学法人東京工業大学 2013/04/01〜2014/03/31
客員准教授 国立大学法人東京工業大学 2014/04/01〜2015/03/31
その他活動:民間企業・NPO等の兼業
相手先名 兼業の内容 期間
財団法人マイクロマシンセンター 標準化事業委員会委員 2010/06/25〜2012/03/31
曙ブレーキ工業株式会社 アドバイザリー委員会委員 2011/05/12〜2012/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 「国際標準化フォローアッツプ委員会」委員 2011/08/08〜2012/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 共振振動を用いた曲げ疲労試験法JIS原案作成委員会委員長 2011/12/01〜2012/11/30
財団法人マイクロマシンセンター IEC/SC47F国内委員会委員 2011/12/05〜2013/03/31
財団法人マイクロマシンセンター IEC/SC47F国内委員会(材料特性評価WG)委員 2011/12/05〜2013/03/31
曙ブレーキ工業株式会社 アドバイザリー委員会委員 2012/05/10〜2012/09/30
一般財団法人マイクロマシンセンター 国際標準化フォローアップ委員会委員 2012/06/19〜2013/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 標準化事業委員会委員 2012/07/10〜2014/03/31
みずほ情報総研株式会社 平成24年度「MEMS分野の革新的デバイスに関する調査及び技術戦略マッフ改訂と国際標準化に向けた検討 2012/10/04〜2013/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 薄膜曲げ試験法JIS原案作成委員会委員 2013/06/17〜2014/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター IEC/TC47/SC47F国内委員会委員 2013/08/20〜2014/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 標準化事業委員会委員 2014/07/01〜2016/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター 調査研究事業委員会委員 2014/07/01〜2016/03/31
一般財団法人マイクロマシンセンター フィージビリティスタディ委員会委員 2014/08/01〜2015/02/27

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